本实用新型涉及一种传感器的真空陶瓷封装结构，包括管壳、吸气剂、芯片及锗窗，所述锗窗固定在所述管壳的顶部，所述吸气剂及所述芯片位于所述管壳内；所述吸气剂与所述芯片分别通过吸气剂凸台与芯片凸台固定在所述管壳的底部，并且所述芯片位于所述吸气剂...

本发明涉及一种传感器的真空陶瓷封装结构，包括管壳、吸气剂、芯片及锗窗，所述锗窗固定在所述管壳的顶部，所述吸气剂及所述芯片位于所述管壳内；所述吸气剂与所述芯片分别通过吸气剂凸台与芯片凸台固定在所述管壳的底部，并且所述芯片位于所述吸气剂的上...

本发明涉及一种基于MEMS的红外辐射热计及其制作方法。本发明中的红外辐射热计包括桥面、导热导电桥臂以及桥墩组件；桥面上布置有温敏层；导热导电桥臂有两根，分别是第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂，第一导热导电桥臂与第二导热导电桥臂相对布置...

本实用新型涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微...

本发明涉及一种基于震荡式反应气体控制的反应溅射系统，包括真空腔室及反应气体管路与载气管路，所述真空腔室内设置有相对的阳极晶圆载台与阴极靶材；所述反应溅射系统还包括气体流量控制系统，所述气体流量控制系统包括计算机、流量控制器、反应气体质量...

本发明涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面...