【技术实现步骤摘要】
一种精密双面研磨机的外齿抬升装置
本技术关于硅片精密研磨领域,特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。
技术介绍
硅片是制作晶体管和集成电路的原料。硅片,是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件。在加工硅片的机器中,精密研磨机作为研磨硅片的机器之一,必不可少。研磨机原理为被磨材料放于研磨盘上,研磨盘逆时钟转动,游星片带动工件自转,重力加压的方式对工件施压,工件与研磨盘作相对运转磨擦,来达到研磨目的。而游星片就被放置在齿圈与太阳轮之间,所以齿圈的抬升动作是必不可少的。以往的研磨机设备不具有这一外齿抬升装置,所以没办法对齿圈进行位置的调整,在游星片的安装和取下的时候非常的不方便,对于修正轮的安装和取下也是不方便。所以开发一种能有效调整外齿的装置,方便游星片与修正轮换取的结构非常有必要。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是,克服现有技术中的不足,提供一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。为解决上述技术问题,本技术采用的解决方案是:提供一种精密双面研磨机的外齿抬升装置,包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。减速电机固设于支撑底板上,减速电机输出轴与链轮组件相连。丝杆螺母组件有多组,均包括丝杆与螺母,丝杆垂直设于支撑底板上,螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑地板上,并与丝杆底端相连,抬升板与螺母相连,齿圈套设于抬升板上。齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。作为一种改进,支撑底板上还设有支架,支架外缘设有多个外延端,丝杆通过轴承 ...
【技术保护点】
1.一种精密双面研磨机的外齿抬升装置,其特征在于,包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板;/n所述减速电机固设于支撑底板上,减速电机输出轴与链轮组件相连;/n所述丝杆螺母组件有多组,均包括丝杆与螺母,丝杆垂直设于支撑底板上,螺母套设于丝杆上;链轮组件设于支撑底板上,并与丝杆底端相连,抬升板与所述螺母相连,齿圈套设于抬升板上;齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。/n
【技术特征摘要】
1.一种精密双面研磨机的外齿抬升装置,其特征在于,包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板;
所述减速电机固设于支撑底板上,减速电机输出轴与链轮组件相连;
所述丝杆螺母组件有多组,均包括丝杆与螺母,丝杆垂直设于支撑底板上,螺母套设于丝杆上;链轮组件设于支撑底板上,并与丝杆底端相连,抬升板与所述螺母相连,齿圈套设于抬升板上;齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。
2.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱亮,卢嘉彬,严浩,杨依凡,周锋,刘文涛,曹建伟,傅林坚,
申请(专利权)人:浙江晶盛机电股份有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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