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本实用新型涉及半导体制造技术领域，具体地说是一种化学品供应系统用阀箱，包括箱体（1）和箱体盖（2），所述箱体（1）与箱体盖（2）密封连接，所述箱体（1）内设置有手动阀（3）和气动阀（4），所述手动阀（3）与气动阀（4）通过管道（5）连接，所...
该专利属于冠礼控制科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过冠礼控制科技（上海）有限公司授权不得商用。

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