【技术实现步骤摘要】
一种化学品供应系统用三通箱本技术涉及半导体制造
，具体地说是一种化学品供应系统用三通箱。随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。根据目前化学品供应系统所使用的情况，现有技术中大多采用双向控制阀门来实现双向控制，而由于该阀门的结构复杂、成本高、重量大、安装麻烦以及安装条件受限制等原因，导致其操作起来非常困难，使用很不方便。为了解决此类问题，人们一直在寻求一种更理想的技术解决方案。本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用三通箱，不仅结构简单，设计合理，构思巧妙，而且成本低，控制灵活，安装和使用都非常方便。为实现上述目的设计一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体I和箱体盖2，所述箱体I与箱体盖2密封连接，所述箱体I内设置有手动阀3，所述箱体I上部的一侧设有进口 4，所述箱体I上部的另一侧设有出口 5，所述箱体I下侧设有出口二 6，所述箱体I的进口 4与出口 5通过管道7相连，所述手动阀3的进口端通过管道7连接箱体I的进口 4与出口 5，所述手动阀3的出口端连接箱体I的出口二 6。所述箱体I内侧下方设置有泄漏侦测器。所述箱体I的进口 4设置有进口连接管道8，所述箱体I的出口 5、出口二 6分别设置有出口连接管道9。所述箱体I与箱体盖2之间设有O型密封圈。本技术同现有技术相比，结...
【技术保护点】
一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体（1）和箱体盖（2），其特征在于：所述箱体（1）与箱体盖（2）密封连接，所述箱体（1）内设置有手动阀（3），所述箱体（1）上部的一侧设有进口（4），所述箱体（1）上部的另一侧设有出口（5），所述箱体（1）下侧设有出口二（6），所述箱体（1）的进口（4）与出口（5）通过管道（7）相连，所述手动阀（3）的进口端通过管道（7）连接箱体（1）的进口（4）与出口（5），所述手动阀（3）的出口端连接箱体（1）的出口二（6）。
【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统用三通箱，包括箱体(I)和箱体盖(2)，其特征在于:所述箱体(1)与箱体盖(2)密封连接，所述箱体(I)内设置有手动阀(3 )，所述箱体(I)上部的一侧设有进口( 4)，所述箱体(I)上部的另一侧设有出口( 5 )，所述箱体(I)下侧设有出口二( 6 )，所述箱体(I)的进口(4)与出口(5)通过管道(7 )相连，所述手动阀(3 )的进口端通过管道(7)连接箱体(I)的进口(4)与出口(5)，所述手动阀(3)的出...
【专利技术属性】
技术研发人员：简建至，胡厚福，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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