缺陷检查装置和缺陷检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。该缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。因此，可检测被测物体的宽度方向上较宽范围内的缺陷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种缺陷检查装置和该缺陷检查装置所使用的缺陷检查方法，该缺 陷检查装置用于检测诸如光学膜等被测物体的缺陷。
技术介绍
近几年，作为电视接收机和个人计算机(Personal Computer，PC)等显示装置，液晶显示装置非常受欢迎。该液晶显示装置使用多种光学膜之一用作偏光板的表面。上 述光学膜的主要示例是三醋酸纤维素(Tri-acetyl cellulose，TAC)膜。通常，诸如TAC膜 等光学膜是柔性的且容易被损坏。因此，如图13所示，通常在TAC膜15的表面上形成 有硬涂层16，以改进其耐擦伤性。如图14A所示，硬涂层16在称作移动方向的方向上被 铺设在作为原膜的TAC膜15的表面上。为了在TAC膜15的表面上铺设硬涂层16，使 用诸如刀片110等涂敷部将硬涂敷材料连续地涂敷到TAC膜15的表面。当涂敷到TAC 膜15表面的硬涂敷材料硬化时，则在TAC膜15的表面上形成了硬涂层16。虽然硬涂敷材料被连续地涂敷到TAC膜15的表面上，但在图14B中的位置P处 的标记X所示的一些情况下，诸如刀片110等涂敷部的一部分可能会阻塞。因此，如图 14B所示，在TAC膜15表面上形成了具有沿刀片110的移动方向的线状的涂敷不均勻。 结果，在涂敷到TAC膜15表面上的硬涂敷材料硬化后，在一些情况下，在铺设在TAC膜 15表面上的硬涂层16上留下条带，该条带在TAC膜15表面上沿刀片110的移动方向具 有固定长度并呈线状。如果此类TAC膜15用于偏光器件中，则使用该偏光器件的液晶 显示装置的显示特性在一些情况下会受到恶劣的影响，因此期望对此进行改进。另外，现有技术还提出了一种系统，该系统用于获取与微结构有关的信息或者 与诸如面板、基板或晶片等物理主体表面结构有关的信息。上述系统使用剪切干涉仪， 该剪切干涉仪将照射到被测物体上的光的波面分割为两个分波面(partial wave surface), 并使这两个分波面彼此干涉。对于与上述系统有关的更多信息，例如可参考日本专利公 开文本2006-516737号(在下文中称为专利文件1)。此外，现有技术还提出了一种检测用作被测物体的光学膜的缺陷的方法。根据 上述方法，通常通过使用电荷耦合器件(Charge CoupledDevices，CCD)照相机来获得光 学膜的图像，且通过检测色调变化或阴影变化来检测光学膜的缺陷。对于与上述方法有 关的更多信息，例如可参考日本专利公开文本2006-208196号(在下文中称为专利文件 2)。但是，在上述专利文件1公开的系统中，很难在制造过程中检测在光学膜的宽 度方向上的较宽范围内的缺陷的存在。此外，该系统根据被测物体表面所反射的光来检测该被测物体上缺陷的存在。专利文件1也没有说明对存在于具有较好光透射特性的光 学膜上的缺陷的检测。具有较好光透射特性的光学膜的通常示例为上述TAC膜。此外，根据上述专利文件2公开的缺陷检测方法，很难观察正在移动中的光学 膜的较宽范围。
技术实现思路
基于上述问题，本申请揭示了一种用于检测被测物体的较宽范围内的缺陷的缺 陷检查装置，还揭示了该缺陷检查装置使用的缺陷检测方法。为解决上述问题，本专利技术的第一实施例提供了一种缺陷检测装置，其包括光 源，其发射激光；光源，其发射激光；反射镜组，其将所述光源发射的入射激光的波面 分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝向一个方向的阵列，并在所述激光 通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉板，其将所述单 个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；摄像部，其获得由所 述干涉板产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述 干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。为解决上述问题，本专利技术的第二实施例提供了一种缺陷检查方法，其包括如下 步骤驱动光源发射激光；驱动反射镜组，将由所述光源发射的入射激光的波面分割为 多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝向一个方向的阵列，并在所述激光通过移 动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；将所述单个波面分割为两个 分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；获得所产生的所述干涉条纹的图像；以 及根据所获得的所述干涉条纹的所述图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的 表面上存在的缺陷。如上所述，根据本专利技术的第一和第二实施例，光源用于发射激光；反射镜组 用于将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为 形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对 齐，形成单个激光波面。当波面被分割为多个分量波面的激光通过移动的被测物体时， 由于可能存在于被测物体表面上的缺陷，激光的波面将产生褶皱。接着，在激光已经通 过移动的被测物体之后，反射镜组使分量波面对齐以形成单个波面。接着，干涉板用于 将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹。随后，摄像 部用于获得由所述干涉板产生的所述干涉条纹的图像。最后，分析部根据由所述摄像部 获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的 缺陷。因此，能够检测移动的被测物体上的在被测物体宽度方向上的较宽范围内存在的 缺陷。如上所述，根据本专利技术，可检测被测物体的宽度方向上较宽范围内的缺陷。 附图说明图1是粗略示出了缺陷检查装置的代表性结构的图。图2A是示出了楔形板的代表性形状的图。图2B是说明在光学膜中没有缺陷的情况下干涉条纹产生原理的图。4图2C是示出了在光学膜中没有缺陷的情况下代表性干涉条纹的图。图3A是粗略示出了光学膜上产生的代表性缺陷的示例图。图3B是说明在光学膜上存在缺陷的情况下干涉条纹产生原理的粗略示例图。图3C是粗略示出了在光学膜上存在缺陷的情况下代表性干涉条纹的示例图。图4A是粗略示出了具有作为代表性缺陷的突出的光学膜的图。图4B是粗略示出了具有作为另一代表性缺陷的凹陷的光学膜的图。图5是粗略示出了本专利技术第一实施例的缺陷检查装置的代表性结构的图。图6是粗略示出了本专利技术第一实施例中第一反射镜的代表性布局图。图7是示出了第一反射镜和被第一反射镜分割的矩形波面之间关系的图。图8是说明将激光的波面分割成多个分量波面的过程的粗略图。图9A是粗略示出了对各光谱进行代表性分离的图。图9B是粗略示出了使用滤光技术提取代表性预定光谱的图。图9C是粗略示出了经提取的光谱向原点的代表性移动的图。图10是示出了本专利技术第二实施例的缺陷检查装置的代表性结构的图。图11是粗略示出了本专利技术第二实施例的第一至第四反射镜的代表性布局图。图12A是粗略示出了激光的反射的示例图。图12B是粗略示出了激光通过光学膜的缺陷部的示例图。图12C是粗略示出了激光通过TAC膜厚度改变部分的示例图。图13是粗略示出了光学膜的代表性结构的图。图14A是说明制造没有缺陷产生的光学膜的过程的示例图。图14B是说明制造有缺陷产生的光学膜的过程的示例图。具体实施例方式参考附图，以下述章节的顺序来解释本专利技术的优选实施例。1.光学膜上缺陷的检测原理2.第一实施例(使用第一镜组和第二镜组的实施例)3.第二实施例(使用第三镜组和第四镜组的实本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种缺陷检查装置，所述缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：谭小地，
申请(专利权)人：索尼公司，
类型：发明
国别省市：JP