【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种缺陷检查装置和该缺陷检查装置所使用的缺陷检查方法，该缺 陷检查装置用于检测诸如光学膜等被测物体的缺陷。
技术介绍
近几年，作为电视接收机和个人计算机(Personal Computer，PC)等显示装置，液晶显示装置非常受欢迎。该液晶显示装置使用多种光学膜之一用作偏光板的表面。上 述光学膜的主要示例是三醋酸纤维素(Tri-acetyl cellulose，TAC)膜。通常，诸如TAC膜 等光学膜是柔性的且容易被损坏。因此，如图13所示，通常在TAC膜15的表面上形成 有硬涂层16，以改进其耐擦伤性。如图14A所示，硬涂层16在称作移动方向的方向上被 铺设在作为原膜的TAC膜15的表面上。为了在TAC膜15的表面上铺设硬涂层16，使 用诸如刀片110等涂敷部将硬涂敷材料连续地涂敷到TAC膜15的表面。当涂敷到TAC 膜15表面的硬涂敷材料硬化时，则在TAC膜15的表面上形成了硬涂层16。虽然硬涂敷材料被连续地涂敷到TAC膜15的表面上，但在图14B中的位置P处 的标记X所示的一些情况下，诸如刀片110等涂敷部的一部分可能会阻塞。因此，如图 14B...
【技术保护点】
一种缺陷检查装置，所述缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将由所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后，使所述分量波面对齐，形成单个波面；干涉仪，其将所述单个波面分割为两个分波面，并使用所述两个分波面产生干涉条纹；摄像部，其获得由所述干涉仪产生的所述干涉条纹的图像；以及分析部，其根据通过所述摄像部获得的所述干涉条纹的图像随时间的改变，检测在移动的所述被测物体的表面上存在的缺陷。
【技术特征摘要】
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