本发明专利技术提供一种缺陷检查装置。缺陷检查装置（１）构成为具有沿一轴方向进行扫描而取得被检查体的表面图像的照相机（２５），照相机（２５）的输出被交接给控制部（３）的图像取入电路（３１）。图像取入电路（３１）在接收到摄像开始触发的位置、获取开始像素位置和获取结束像素位置划分获取由照相机（２５）取入的图像数据，从而仅生成缺陷区域的图像，并进行图像处理等。根据本缺陷检查装置，能够从基板等被检查体尽早地提取出必要的信息，迅速地实施检查。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于基板的缺陷检查的缺陷检查装置。本专利技术基于2006年4月10日在日本国提出申请的日本国特许出愿第2006-107466号而主张优先权，并在此援用其内容。
技术介绍
在半导体晶片或者液晶玻璃基板、印刷布线板等的制造工序中，实施使用线传感器照相机(line sensor camera)来检查基板表面缺陷的缺陷检查。在用于这种缺陷检查的缺陷检查装置中，采用了利用线传感器照相机来读取摄像对象物的图像的图像读取装置(例如，参照日本国特许出愿公开公报第2002-77874号)。在这种图像读取装置中，线传感器照相机构成为能够使用遮光板来部分地遮光。对多种电子部件使用同一线传感器照相机，并对应于摄像对象物的大小和形状来使用遮光板。由于仅使线传感器照相机的必要范围受光，从而能够缩小图像尺寸。另外，作为检测缺陷的方法，已公知如下技术(例如参照日本国特许出愿公开公报第2002-83303号)对由线传感器照相机所得到的二维原始图像数据进行压缩，对压缩后的图像数据进行图像处理来检测缺陷位置，并根据原始图像数据来复原缺陷位置的图像。
技术实现思路
本专利技术的缺陷检查装置，其特征在于，具有摄像装置，其取入图像数据作为被检查体的光学图像信息；图像压缩部，其将由前述摄像装置取入的图像数据作为原始图像而对其进行压缩，来生成压缩图像数据；缺陷提取部，其从所述压缩图像数据中提取含有所述被检查体的缺陷的缺陷区域；以及区域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷区域，所述缺陷检查装置对由所述区域指定部指定而取得的区域的原始图像数据进行缺陷检查。附图说明图1是表示本专利技术实施方式的缺陷检查装置的概略结构的框图。图2是表示缺陷检查装置的检查部的具体结构的图。图3是说明取得原始图像的处理的具体例子的图。图4是说明仅取得缺陷区域的图像的处理的具体例子的图。图5是说明从原始图像提取边缘切线的处理的具体例子的图。图6是说明从原始图像切取缺陷区域的图像的处理的具体例子的图。具体实施例方式参照附图对本专利技术第一实施方式进行详细说明。如图1所示，缺陷检查装置1具有取得半导体晶片或者玻璃基板等板状的被检查体W的图像的检查部2；进行检查部2的控制的同时取入被检查体W的图像，从而进行图像处理的预处理的控制部3；接受来自控制部3的信息而进行缺陷提取等图像处理的图像处理部4；预先保存经过图像处理的缺陷图像和判定结果等的图像保存部5。如图1和图2所示，检查部2具有扫描台10(保持部)，在扫描台10上设有包含电动机11A的扫描台驱动部11。扫描台驱动部11是使搭载于扫描台10上的旋转台12(保持部)在箭头A所示的直线方向上移动的驱动部。旋转台12通过包含搭载于内部的电动机13A的旋转台驱动部13，而在箭头B所示的旋转方向上旋转自由。旋转台驱动部13是进行被检查体W的旋转方向的位置对准的驱动部。在旋转台12上端上搭载有台14。台14连接于吸附电磁阀15，能够通过真空吸附来固定被检查体W。在台14的上方朝向被检查体W配置有照明部20。照明部20具有照明用的光源和光学系统。在照明用的光源中例如使用内部具有卤素灯、红外线吸收滤光片、聚光透镜的光源。在照明用的光学系统中例如采用使来自光源的光束收敛的聚光透镜和为了进行线照明而使出射端形成为直线状的光纤束。照明部20以入射角θ0对被检查体W进行照明，因此在其与被检查体W之间配置有使光束收敛的圆柱透镜21和缝隙22。照明部20、圆柱透镜21和缝隙22构成为一体，而能够通过照明角度驱动部23来任意改变相对于被检查体W表面的角度，例如能够以比入射角θ0大的入射角θ1对被检查体W表面进行照明。另外，台14的上方，获取被检查体W的光学图像信息的线传感器照相机25(摄像装置)配置成使来自照明部20的反射光能够入射。线传感器照相机25的多个摄像元件(传感器)在垂直于扫描方向的方向上呈直线状的配置，并对被检查体W的直线状的区域进行成像。在线传感器照相机25和被检查体W之间有滤光片26。在滤光片26中采用窄带滤光片，以便能够限制照明光的波段以获得干涉像。通过滤光片驱动部27相对于光学路径可插拔，或能够切换滤光片26的种类。图1所示的检查部2的各种传感器28，是能够检测被检查体W的吸附保持和照明部20的倾斜角度等而进行准确检查的传感器。操作输入部29用于接受作业者的操作而实施后述的各种处理。另外，如此构成的检查部2收纳于未图示的暗箱状的壳体内，以便不会受到外来光的影响。另外，为了防止被检查体W上的微粒附着，下行气流从壳体上部通过空气净化用的过滤器而流过。接着，控制部3具有图像取入电路31(图像取入部)。在图像取入电路31中，与扫描台10的移动同步，或者与旋转台12的旋转同步地取入由线传感器照相机25所拍摄到的一线的数据。实施将一线的数据垂直(台10、12的移动方向)地连接起来的处理而使被检查体W整体的图像成为一张二维图像(原始图像)。在图像取入电路31上连接有校正部32。校正部32对原始图像的数据进行各种校正。例如，照明部20的配光通常不是均匀的，在被检查体W的被照射部分上存在光量不均。另外，线传感器照相机25的各个摄像元件的灵敏度不相同。因此，已知在线传感器照相机25的输出数据中出现暗影。校正部32使用预先存储的暗影的数据，对本来的图像中需要修正的原始图像的数据进行校正。另外，当在从被检查体W的照明部20到线传感器照相机25的光路上插入有各种透镜时，由于透镜的偏差或者像差等而在线传感器照相机25的输出数据中产生失真。对于这种失真也利用预先存储于校正部32中的失真数据，修正为乘以本来倍率后的图像。在校正部32上连接有图像预处理部33，能够根据需要进行滤波等预处理。在图像预处理部33上连接有图像压缩部34和图像存储部35。图像压缩部34对在图像预处理部33中实施了预处理的原始图像数据，通过与接近的像素的运算来压缩原始图像数据而实施减小图像尺寸的处理。作为图像的压缩方法，例如可以选择以下方法取得2×2像素区域的各个像素数据的平均，或者舍弃8×8像素区域的最大亮度数据以外的数据，或者相反舍弃最小亮度数据以外的数据等。图像存储部35除了存储从图像预处理部33输出的原始图像数据和由图像压缩部34压缩后的图像数据等以外，还能够存储任意的图像，并且能够使这些图像被读出。另外，实施从原始图像数据切出由区域指定部36所指定的区域的处理。另外，图像存储部35能够向图像处理部4的缺陷提取部41和缺陷分类部42输出图像数据。区域指定部36接收来自操作输入部29的指令，或者接收来自图像处理部4的指令，从而对驱动控制部37指定要从被检查体W取得的图像区域。另外，指令图像处理部35以从原始图像数据或者压缩图像数据提取预定区域的图像数据。驱动控制部37进行用于移动被检查体W的控制以及对上述光学系统的各种驱动部的控制，连接有滤光片驱动部27、扫描台驱动部11、照明角度驱动部23、旋转台驱动部13、吸附电磁阀15、各种传感器28等。以由操作输入部29所指定的区域或由缺陷提取部41所提取的缺陷区域为基础，进行各个驱动部和图像取入电路31的控制，能够通过图像取入电路31仅将由区域指定部36所指定的区域的图像数据取入。与控制部3连接的图像处理部4具有缺陷提取部41。缺陷提取本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查装置具有： 摄像装置，其取入图像数据作为被检查体的光学图像信息； 图像压缩部，其将由前述摄像装置取入的图像数据作为原始图像而对其进行压缩，来生成压缩图像数据； 缺陷提取部，其从所述压缩图像数据中提取含有所述被检查体的缺陷的缺陷区域；以及 区域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷区域， 所述缺陷检查装置对通过所述区域指定部指定而取得的区域的原始图像数据进行缺陷检查。
【技术特征摘要】
JP 2006-4-10 2006-1074661.一种缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查装置具有摄像装置，其取入图像数据作为被检查体的光学图像信息；图像压缩部，其将由前述摄像装置取入的图像数据作为原始图像而对其进行压缩，来生成压缩图像数据；缺陷提取部，其从所述压缩图像数据中提取含有所述被检查体的缺陷的缺陷区域；以及区域指定部，其指定由所述缺陷提取部提取出的所述缺陷区域，所述缺陷检查装置对通过所述区域指定部指定而取得的区域的原始图像数据进行缺陷检查。2.根据权利要求1所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述缺陷检查装置具有保持部，其移动自由地保持被检查体；图像取入部，其取入从所述摄像装置输出的图像数据，生成关于所述被检查体的图像，所述摄像装置为直线状地配置有多个摄像元件的线传感器，所述区域指定部从所述摄像装置的所述多个摄像元件中设定取入图像数据的所述摄像元件，并且设定为使通过该摄像元件取入图像数据的次数与所述保持部的移动同步，所述图像取入部从所述摄像元件的输出中取入由所述区域指定部设定的区域的图像。3.根据权利要求1或者2所述的缺陷检查装置，其特征在于，所述摄像装置构成为能够变更获取用于生成所述压缩图像数据的整体图像的摄像条件、以及进行了区域指定的情况下...
【专利技术属性】
技术研发人员：加藤洋，
申请(专利权)人：奥林巴斯株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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