本实用新型专利技术提供一种化学品供应系统，包括：原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道。通过增设备用供液管道及第五气动阀，即使所述化学品供应系统部分单元出现故障，仍能保证所述化学品供应系统正常工作，大大提高了化学品供应系统的稳定性和可靠性，进而提高了生产效率。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体设备领域，特别是涉及一种化学品供应系统。
技术介绍
鉴于半导体行业的特殊性，即需要使用大量的具有剧毒和高腐蚀性的化学品来满足生产制成的需要。然而，如果化学品不够纯净，制造半导体元件的良率可能因此而降低；所以，针对这些剧毒化学品的供应，为了防止半导体元件会受到颗粒或杂质的污染，在使用化学品之前，都会先进行过滤的动作，以减少化学品中颗粒的存在。对所述化学品供给及过滤的过程一般通过化学品供应系统来实现。现有的化学品供应系统如图1所示，主要包括:原液桶100、补酸泵101、补酸过滤器102、供应槽103、供应泵104、供应过滤器105、第一气动阀106、第二气动阀107、第三气动阀108、第四气动阀109、主供液管道110、补酸压力侦测器111、供应压力侦测器112、液位侦测器；其中，所述主供液管道110将所述原液桶100、补酸泵101、补酸过滤器102、供应槽103、供应泵104、供应过滤器105依次连接；所述第一气动阀106位于所述原液桶100与所述补酸泵101之间的所述主供液管道110上；所述第二气动阀107位于所述补酸过滤器102与所述供应槽103之间的所述主供液管道110上；所述第三气动阀108位于所述供应槽103与所述供应过滤器105之间的所述主供液管道110上；所述第四气动阀109位于所述供应过滤器105出口端的所述主供液管道110上；所述补酸压力侦测器111位于靠近所述补酸过滤器102出口端的所述主供液管道110上，所述供应压力侦测器112为两个，分别位于所述供应过滤器105两侧的所述主供液管道110上；所述液位侦测器位于所述供应槽103 内。所述化学品供应系统的工作原理为:经过所述第四气动阀109的所述主供液管道110与工作机台端相连接，当工作机台端需要化学品输入时，控制系统就会控制所述供应泵104、第三气动阀108及所述第四气动阀109打开，化学品从所述供应槽103经由所述主供液管道110输送至工作机台端；所述工作机台端化学品输入完毕时，控制系统又会控制所述供应泵104、第三气动阀108及所述第四气动阀109关闭，此时，从所述供应槽103向所述工作机台端供液完毕。当所述供应槽103内化学品太少，至液位低于预设值时，位于此处的所述液位侦测器就会被触发，进而控制系统控制所述补酸泵101、第一气动阀106及第二气动阀107打开，所述原液桶100内的化学品经由所述主供液管道110被输送至所述供应槽103内。当所述供应槽103内注入的化学品液面达到预设高度值时，位于此处的所述液位侦测器会被触发，进而控制系统控制所述补酸泵101、第一气动阀106及第二气动阀107关闭，停止向所述供应槽103内补给化学品。其中，图1中的箭头代表在化学品供应过程中化学品的流动方向。然而，现有的化学品供应系统存在如下问题:由于化学品从所述原液桶100先传送至所述供应槽103内，然后再输送到工作机台端，当所述供应槽103及位于所述供应槽103与所述工作机台端之间的所述第三气动阀108、第四气动阀109、供应泵104、主供液管道110中的任一个出现故障都将导致整个供应系统停止工作，进而影响生产效率。因此，提供一种改进型的化学品供应系统非常必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种化学品供应系统，用于解决现有技术中由于部分输送单元出现故障而导致的整个供应系统停止工作，进而影响生广效率的冋题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种化学品供应系统，所述化学品供应系统至少包括:原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道；其中所述补酸过滤器及所述供应过滤器均包括进口端及出口端；所述主供液管道将所述原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器依次连接；所述备用供液管道一端与所述补酸过滤器的出口端相连接，另一端与所述供应过滤器的进口端相连接；所述第一气动阀位于所述原液桶与所述补酸泵之间的所述主供液管道上；所述第二气动阀位于所述补酸过滤器与所述供应槽之间的所述主供液管道上；所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上；所述第四气动阀位于所述供应过滤器出口端的所述主供液管道上；所述第五气动阀位于所述备用供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括手动阀，所述手动阀位于所述供应泵与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括液位侦测器，位于所述供应槽内。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括补酸压力侦测器及供应压力侦测器；所述补酸压力侦测器位于靠近所述补酸过滤器出口端的所述主供液管道上，所述供应压力侦测器为两个，分别位于所述供应过滤器两侧的所述主供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述补酸泵及所述供应泵均为多个，每个所述补酸泵及所述供应泵均独立地连接于所述主供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述补酸泵及所述供应泵均为两个。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应泵之间及所述供应泵与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括:回流管道及第六气动阀；所述回流管道的一端与所述补酸过滤器的出口端相连接，另一端与所述原液桶相连接；所述第六气动阀位于所述回流管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括气液分离器，所述气液分离器位于所述补酸泵与所述补酸过滤器之间的所述主供液管道上。作为本技术的化学品供应系统的一种优选方案，所述化学品供应系统还包括可编程逻辑控制器，补酸泵、供应泵、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、第六气动阀、液位侦测器、补酸压力侦测器、供应压力侦测器及气液分离器均与所述可编程逻辑控制器电连接。如上所述，本技术的化学品供应系统，具有以下有益效果:通过增设备用供液管道及第五气动阀，即使所述化学品供应系统部分单元出现故障，仍能保证所述化学品供应系统正常工作，大大提高了化学品供应系统的稳定性和可靠性，进而提高了生产效率；通过增设回流管道和气液分离器，可以确保将化学品中的气泡完全去除，避免了气泡进入工作机台端而对生产造成影响，进而提高了产品的良率。【附图说明】图1显示为现有技术中的化学品供应系统的示意图。图2显示为本技术的化学品供应系统的示意图。图3显示为本技术的化学品供应系统中各结构之间的连接关系示意图。元件标号说明100原液桶101补酸泵102补酸过滤器103供应槽当前第1页1 2 3 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种化学品供应系统，其特征在于，至少包括：原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器、第一气动阀、第二气动阀、第三气动阀、第四气动阀、第五气动阀、主供液管道、备用供液管道；其中所述补酸过滤器及所述供应过滤器均包括进口端及出口端；所述主供液管道将所述原液桶、补酸泵、补酸过滤器、供应槽、供应泵、供应过滤器依次连接；所述备用供液管道一端与所述补酸过滤器的出口端相连接，另一端与所述供应过滤器的进口端相连接；所述第一气动阀位于所述原液桶与所述补酸泵之间的所述主供液管道上；所述第二气动阀位于所述补酸过滤器与所述供应槽之间的所述主供液管道上；所述第三气动阀位于所述供应槽与所述供应过滤器之间的所述主供液管道上；所述第四气动阀位于所述供应过滤器出口端的所述主供液管道上；所述第五气动阀位于所述备用供液管道上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张文武，丁秀萍，王强，刁春华，周鹏，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11
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