【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机械真空传感器,其特征是:包括微桥面单元(11),所述微桥面单元(11)相对的两端分别设置有与所述微桥面单元(11)相连的第一导热桥臂(3)及第二导热桥臂(9),所述第一导热桥臂(3)的自由端通过第一连接桥墩(2)与第一支撑点(1)相连,所述第二导热桥臂(9)的自由端通过第二连接桥墩(8)与第二支撑点(7)相连,所述第一支撑点(1)及所述第二支撑点(7)位于所述微桥面单元(11)的下方并与所述微桥面单元(11)之间存在间隙(12);所述微桥面单元(11)的上表面上设置有电阻式温敏涂层(6),所述微桥面单元(11)上表面的相对两侧(10)分别设置有桥面电气连接走线(5),所述第一导热桥臂(3)及所述第二导热桥臂(9)上分别设置有与相应的所述桥面电气连接走线(5)相连的桥臂电气连接走线(4),两条所述桥臂电气连接走线(4)分别通过相应的连接桥墩延伸至相应的支撑点。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:郭俊,
申请(专利权)人:无锡微奇科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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