缺陷检查方法及缺陷检查装置制造方法及图纸

技术编号:11686600 阅读:65 留言:0更新日期:2015-07-06 19:07
缺陷检查方法具有:第1工序,对在电磁超声波探头中相互相邻且以一部分重合的方式排列的多个线圈赋予高频信号,使检查对象物产生超声波振动;第2工序,将上述超声波振动的B回波用上述多个线圈分别接收;第3工序,将上述超声波振动的F回波用上述多个线圈分别接收;第4工序,基于上述多个线圈的工作状态修正由上述多个线圈分别接收到的上述B回波的信号强度;第5工序,对上述多个线圈分别计算上述F回波的信号强度与修正后的上述B回波的信号强度的比率,基于该计算结果评价上述检查对象物的内部缺陷。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】【专利说明】缺陷检查方法及缺陷检查装置本申请基于2012年12月20日在日本提出的特愿2012 — 278563号主张优先权,这里引用其内容。
本专利技术涉及缺陷检查方法及缺陷检查装置。
技术介绍
以往以来,作为非破坏检查法之一,已知有将钢铁材料等检查对象物的内部缺陷(夹杂物、内部裂纹、氢类缺陷等)利用电磁超声波以非接触检查的电磁超声波探伤法。例如,在下述专利文献I及2中,公开了为了通过上述的电磁超声波探伤法检查检查对象物的内部缺陷而使用的电磁超声波探头(EMAT)。下述专利文献I所公开的电磁超声波探头具备永久磁铁、和适合于探伤脉冲的形成及反射脉冲的接收的电感线圈。此外,下述专利文献2所公开的电磁超声波探头具备用来对被检体施加偏磁场的磁化器、和将超声波向被检体发送、用来接收由被检体反射的超声波的多个传感器线圈。一般而言,在电磁超声波探伤法中,按照日本工业规格(JIS G 0801),基于F回波(缺陷回波)的高度(信号强度)对内部缺陷进行评价(等级分类)。但是,F回波依存于检查对象物的表面与线圈的间隙而变动。例如,如果检查对象物的表面与线圈的间隙从0.5mm变化为0_,则F回波的信号强度增大约3dB。此外,例如如果检查对象物的表面与线圈的间隙从0.5mm变化为1.0mm,则F回波的信号强度下降约3dB。因而,在不能将检查对象物与线圈之间的间隙保持为规定的值的情况下,难以基于F回波正确地进行内部缺陷的评价。以往,为了防止起因于上述那样的F回波的间隙依存性的内部缺陷的误评价,采用基于F回波的信号强度与B回波(底面回波)的信号强度的比率(F/B比率)评价内部缺陷的方法。如果检查对象物的表面与线圈之间的间隙变化,则F回波及B回波的信号强度变化,但通过计算F/B比率,两回波中包含的起因于间隙的变化量被抵消。结果,能够与间隙变化无关地进行正确的内部缺陷的评价。专利文献1:日本专利4842922号公报专利文献2:日本特开2005 - 214686号公报但是,在以往的电磁超声波探头中,在采用将收发电磁超声波的线圈排列多个那样的结构的情况下(特别是以相互相邻而一部分重叠的方式排列多个线圈的情况下),任意的线圈都有可能接收到与其相邻的线圈本来应接收的电磁超声波的反射波(F回波及B回波)。本专利技术者的研宄的结果表明,任意的线圈接收的相邻F回波(相邻的线圈本来应接收的F回波)的信号强度小到能够忽视的程度,但任意的线圈接收的相邻B回波(相邻的线圈本来应接收的B回波)的信号强度大到不能忽视的程度。S卩,在由任意的线圈接收到的B回波的信号强度中加上了相邻的线圈本来应接收的B回波(相邻B回波)的信号强度。这里,假如关于全部的线圈B回波的信号强度同样增大,则F/B比率也关于全部的线圈同样变化,所以在基于F/B比率的内部缺陷评价中没有障碍(只要将F/B比率和应比较的评价基准值变更就可以)。但是,B回波的信号强度的增大量根据各线圈的工作状态而变化。具体而言,例如在与任意的线圈的两侧相邻的两个线圈正常地工作的情况下,在由上述任意的线圈接收到的B回波的信号强度中,加上与其两侧相邻的两个线圈本来应接收的B回波的信号强度。此外,例如在与任意的线圈的两侧相邻的两个线圈中的一方的线圈因故障等原因而不工作的情况下,在由上述任意的线圈接收到的B回波的信号强度中,仅加上与其两侧相邻的两个线圈中的一方的线圈本来应接收的B回波的信号强度。进而,例如在与任意的线圈的两侧相邻的两个线圈的两者不工作的情况下,由上述任意的线圈接收到的B回波的信号强度不增大(即,仅得到任意的线圈本来应接收的B回波的信号强度)。另外,例如关于排列有多个的线圈中的位于端部的线圈,相邻的线圈仅I个。端部以外的线圈接收两个相邻的线圈本来应接收的B回波,但位于端部的线圈仅接收I个相邻的线圈本来应接收的B回波。因而,在配置在端部的线圈和配置在端部以外的线圈中,B回波的信号强度的增大量必然不同。这意味着,由位于端部的线圈接收的B回波的信号强度仅依存于与该线圈相邻的I个线圈的工作状态。这样,在根据各线圈的工作状态而B回波的信号强度的增大量按照线圈而不同的情况下,为了安全,也可以考虑以B回波的信号强度最低的线圈为基准进行内部缺陷的评价的方法。但是,如果采用该方法,则关于B回波的信号强度较高的其他线圈,将内部缺陷过大评价。结果,有可能发生因进行多余的检查而检查工序的效率下降的问题。如以上那样,在以往的电磁超声波探头中,在采用相互相邻且以一部分重合的方式排列多个线圈那样的结构的情况下,难以正确地评价检查对象物的内部缺陷。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述情况而做出的,其目的是提供一种在电磁超声波探头中、即使是采用相互相邻且以一部分重合的方式排列多个线圈那样的结构的情况也能够正确地评价检查对象物的内部缺陷的缺陷检查方法及缺陷检查装置。本专利技术为了解决上述课题并达到其目的,采用以下这样的技术方案。即,(I)有关本专利技术的一技术方案的缺陷检查方法具有:第I工序,对在电磁超声波探头中相互相邻且以一部分重合的方式排列的多个线圈赋予高频信号,使检查对象物产生超声波振动;第2工序,将上述超声波振动的B回波用上述多个线圈分别接收;第3工序,将上述超声波振动的F回波用上述多个线圈分别接收;第4工序,将由上述多个线圈分别接收到的上述B回波的信号强度基于上述多个线圈的工作状态修正;第5工序,对上述多个线圈分别计算上述F回波的信号强度与修正后的上述B回波的信号强度的比率,基于该计算结果评价上述检查对象物的内部缺陷。(2)在上述(I)所记载的缺陷检查方法中,也可以是,在上述第4工序中,在与任意的线圈相邻的仅I个线圈正在工作的情况下,将由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度用第I修正值修正;在与上述任意的线圈相邻的两个线圈没有工作的情况下,将由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度用第2修正值修正;在与上述任意的线圈相邻的两个线圈正在工作的情况下,将由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度用第3修正值修正。(3)在上述(2)所记载的缺陷检查方法中,上述第I修正值也可以比上述第2修正值小。此外,在与上述任意的线圈相邻的两个线圈正在工作的情况下,也可以将上述第3修正值设定为零,不将由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度修正。(4)在上述(3)所记载的缺陷检查方法中,也可以在上述第I工序之前,还具有:基于在与上述任意的线圈相邻的两个线圈正在工作的状态下由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度与在与上述任意的线圈相邻的仅I个线圈在工作的状态下由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度的差、取得上述第I修正值的工序;在与上述任意的线圈相邻的两个线圈正在工作的状态下由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度与在与上述任意的线圈相邻的两个线圈不工作的状态下由上述任意的线圈接收到的上述B回波的信号强度的差、取得上述第2修正值的工序。(5)有关本专利技术的一技术方案的缺陷检查装置具备:电磁超声波探头,包括相互相邻并以一部分重合的方式排列的多个线圈;运算装置,向上述多个线圈分别供给用来使检查对象物产生超声波振动的高频信号,并基于上述多个线圈各自的输出信号,计算由上述多个线圈分别接收到的上述超声波振动的F回波及B回波的信号强度,本文档来自技高网
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【技术保护点】
一种缺陷检查方法,其特征在于,具有:第1工序,对在电磁超声波探头中相互相邻且以一部分重合的方式排列的多个线圈赋予高频信号,使检查对象物产生超声波振动;第2工序,将上述超声波振动的B回波用上述多个线圈分别接收;第3工序,将上述超声波振动的F回波用上述多个线圈分别接收;第4工序,基于上述多个线圈的工作状态修正由上述多个线圈分别接收到的上述B回波的信号强度;以及第5工序,对上述多个线圈分别计算上述F回波的信号强度与修正后的上述B回波的信号强度的比率,基于该计算结果评价上述检查对象物的内部缺陷。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:池田佳士郎田坂隆弘饭星允规
申请(专利权)人:新日铁住金株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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