一种具有防护功能的化学机械抛光设备制造技术

本发明专利技术公开了一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台、卡合槽、滴液器和第二电动推杆，所述抛光台顶部设置有抛光盘，其中，所述抛光盘外侧设置有防护罩，所述防护罩内侧设置有隔音棉，所述防护罩底部固定有固定柱，所述固定柱安装在固定槽内部，所述固定槽设置在抛光台顶部，所述防护罩底部两端固定有卡合栓，所述卡合栓安装在卡合槽内部，所述卡合槽内侧设置有柱孔，所述柱孔内部安装有锁定柱，所述锁定柱一端设置在所述卡合栓侧面。该具有防护功能的化学机械抛光设备设置有防护罩，当抛光盘旋转速度过快时，抛光液会飞溅而出，通过防护罩防止抛光液飞溅，防止抛光液污染抛光台，同时防止抛光盘的旋转伤及工作人员。

A chemical mechanical polishing equipment with protective function

【技术实现步骤摘要】
一种具有防护功能的化学机械抛光设备
本专利技术涉及抛光设备
，具体为一种具有防护功能的化学机械抛光设备。
技术介绍
化学机械抛光技术是集成电路制造中获得全局平坦化的一种手段，这种工艺就是为了能够获得既平坦、又无划痕和杂质玷污的表面而专门设计的，采用这种工艺进行抛光操作，能够进一步的增加抛光的质量，提升抛光效率，在此，我们来研究一种化学机械抛光设备，我们希望通过对该化学机械抛光设备的不断研究与改进，能够帮助我们更加便利的使用该设备，同时进一步提升工件的抛光质量与效率。虽然现在的化学机械抛光设备种类众多，但是，许多化学机械抛光设备在使用时存在这样的问题：由于没有防护功能在磨抛转速过高时，导致在进行抛光时抛光液容易溅出，污染抛光台难以清理，因此要对现在的化学机械抛光设备进行改进。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种具有防护功能的化学机械抛光设备，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的化学机械抛光设备由于没有防护功能在磨抛转速过高时，导致在进行抛光时抛光液容易溅出，污染抛光台难以清理的问题。为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台、卡合槽、滴液器和第二电动推杆，所述抛光台顶部设置有抛光盘，其中，所述抛光盘外侧设置有防护罩，所述防护罩内侧设置有隔音棉，所述防护罩底部固定有固定柱，所述固定柱安装在固定槽内部，所述固定槽设置在抛光台顶部，所述防护罩底部两端固定有卡合栓，所述卡合栓安装在卡合槽内部，所述卡合槽设置在抛光台顶部；<br>所述卡合槽内侧设置有柱孔，所述柱孔内部安装有锁定柱，所述锁定柱一端设置在所述卡合栓侧面，所述锁定柱外侧固定有锁定环，所述锁定环侧面固定有锁定弹簧，所述锁定柱另一端固定有移动块，所述移动块设置在移动槽内部，所述移动槽设置在按压柱内部，所述按压柱底部固定有按压弹簧，所述按压弹簧设置在按压槽内部，所述按压槽设置在抛光台顶部；所述滴液器设置在抛光台顶部的抛光盘侧面，所述抛光盘侧面通过第一电动推杆固定有机头，所述机头底部通过连接柱安装有样品盘，所述连接柱底部设置有安装槽，所述安装槽内部安装有安装柱，所述安装柱侧面设置有安装栓，所述安装栓安装在栓孔内部，所述栓孔设置在安装槽外侧；所述第二电动推杆设置在机头底部的连接柱外侧。优选的，所述防护罩设置为软塑料材质，且所述防护罩内部的隔音棉设置为聚酯纤维材质。优选的，多个所述固定柱等距离固定在防护罩底部，且所述固定柱底部设置为球体结构，而且所述固定槽内部设置为软橡胶材质。优选的，所述卡合栓设置有两个，且两个所述卡合栓对称固定在防护罩底部两侧，而且所述防护罩通过所述卡合栓与卡合槽之间构成卡合结构。优选的，所述移动块顶部设置为30°斜坡结构，且所述移动块通过移动槽与按压柱之间构成滑动结构。优选的，所述第一电动推杆安装在机头底部，且所述第一电动推杆输出端固定在所述抛光台顶部，而且所述第一电动推杆的型号设置为：ANT-52。优选的，所述安装柱设置在样品盘顶部中心位置，且所述安装柱与安装槽之间构成螺纹啮合结构。优选的，所述安装栓设置有两个，且两个所述安装栓对称设置在安装柱外部两侧，而且所述安装栓与栓孔之间构成卡合结构。优选的，所述第二电动推杆设置有多个，且多个所述第二电动推杆呈圆环型设置在机头底部的连接柱外侧，而且所述第二电动推杆的型号设置为：ANT-26。与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该具有防护功能的化学机械抛光设备：在进行抛光时，我们可以将防护罩安装在抛光台顶部的抛光盘侧面，当抛光盘旋转速度过快时，抛光液会飞溅而出，通过防护罩防止抛光液飞溅，防止抛光液污染抛光台，同时防止抛光盘的旋转伤及工作人员；在使用防护罩进行防护抛光时，由于防护罩内侧设置有隔音棉，通过隔音棉将样品与抛光盘之间的摩擦噪音吸收反射，在一定程度上减少噪音的传播，提升工人的工作环境质量；在安装防护罩时，将防护罩底部的固定柱插入固定槽内部，再将卡合栓插入卡合槽内部，使得两个卡合栓通过锁定柱固定在卡合槽内部，即可将防护罩安装完成，简单方便；抛光完成后，我们将抛光台顶部的按压柱按下，使得按压柱内部的移动槽压迫移动块，由于移动块顶部设置为30°斜坡，则移动块会在移动槽内部移动，由此将锁定柱进行移动，当锁定柱一端从卡合栓侧面移开时，即可将防护罩取下，再将加工完成后的样品取出即可；5.设置有安装柱，在使用该抛光设备时，我们也可将样品盘取下进行检修更换，以便适应不同尺寸的样品，我们先将安装槽外侧的安装栓按下，使得安装栓按入栓孔内部，紧接着将样品盘进行旋转，使得样品盘顶部的安装柱从安装槽内部旋转移出，即可将样品盘取下进行检修更换；6.安装样品盘时，取出新的样品盘，将样品盘顶部的安装柱旋转安装在安装槽内部，一直旋转，直到安装柱外侧的安装栓卡合在栓孔内部，即可快速将样品盘固定完成，继续进行抛光操作。附图说明图1为本专利技术左视结构示意图；图2为本专利技术右视结构示意图；图3为本专利技术俯视结构示意图；图4为本专利技术图1中A部分放大结构示意图；图5为本专利技术图2中B部分放大结构示意图；图6为本专利技术图3中C部分放大结构示意图。图中：1、抛光台；2、抛光盘；3、防护罩；4、隔音棉；5、固定柱；6、固定槽；7、卡合栓；8、卡合槽；9、柱孔；10、锁定柱；11、锁定环；12、锁定弹簧；13、移动块；14、移动槽；15、按压柱；16、按压弹簧；17、按压槽；18、滴液器；19、第一电动推杆；20、机头；21、连接柱；22、样品盘；23、安装槽；24、安装柱；25、安装栓；26、栓孔；27、第二电动推杆。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1-6，本专利技术提供一种技术方案：一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台1、抛光盘2、防护罩3、隔音棉4、固定柱5、固定槽6、卡合栓7、卡合槽8、柱孔9、锁定柱10、锁定环11、锁定弹簧12、移动块13、移动槽14、按压柱15、按压弹簧16、按压槽17、滴液器18、第一电动推杆19、机头20、连接柱21、样品盘22、安装槽23、安装柱24、安装栓25、栓孔26和第二电动推杆27，所述抛光台1顶部设置有抛光盘2，其中，所述抛光盘2外侧设置有防护罩3，所述防护罩3设置为软塑料材质，且所述防护罩3内部的隔音棉4设置为聚酯纤维材质，在进行抛光时，我们可以将防护罩3安装在抛光台1顶部的抛光盘2侧面，当抛光盘2旋转速度过快时，抛光液会飞溅而出，通过防护罩3防止抛光液飞溅，防止抛光液污染抛光台1，同时防止抛光盘2的旋转伤及工作人员，所述防护罩3内侧设置有隔音棉4，所述防护罩3底部固定有固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台（1）、卡合槽（8）、滴液器（18）和第二电动推杆（27），其特征在于：所述抛光台（1）顶部设置有抛光盘（2），其中，/n所述抛光盘（2）外侧设置有防护罩（3），所述防护罩（3）内侧设置有隔音棉（4），所述防护罩（3）底部固定有固定柱（5），所述固定柱（5）安装在固定槽（6）内部，所述固定槽（6）设置在抛光台（1）顶部，所述防护罩（3）底部两端固定有卡合栓（7），所述卡合栓（7）安装在卡合槽（8）内部，所述卡合槽（8）设置在抛光台（1）顶部；/n所述卡合槽（8）内侧设置有柱孔（9），所述柱孔（9）内部安装有锁定柱（10），所述锁定柱（10）一端设置在所述卡合栓（7）侧面，所述锁定柱（10）外侧固定有锁定环（11），所述锁定环（11）侧面固定有锁定弹簧（12），所述锁定柱（10）另一端固定有移动块（13），所述移动块（13）设置在移动槽（14）内部，所述移动槽（14）设置在按压柱（15）内部，所述按压柱（15）底部固定有按压弹簧（16），所述按压弹簧（16）设置在按压槽（17）内部，所述按压槽（17）设置在抛光台（1）顶部；/n所述滴液器（18）设置在抛光台（1）顶部的抛光盘（2）侧面，所述抛光盘（2）侧面通过第一电动推杆（19）固定有机头（20），所述机头（20）底部通过连接柱（21）安装有样品盘（22），所述连接柱（21）底部设置有安装槽（23），所述安装槽（23）内部安装有安装柱（24），所述安装柱（24）侧面设置有安装栓（25），所述安装栓（25）安装在栓孔（26）内部，所述栓孔（26）设置在安装槽（23）外侧；/n所述第二电动推杆（27）设置在机头（20）底部的连接柱（21）外侧。/n...

【技术特征摘要】
1.一种具有防护功能的化学机械抛光设备，包括抛光台（1）、卡合槽（8）、滴液器（18）和第二电动推杆（27），其特征在于：所述抛光台（1）顶部设置有抛光盘（2），其中，
所述抛光盘（2）外侧设置有防护罩（3），所述防护罩（3）内侧设置有隔音棉（4），所述防护罩（3）底部固定有固定柱（5），所述固定柱（5）安装在固定槽（6）内部，所述固定槽（6）设置在抛光台（1）顶部，所述防护罩（3）底部两端固定有卡合栓（7），所述卡合栓（7）安装在卡合槽（8）内部，所述卡合槽（8）设置在抛光台（1）顶部；
所述卡合槽（8）内侧设置有柱孔（9），所述柱孔（9）内部安装有锁定柱（10），所述锁定柱（10）一端设置在所述卡合栓（7）侧面，所述锁定柱（10）外侧固定有锁定环（11），所述锁定环（11）侧面固定有锁定弹簧（12），所述锁定柱（10）另一端固定有移动块（13），所述移动块（13）设置在移动槽（14）内部，所述移动槽（14）设置在按压柱（15）内部，所述按压柱（15）底部固定有按压弹簧（16），所述按压弹簧（16）设置在按压槽（17）内部，所述按压槽（17）设置在抛光台（1）顶部；
所述滴液器（18）设置在抛光台（1）顶部的抛光盘（2）侧面，所述抛光盘（2）侧面通过第一电动推杆（19）固定有机头（20），所述机头（20）底部通过连接柱（21）安装有样品盘（22），所述连接柱（21）底部设置有安装槽（23），所述安装槽（23）内部安装有安装柱（24），所述安装柱（24）侧面设置有安装栓（25），所述安装栓（25）安装在栓孔（26）内部，所述栓孔（26）设置在安装槽（23）外侧；
所述第二电动推杆（27）设置在机头（20）底部的连接柱（21）外侧。


2.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备，其特征在于：所述防护罩（3）设置为软塑料材质，且所述防护罩（3）内部的隔音棉（4）设置为聚酯纤维材质。


3.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备，其特征在于：多个所述固定柱（5）等距离固定在防护罩（3）底部，且所述固定柱（5）底部设置为球体结构，而且所述固定槽（6）内部设置为软橡胶材质。


4.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备，其特征在于：所述卡合栓（7）设置有两个，且两个所述卡合栓（7）对称固定在防护罩（3）底部两侧，而且所述防护罩（3）通过所述卡合栓（7）与卡合槽（8）之间构成卡合结构。


5.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备，其特征在于：所述移动块（13）顶部设置为30°斜坡结构，且所述移动块（13）通过移动槽（14）与按压柱（15）之间构成滑动结构。


6.根据权利要求1所述的一种具有防护功能的化学机械抛光设备，其特征在于：所述第一电动推杆（19）安装在机头（20）底部，且所述第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文豪，
申请(专利权)人：深圳市凯合达智能设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44