一种硅片磨片支撑架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。本实用新型专利技术能够对支撑架进行有效固定，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。

A support frame for silicon wafer grinding

【技术实现步骤摘要】
一种硅片磨片支撑架
本技术涉及硅片磨片支撑架
，尤其涉及一种硅片磨片支撑架。
技术介绍
硅片检测时需进行抛光，即利用机械和化学的作用除去表面机械损伤层，进一步采用化学的方法将其处理成双镜面，以达到检测要求。检测时要求多晶硅片厚度为2.5mm，但硅片在切割时会出现硅片表面边缘有凸起或硅片表面中间有凹槽。而硅片在进行研磨时，需要对其磨片进行支撑。经检索，中国专利申请号为CN201720398214.8的专利，公开了硅片磨片支撑架及硅片磨片装置，包括支臂及连接于支臂两端且相对设置且两者间具有用于加工硅片的间隙的第一磨片支架及第二磨片支架。第一磨片支架转动连接有上磨片盘和上抛光盘的装置。然而，传统的硅片磨片支撑架在固定好硅片磨片进行研磨时，时常会出现硅片膜片微移的现象，由此，会导致其合格率降低，因此，亟需一种硅片磨片支撑架。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅片磨片支撑架。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种硅片磨片支撑架，包括安装座，所述安装座底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块，且安装座顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱，所述固定柱一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨，且电动滑轨底部内壁滑动连接有滑块，所述滑块正面和背面外壁均通过固定架连接有同一个支撑架，所述滑块远离固定柱一侧外壁通过螺栓固定有支架，且支架顶部外壁通过螺栓固定于支撑架底部外壁上，所述支撑架顶部外壁通过螺钉固定有垫板，且支撑架两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽。进一步的，所述垫板顶部外壁开有等距离分布的螺纹孔，且每个螺纹孔内壁均通过螺纹固定有圆形柱。进一步的，所述圆形柱顶部外壁通过焊接有放置盘，且放置盘顶部和底部连通。进一步的，所述电动滑轨两端外壁均通过螺栓固定有限位板，且废料槽高度不高于垫板的高度。进一步的，所述圆形柱顶部外壁开有安装槽，且安装槽底部内壁设置有弹簧。进一步的，所述弹簧顶部和底部外壁均通过凸块套接有连接板，且其中一个连接板位于放置盘底部，放置盘圆周内壁开有两个卡槽。与现有技术相比，本技术提供了一种硅片磨片支撑架，具备以下有益效果：1.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有固定架和支架，能够对支撑架进行有效固定，同时通过设置有电动滑轨和滑块，能够对支撑架进行高度调节，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要。2.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有圆形柱、卡槽、连接板、弹簧和安装槽，通过挤压连接板，使得硅片磨片卡接于卡槽内，进而达到对硅片磨片的固定，也避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。3.该用于硅片磨片支撑架，通过设置有废料槽，促进了对硅片磨片研磨后的废料进行收集，从而提高了整体装置的实用性。该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本技术结构简单，操作方便，且对硅片磨片的固定效果好。附图说明图1为本技术提出的一种硅片磨片支撑架的主视结构示意图；图2为本技术提出的一种硅片磨片支撑架支撑架的俯视结构示意图；图3为本技术提出的一种硅片磨片支撑架圆形柱的装配结构示意图。图中：1-支撑块、2-安装座、3-固定柱、4-电动滑轨、5-滑块、6-支撑架、7-圆形柱、8-支架、9-放置盘、10-废料槽、11-固定架、12-垫板、13-卡槽、14-连接板、15-弹簧、16-安装槽。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。实施例1参照图1-3，一种硅片磨片支撑架，包括安装座2，安装座2底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块1，且安装座2顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱3，固定柱3一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨4，且电动滑轨4底部内壁滑动连接有滑块5，能够对支撑架6进行高度调节，满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，滑块5正面和背面外壁均通过固定架11连接有同一个支撑架6，滑块5远离固定柱3一侧外壁通过螺栓固定有支架8，能够对支撑架6进行有效固定，且支架8顶部外壁通过螺栓固定于支撑架6底部外壁上，支撑架6顶部外壁通过螺钉固定有垫板12，且支撑架6两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽10，促进了对硅片磨片研磨后的废料进行收集，从而提高了整体装置的实用性。其中，垫板12顶部外壁开有等距离分布的螺纹孔，且每个螺纹孔内壁均通过螺纹固定有圆形柱7。其中，圆形柱7顶部外壁通过焊接有放置盘9，且放置盘9顶部和底部连通。其中，电动滑轨4两端外壁均通过螺栓固定有限位板，且废料槽10高度不高于垫板12的高度。实施例2参照图3，一种硅片磨片支撑架，还包括圆形柱7顶部外壁开有安装槽16，且安装槽16底部内壁设置有弹簧15，弹簧15顶部和底部外壁均通过凸块套接有连接板14，且其中一个连接板14位于放置盘9底部，放置盘9圆周内壁开有两个卡槽13，避免了硅片磨片在研磨时出现微移的问题，从而提高了其研磨的质量。工作原理：使用时，将每个硅片磨片放于放置盘9内，并通过挤压硅片磨片，使得硅片磨片两侧在弹簧15的作用下卡接于放置盘9两侧的卡槽13内，同时，通过启动电动滑轨4，带动滑块5一侧的放置盘9向上移动，进而满足了不同规格硅片磨片的研磨需要，而在放置盘9的两侧设置有废料槽10，能够对研磨中出现的废料进行收集，进而提高了硅片磨片的研磨效率。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片磨片支撑架，包括安装座(2)，其特征在于，所述安装座(2)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块(1)，且安装座(2)顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱(3)，所述固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨(4)，且电动滑轨(4)底部内壁滑动连接有滑块(5)，所述滑块(5)正面和背面外壁均通过固定架(11)连接有同一个支撑架(6)，所述滑块(5)远离固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有支架(8)，且支架(8)顶部外壁通过螺栓固定于支撑架(6)底部外壁上，所述支撑架(6)顶部外壁通过螺钉固定有垫板(12)，且支撑架(6)两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种硅片磨片支撑架，包括安装座(2)，其特征在于，所述安装座(2)底部四角外壁均通过螺栓固定有支撑块(1)，且安装座(2)顶部一侧外壁通过螺栓固定有固定柱(3)，所述固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有电动滑轨(4)，且电动滑轨(4)底部内壁滑动连接有滑块(5)，所述滑块(5)正面和背面外壁均通过固定架(11)连接有同一个支撑架(6)，所述滑块(5)远离固定柱(3)一侧外壁通过螺栓固定有支架(8)，且支架(8)顶部外壁通过螺栓固定于支撑架(6)底部外壁上，所述支撑架(6)顶部外壁通过螺钉固定有垫板(12)，且支撑架(6)两侧外壁均通过螺栓固定有废料槽(10)。


2.根据权利要求1所述的一种硅片磨片支撑架，其特征在于，所述垫板(12)顶部外壁开有等距离分布的螺纹孔，且每个螺纹孔内壁均通过螺纹固定有圆形柱(...

【专利技术属性】
技术研发人员：李杰，朱棣，于友，刘世伟，石坚，
申请(专利权)人：山东九思新材料科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：山东;37