化学品供应系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种化学品供应系统，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。

【技术实现步骤摘要】
化学品供应系统
本技术涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种化学品供应系统。
技术介绍
随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。并且，由于半导体制程的不断发展，线宽越来越窄，工艺的要求也越来越高，这些因素都对化学品供应系统提出了更高的要求。 如图1所示，一种化学品供应系统，包括:化学品桶101，气体平衡器102，桶空过滤器103，泵106，所述化学品桶101分别与所述气体平衡器102和所述泵106连接，所述泵106的输出端与桶空过滤器103连接。所述化学品供应系统依靠N2/Vacuum做动力的供应方式，且其供应和传输共用一套动力，其优点是供应压力平稳且节省空间节约成本；但由于传输时会有气泡进入管线，为了避免对生产造成影响，在液体到达生产机台之前会将气泡排放掉，原始设计在桶空过滤器103顶端设有桶空传感器104及阀门105，当桶空传感器104感觉到气泡时，阀门105打开排放掉气泡，但同时部分液体也随之排放掉，造成生产成本提闻。 目前采用的方法是尽量保证化学品桶接头的密闭性，同时增加桶空传感器103的灵敏度。但采用上诉措施造成的后果是桶内剩余化学品较多，同样增加生产成本。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种化学品供应系统，既保证输送液体的品质又避免化学品的浪费。 为了达到上述目的，本技术提供了一种化学品供应系统，包括:化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接； 还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述气液分离回收装置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连通，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有液端连接头，所述回收桶通过液端连接头与桶空过滤器连接。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的顶部还设置有气端连接头，所述回收桶通过所述气端连接头与气体平衡器连接。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述回收桶的侧壁与液位控制管的连接处设置有开关。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关呈“L”型。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述开关与所述回收桶的侧壁之间的夹角为 5。?20°。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述桶空过滤器的顶端设置有桶空传感器。 优选的，在上述化学品供应系统中，所述化学品桶与所述气体平衡器连接。 上述技术方案具有如下优点或有益效果: 在本技术提供的化学品供应系统中，桶空过滤器排放的气液混合物进入到气液分离回收装置内；在所述气液分离回收装置内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器排出，避免了气体进入化学品供应系统的管线。既保证了液体完全回收，避免了化学品的浪费，又保证了化学品供应系统的管道中没有气泡。 【附图说明】 图1为现有技术中化学品供应系统结构不意图； 图2为本技术实施例的化学品供应系统结构示意图； 图3为本技术实施例的气液分离回收装置放大结构示意图； 图4为本技术实施例的开关处于关闭状态的放大结构示意图； 图5为本技术实施例的开关处于打开状态的放大结构示意图； 图中，101-化学品桶；102_气体平衡器；103-桶空过滤器；104-桶空传感器；105-阀门； 201-化学品桶；202_气体平衡器；203_泵；204_桶空过滤器；205_气液分离回收装置；206_桶空传感器；207_第一管线；208_回收桶；209_液位控制管；210_开关；211_液端连接头；212_接收管；213_液位控制连接头；214_气端连接头；215_输入管；216_抽吸管；217-第二管线。 【具体实施方式】 下面将结合示意图对本技术的【具体实施方式】进行详细的描述。根据下列描述并结合权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。 本技术提供了一种化学品供应系统，如图2所示，包括:化学品桶201、泵203、桶空过滤器204，所述化学品桶201通过第一管线207与所述泵203连接，所述泵203通过第二管线217与所述桶空过滤器204连接； 还包括气液分离回收装置205和气体平衡器202，所述气液分离回收装置205分别与桶空过滤器204、第一管线207及气体平衡器202连接。 具体的，桶空过滤器204排放的气液混合物进入到气液分离回收装置205内；在所述气液分离回收装置205内，液体下沉，气体上升，气液自然分离。其中，分离出来的液体进入到所述第一管线207中，被重复利用；分离出来的气体通过气体平衡器202排出。 进一步的，所述桶空过滤器204的顶端设置有桶空传感器206。当桶空传感器206检测到气泡时，就将桶空过滤器204中气液混合物排入到所述气液分离回收装置205中。 具体的，如图3所示，所述气液分离回收装置205，包括:回收桶208、液位控制管209和抽吸管216，所述回收桶208与所述桶空过滤器204连接，所述液位控制管209的进口连接于所述回收桶208的侧壁，所述抽吸管216的一端置于所述位控制管209内，所述抽吸管216的另一端与所述第一管线207连接。。所述液位控制管209为回字型，穿过所述回收桶208的侧壁。 所述回收桶208的顶部设置有液位控制连接头213，所述液位控制管209通过液位控制连接头213与抽吸管216连接。所述回收桶208的侧壁与液位控制管209的连接处设置有开关210。 化学品供应系统在应用中，第一管线207中每隔一定时间(例如20秒)会出现一次真空状态，每次持续一定时间(例如5秒)。随着回收桶208内的液体增多，当回收桶208内的液位增高到液位控制管209的进口处时，当第一管线207中处于真空间歇状态时，回收桶208内的压强与液位控制管209内的压强相等，也就是说开关210左右的压强相等，开关210在液体浮力的作用下打开，如图4所示，液体从回收桶208内流入到液位控制管209内，并将液位控制管209内的气体挤入到所述回收桶208中。 接着，第一管线207中出现真空状态，液位控制管209内的液体被吸入到第一管线207中，通过第一管线207进入化学品供应系统中。同时，所述回收桶208内的液位下降，当液位下降到低于所述液位控制管209的进口时，所述开关210在重力作用下关闭，如图5所 /Jn ο 具体的，所述开关210为“L”型，增大了与液体的接触面积，从而增大了浮力，更有利于开关210的打开。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种化学品供应系统，其特征在于，包括：化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接；还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。

【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统，其特征在于，包括:化学品桶、泵、桶空过滤器，所述化学品桶通过第一管线与所述泵连接，所述泵通过第二管线与所述桶空过滤器连接； 还包括气液分离回收装置和气体平衡器，所述气液分离回收装置分别与桶空过滤器、第一管线及气体平衡器连接。2.如权利要求1所述的化学品供应系统，其特征在于，所述气液分离回收装置包括:回收桶、液位控制管和抽吸管，所述回收桶与桶空过滤器连接，所述液位控制管与所述回收桶连接，所述抽吸管的一端置于所述位控制管内，所述抽吸管的另一端与所述第一管线连接。3.如权利要求2所述的化学品供应系统，其特征在于，所述回收桶的顶部设置有液位控制连接头；所述液位控制管呈回字型，所述液位控制管穿过所述回收桶的侧壁，其通过所述液位控制连接头与所述抽吸管连接。4.如权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王学利，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11