【技术实现步骤摘要】
—种化学品供应系统用阀箱[
]本技术涉及半导体制造
，具体地说是一种化学品供应系统用阀箱。[
技术介绍
]随着我国半导体行业的继续发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化，其目的是实现对芯片上的杂质、微粒子进行清洗等。而作为半导体制程前端的化学品供应系统，其工作中的任何问题都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品供应系统的稳定性和可靠性，半导体制造厂商已越来越重视该制程中的每一个化学品供应设备。 根据目前化学品供应系统所使用的情况，现有技术中基本是一个阀箱对应一个化学品分配出口，至多可以一个阀箱对应两个化学品分配出口，而若需要提供更多个化学品分配出口时，只能增加阀箱的数量，从而成本非常高，且结构也更复杂，安装更麻烦，还占用了现场大量的场地，使用非常不方便，尤其是非常不经济。为了解决此类问题，人们一直在寻求一种更理想的技术解决方案。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种化学品供应系统用阀箱，结构简单，设计合理，只需要一个阀箱即可实现多个化学品分配出口，从而降低了成本，节约了场地，安装和使用也都非常方便。为实现上述目的设计一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体I和箱体盖2，所述箱体I与箱体盖2密封连接，所述箱体I内设置有手动阀3和气动阀4，所述手动阀3与气动阀4通过管道5连接，所述箱体I上端设有进口 6，所述箱体I上端还设有至少两个以上出口 7，所述箱体I的进口 6与出口 7之间通过管道5循环连接，所述手动阀3和气动阀4设置在管道5中，所述箱体I侧面设有排气口 8。所述箱体I内侧下方设置有泄漏侦测器。所述箱体I与箱体盖2之...
【技术保护点】
一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体（1）和箱体盖（2），其特征在于：所述箱体（1）与箱体盖（2）密封连接，所述箱体（1）内设置有手动阀（3）和气动阀（4），所述手动阀（3）与气动阀（4）通过管道（5）连接，所述箱体（1）上端设有进口（6），所述箱体（1）上端还设有至少两个以上出口（7），所述箱体（1）的进口（6）与出口（7）之间通过管道（5）循环连接，所述手动阀（3）和气动阀（4）设置在管道（5）中，所述箱体（1）侧面设有排气口（8）。
【技术特征摘要】
1.一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体(I)和箱体盖(2)，其特征在于所述箱体(I)与箱体盖(2 )密封连接，所述箱体(I)内设置有手动阀(3 )和气动阀(4 )，所述手动阀(3 )与气动阀(4 )通过管道(5 )连接，所述箱体(I)上端设有进口( 6 )，所述箱体(I)上端还设有至少两个以上出口(7)，所述箱体(I)的进口(6)与出口(7)之间通过管道(5)循环连接，...
【专利技术属性】
技术研发人员：简建至，胡厚福，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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