一种处理固液混合物的颗粒分离装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种处理固液混合物的颗粒分离装置，包括内溢流式反应槽、超声波震荡系统、多段金属回收管路以及分段在线式温控系统，超声波震荡系统设置于内溢流式反应槽处，内溢流式反应槽包括内槽中央清洗区、内槽沉降区、外槽溢流区和内溢流进液匀流管，内槽沉降区位于内槽中央清洗区下方，外槽溢流区水平最高面高于内槽中央清洗区，内溢流进液匀流管安装于外槽溢流区内测边缘，进入的液体均匀的在外槽溢流区扩散，并向内槽中央清洗区均匀溢流，内槽沉降区排液口连接多段金属回收管路，多段金属回收管路另一端连接内溢流进液匀流管，外槽溢流区连接分段在线式温控系统；本发明专利技术能够满足半导体湿制程要求，并显著提高了制程效率以获得较高产能优势。

【技术实现步骤摘要】

[]本专利技术涉及半导体湿制程设备领域，具体地说是一种处理固液混合物的颗粒分离装置。

技术介绍

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技术介绍
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1、金属剥离[metal/lift off，以下简称lift off]是微机电[mems]及化合物半导体器件制造不可或缺的一个制程，此制程主要采用nmp或dmso等有机溶剂去溶解并带走作为辅助层的光刻胶，使附着在辅助层上的金属脱离晶圆，只留下目标金属层。此制程有两个难点，首先是脱离下的金属通常为黄金这样的贵金属，整个系统在剥离金属的同时需要进行高效的金属回收，并尽可能减少回收系统的维护作业时间。其次是需要防止剥离后的金属重新沉积在晶圆表面的同时满足较为温和的金属去除动作，避免较为敏感mems器件受到损伤。

2、目前，在半导体湿法领域[wet process]常见的两类金属剥离[metal lift-off]技术，第一种是采用受控的高压雾液，常见于单片式设备，对晶圆表面需要进行金属剥离的部位进行直接喷射，采用冲击力雾液对金属进行剥离。这种高压的方式一般会遇到明显的金属碎屑飞溅问题，飞溅的金属碎屑通常会提高金属回收的难度；另本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：包括内溢流式反应槽(1)、超声波震荡系统(2)、多段金属回收管路(3)以及分段在线式温控系统(4)，所述超声波震荡系统(2)设置于内溢流式反应槽(1)处，所述内溢流式反应槽(1)包括内槽中央清洗区(1.1)、内槽沉降区(1.2)、外槽溢流区(1.3)和内溢流进液匀流管(1.4)，所述内槽沉降区(1.2)位于内槽中央清洗区(1.1)下方，所述外槽溢流区(1.3)水平最高面高于内槽中央清洗区(1.1)，以使进入外槽溢流区(1.3)的液体可向内溢流进入内槽中央清洗区(1.1)，所述内溢流进液匀流管(1.4)安装于外槽溢流区(1.3)内测边缘，进...

【技术特征摘要】

1.一种处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：包括内溢流式反应槽(1)、超声波震荡系统(2)、多段金属回收管路(3)以及分段在线式温控系统(4)，所述超声波震荡系统(2)设置于内溢流式反应槽(1)处，所述内溢流式反应槽(1)包括内槽中央清洗区(1.1)、内槽沉降区(1.2)、外槽溢流区(1.3)和内溢流进液匀流管(1.4)，所述内槽沉降区(1.2)位于内槽中央清洗区(1.1)下方，所述外槽溢流区(1.3)水平最高面高于内槽中央清洗区(1.1)，以使进入外槽溢流区(1.3)的液体可向内溢流进入内槽中央清洗区(1.1)，所述内溢流进液匀流管(1.4)安装于外槽溢流区(1.3)内测边缘，进入内溢流进液匀流管(1.4)的液体均匀的在外槽溢流区(1.3)扩散，并向内槽中央清洗区(1.1)均匀溢流，所述内槽沉降区(1.2)底部的排液口(1.5)连接多段金属回收管路(3)，所述多段金属回收管路(3)另一端连接内溢流进液匀流管(1.4)，所述外槽溢流区(1.3)连接分段在线式温控系统(4)。

2.如权利要求1所述的处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：所述内槽中央清洗区(1.1)、内槽沉降区(1.2)、外槽溢流区(1.3)以焊接形式连接为一体，所述内槽沉降区(1.2)侧壁呈锐角斜坡形态，并通过锐角斜坡确保颗粒物无法在槽内堆积，所述内槽沉降区(1.2)槽体截面积由上至下收拢至排液口(1.5)大小，且内槽沉降区(1.2)侧壁至底部排液口(1.5)处无锐角，所述内槽沉降区(1.2)底部的排液口(1.5)采用法兰结构连接多段金属回收管路(3)，并通过法兰结构以更短的垂直空间获得底部全开结构。

3.如权利要求1所述的处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：所述外槽溢流区(1.3)内部内溢流进液匀流管(1.4)的底部分布有毛细孔阵列(1.6)，所述内溢流进液匀流管(1.4)由管道进口通过毛细孔阵列(1.6)向外槽溢流区(1.3)内注入剥离溶剂，所述毛细孔阵列(1.6)中所有毛细喷射口沿管道轴线对齐，并向下呈现朝外倾角；内溢流进液匀流管(1.4)毛细孔阵列(1.6)由进口开始到最远侧，共分三个区域，每个区域的出水孔朝下方以10-45度的锐角呈现，由近至远三个密度区域的孔数量和大小分布相对为，近距离区域为小孔孔间距大间隔，中间区域为中孔间距中间隔，远距离区域为大孔空间距大间隔，三个区域的喷射孔总截面积比例依次递进，其孔截面积和数量的总和百分比呈现10％的递进。

4.如权利要求1所述的处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：所述外槽溢流区(1.3)进液位置设置于其最外侧，所述内槽中央清洗区(1.1)顶部边缘具有锯齿状溢流口(1.7)，所述自内溢流进液匀流管(1.4)注入的溶剂进入内槽沉降区(1.2)之前，先通过外槽溢流区(1.3)内的热交换区(1.8)以进行剥离溶剂的二次控温，所述热交换区(1.8)与分段在线式温控系统(4)连接。

5.如权利要求1所述的处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：所述超声波震荡系统(2)包括多频超声波震板(2.1)和震波防扩散网幕(2.2)，所述多频超声波震板(2.1)安装于内槽中央清洗区(1.1)的四个侧面，且安装位置水平高度相同，所述震波防扩散网幕(2.2)由两套主体为600目金属网构成，分别安装于内槽沉降区(1.2)的上方和中间区域，所述震波防扩散网幕(2.2)周向设置有导向滑槽(2.3)，并通过导向滑槽(2.3)放置在内槽沉降区(1.2)侧壁，所述震波防扩散网幕(2.2)顶部装设有把手。

6.如权利要求5所述的处理固液混合物的颗粒分离装置，其特征在于：所述多频超声波震板(2.1)采用单块能产生26、78、130khz三个频段的超声波震板，所述多频超声波震板(2.1)从侧面四个方向向中央区域传递不同频率的震波，并对剥离目标在早期、中期、后期分别进行26khz、78khz、130khz的震动；所述震波防扩散网幕(2.2)采用双层结构以在震波能量聚...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄自柯，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：