温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种微机械真空传感器，包括设置在微桥面单元两端的第一导热桥臂及第二导热桥臂，第一导热桥臂及第二导热桥臂分别通过第一连接桥墩及第二连接桥墩与第一支撑点及第二支撑点相连，所述第一支撑点及所述第二支撑点位于微桥面单元的下方并与微桥面单元...
该专利属于无锡微奇科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奇科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。