温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种缺陷检查装置和缺陷检查方法。该缺陷检查装置包括：光源，其发射激光；反射镜组，其将所述光源发射的入射激光的波面分割为多个分量波面，将所述分量波面排列为形成朝着一个方向的阵列，并在所述激光通过移动的被测物体之后使所述分量波面对齐，...
该专利属于索尼公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。