化学品自动排气泡系统及方法技术方案

本发明专利技术揭示了一种化学品自动排气泡系统及方法，其中，所述方法包括如下步骤：S1、判断第一液体侦测器是否被激发，若是，进入步骤S2，若否，不作操作；S2、开启加压阀，并在等待第一时间间隔后开启排液阀；S3、等待第二液体侦测器的激发，在第二液体侦测器被激发后，关闭所述排液阀及加压阀。本发明专利技术通过控制器自动开启排液阀以实现排气泡动作，并通过第二液体侦测器侦测排气完成状态，及时关闭排液阀以避免化学液剂的浪费，化学品的纯度较高，且整个过程实现自动控制，避免人为因素所导致的事故。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及化学液剂供应系统，尤其涉及ー种利用液体侦测及外界施压的。
技术介绍
随着集成电路技术的飞速发展，芯片集成度在不断提高，芯片面积在不断縮小，由此对集成电路制造エ艺也提出了更高的要求。“蚀刻”作为当前集成电路エ序的ー个重要环节，其对于集成电路的集成度提高起着重要的作用。在这个过程中，光阻液剂是这道エ序必不可少的制备材料，通过光阻的覆盖、曝光、显影等步骤完成蚀刻，进而为后续制造エ序提供可能。然而，光阻液剂在使用过程中，必须保证一定的纯度，其中不能掺杂有空气等杂质。在现有技术中，光阻液剂被储纳于光阻瓶中，通过人工来设定排气泡的时间及控制排气泡整个过程，由于人工判断的不稳定性，往往出现在瓶体已经排气泡完成后，光阻液剂还在继续从瓶体的排液管端排出的现象，这势必造成不必要的液剂浪费，且此方式通过人工判断进液管端的液剂是否用空，不免因认为疏忽，发生光阻瓶后端出液管用空，导致光阻液剂不纯的后果，最終给生产带来不必要的损失。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本专利技术的目的在于提供ー种可自动侦测并完成排气泡的化学品自动排气泡系统。相应地，本专利技术还提供一种应用上述系统的自动排气泡方法。为实现上述专利技术目的，本专利技术采用的技术方案如下:ー种化学品自动排气泡系统，所述系统包括: 一用于储存化学品的储液罐，其一端管路上设置有加压阀； ー缓冲瓶，其与所述储液罐相连通，该缓冲瓶上设有与瓶体相连通的进液管、出液管及排液管，其中，在进液管端设置有第一液体侦测器，在排液管端设置有第二液体侦测器及排液阀； ー控制器，其根据所述第一、第二液体侦测器的激发状态来控制所述加压阀及排液阀的开启或关闭。作为本专利技术的进ー步改进，所述进液管、排液管设置于所述缓冲瓶的顶部，所述出液管设置于所述缓冲瓶的底部。作为本专利技术的进ー步改进，所述第一液体侦测器设置于所述进液管管体内、或所述缓冲瓶瓶体内。作为本专利技术的进ー步改进，所述排液阀设置于所述第二液体侦测器下方。作为本专利技术的进ー步改进，所述系统还包括与所述控制器相连接的人机界面。作为本专利技术的进ー步改进，所述化学品包括光阻液剤。相应地，本专利技术还提供的一种自动排气泡方法，其包括如下步骤: 51、判断第一液体侦测器是否被激发，若是，进入步骤S2，若否，不作操作； 52、开启加压阀，并在等待第一时间间隔后开启排液阀； 53、等待第二液体侦测器的激发，在第二液体侦测器被激发后，关闭所述排液阀及加压阀。作为本专利技术的进ー步改进，在所述步骤S2之后，该方法还包括:在排液阀被开启时刻起，设定ー第二时间间隔，判断所述第一、第二液体侦测器是否在所述第二时间间隔内被激发，若是，继续排气泡动作；若否，系统报错。作为本专利技术的进ー步改进，所述步骤S3还具体包括:设定ー第三时间间隔，在第ニ液体侦测器被激发后等待所述第三时间间隔后，再关闭所述排液阀及加压阀。作为本专利技术的进ー步改进，该方法还包括:判断当前第二液体侦测器被激发时刻是否处于系统自动排气泡时段内，若是，继续进行排气泡动作，若否，系统报警。与现有技术相比，本专利技术的自动排气泡系统通过第一液体侦测器侦测化学品的用空状态，并通过控制器自动开启排液阀以实现排气泡动作，并通过第二液体侦测器侦测排气完成状态，及时关闭排液阀以避免化学液剂的浪费，化学品的纯度较高，且整个过程实现自动控制，避免人为因素所导致的事故。【附图说明】图1是本专利技术【具体实施方式】中化学品自动排气泡系统的结构示意图； 图2是本专利技术【具体实施方式】中缓冲瓶的结构示意图； 图3是本专利技术【具体实施方式】中缓冲瓶排泡时的状态示意图； 图4是本专利技术【具体实施方式】中缓冲瓶排泡结束时的状态示意图； 图5是本专利技术【具体实施方式】中化学品自动排气方法的流程图。【具体实施方式】以下将结合附图所示的【具体实施方式】对本专利技术进行详细描述。但这些实施方式并不限制本专利技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本专利技术的保护范围内。请參图1所示，其为本专利技术化学品自动排气泡系统的一具体实施例。本专利技术以一种具有腐蚀性的光阻液剂为例进行描述整个技术方案，当然，本系统也同样适用于其他各类化学试剂的排气泡需求。由于本专利技术的技术方案着重对光阻供应管路装置中的缓冲瓶的改进，因此以下所说明的仅以光阻供应装置中的缓冲瓶为主，其余与缓冲瓶无关的器件不再赘述。在本实施方式中，所述化学品自动排气泡系统包括存储有光阻液剂的储液罐10、缓冲瓶20、废液池30、控制器50及人机界面60等，其中，人机界面可包括触摸屏、键盘等形式的输入/输出装置，上述储液罐10、缓冲瓶20、废液池30三者顺次连通。本专利技术中，在储液罐10的一端设置有一根通有氮气的管道，当然，在其他实施方式中，也可是其它可行的惰性气体，在储液罐10的另一端设置有一根伸入到罐底的管道，且在通有氮气的管路上设置ー加压阀40，于是在打开上述加压阀40时，在氮气的高压作用下，储液罐10内的光阻液剂便会从较长的那根管道挤压出去，从而流向缓冲瓶。当然，在本专利技术其他实施方式中，加压阀的位置也不一定设置于此，其也可以设置于储液罐10用于出液的管路上，即在进气管路上时刻通有高压氮气，但是在出液管路上因为加压阀的关闭，瓶内液剂无法被挤压出，故同样可以达到控制化学液剂的流通及闭塞的目的。[0021 ] 于本专利技术中，上述控制器50可以是包括微控制器(MCU)的集成电路。本领域技术人员所熟知的是，微控制器可以包括中央处理单元(Central Processing Unit, CPU)、只读存储模块(Read-Only Memory, ROM)、随机存储模块(Random Access Memory, RAM)、定时模块、数字模拟转换模块(A/D Converter )、以及若干输入/输出端ロ。当然，控制器50也可以采用其它形式的集成电路，如特定用途集成电路(Application Specific IntegratedCircuits, ASIC)或现场可编程门阵列(Field-programmable Gate Array, FPGA)等。结合图1、图2所示，缓冲瓶20与所述储液罐10相连通，该缓冲瓶20上设有与瓶体相连通的进液管21、出液管23及排液管22,其中,在进液管端设置有第一液体侦测器24,在排液管端设置有第二液体侦测器25，所述排液管端还设置有一排液阀26。其中，在本实施方式中，控制器50根据所述第一、第二液体侦测器的激发状态来控制所述加压阀40及排液阀26的开启或关闭，从而实现光阻供应装置的排气泡动作，其中，控制器50通过第一阀门驱动器41开启加压阀40，控制器50再通过第二阀门驱动器261开启排液阀26，本专利技术具体的拍气泡过程在下文将进行详细介绍。在本专利技术优选的实施方式中，将进液管21、排液管22设置于缓冲瓶20顶部，将出液管23设置于缓冲瓶20的底部。当然，在本专利技术其他实施方式中，进液管21及排液管22也可以设置于瓶体的侧部，在一定条件下同样可以实现排气泡的功能。呈上所述，在本实施方式中，所述排液阀26设置于所述第二液体侦测器25下方，可保证在第二液体侦测器25被激发吋，处于下方的排液阀26的管路部位也被不含气泡的液体充满，所以，此时即便立即关闭排液阀本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述系统包括：一用于储存化学品的储液罐，其一端管路上设置有加压阀；一缓冲瓶，其与所述储液罐相连通，该缓冲瓶上设有与瓶体相连通的进液管、出液管及排液管，其中，在进液管端设置有第一液体侦测器，在排液管端设置有第二液体侦测器及排液阀；?一控制器，其根据所述第一、第二液体侦测器的激发状态来控制所述加压阀及排液阀的开启或关闭。

【技术特征摘要】
1.ー种化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述系统包括: 一用于储存化学品的储液罐，其一端管路上设置有加压阀； ー缓冲瓶，其与所述储液罐相连通，该缓冲瓶上设有与瓶体相连通的进液管、出液管及排液管，其中，在进液管端设置有第一液体侦测器，在排液管端设置有第二液体侦测器及排液阀； ー控制器，其根据所述第一、第二液体侦测器的激发状态来控制所述加压阀及排液阀的开启或关闭。2.根据权利要求1所述的化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述进液管、排液管设置于所述缓冲瓶的顶部，所述出液管设置于所述缓冲瓶的底部。3.根据权利要求1所述的化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述第一液体侦测器设置于所述进液管管体内、或所述缓冲瓶瓶体内。4.根据权利要求3所述的化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述排液阀设置于所述第二液体侦测器下方。5.根据权利要求1所述的化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述系统还包括与所述控制器相连接的人机界面。6.根据权利要求1所述的化学品自动排气泡系统，其特征在于，所述化学品包括光...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵佩英，
申请(专利权)人：苏州和览电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：