一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及脆硬性材料研抛技术领域，特别涉及一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置。包括抛头加压外圈板，抛头加压外圈板为内部沿轴向设有贯穿开口的柱状结构；抛头加压内圈板设于抛头加压外圈板开口底部，抛头加压内圈板上设有压板，压板中心设有竖向通孔，通孔内装设有回转接头，回转接头与气管接头相连；气管接头用于连接气缸；外轴固设于抛头加压外圈板上端面中心，内部装设有转接轴，抛头配重块套设于外轴外部。本实用新型专利技术可完全替代传统的研抛工艺，可以通过抛头内外圈的压力调整，使得晶片形貌一致性高，晶片质量更好。避免了传统的压力由气缸直接控制导致压力不稳定对晶片造成的不良影响。

A device for pressurizing the inner and outer rings of the throwing head of the polishing machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置
本技术涉及脆硬性材料研抛
，特别涉及一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置。
技术介绍
传统的脆硬性材料研抛大多数为整个抛头压在脆硬性材料上。通过气缸给脆硬性材料进行加压，这种加压方式压力不稳定，无法给脆硬性材料进行内外圈进行加压，调整压力的平衡。传统的加工方式加工出来的晶片质量不理想，晶片的形貌也不稳定。这样的研抛方式一直给相关企业带来困扰，所以更换脆硬性材料的研抛方式很有必要。目前脆硬性材料研抛行业基本上使用整个抛头压住晶片的研抛方式，无法进行内外圈分别加压，这种研抛方式研抛质量不高，晶片稳定性差，研抛的效果也不尽人意。所以在日趋激烈的竞争中，如何提高晶片的研抛质量、通过内外圈加压方式调整晶片的形貌，一直是各企业的重要目标。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置，包括抛头加压外圈板、抛头加压内圈板、外轴和抛头配重块。抛头加压外圈板为内部沿轴向设有贯穿开口的柱状结构；抛头加压内圈板设于抛头加压外圈板开口底部，抛头加压内圈板上设有压板，压板中心设有竖向通孔，通孔内装设有回转接头，回转接头与气管接头相连；气管接头用于连接气缸；外轴固设于抛头加压外圈板上端面中心，外轴为空心轴，内部装设有转接轴，抛头配重块套设于外轴外部；旋转轴底端通过锁紧螺母与压板相连，旋转轴底部与抛头加压外圈板间设有外部为楔形的旋转轴承座，旋转轴承座内装设有旋转轴承。作为一种改进，抛头加压外圈板与抛头加压内圈板表面设有特氟龙涂层。作为一种改进，压板下端面中心设有一个筒状突出部，突出部底端通过抛头内垫圈压盖与抛头加压内圈板相连；突出部内通过螺钉固设有中心加压活塞杆，突出部内侧壁上设有抛头内垫圈。作为一种改进，旋转轴承底部设有旋转轴承压盖。作为一种改进，抛头配重块外部罩设有外部防水护罩。作为一种改进，抛头加压外圈板上端面设有配重块导向固定杆，用于定位固定抛头配重块。用于研抛机抛头内外圈加压的装置还包括抛头配重块为可拆卸式，可以根据工艺需求调整配重块重量。本技术的工作原理：晶片在加工的过程中，抛头通过气缸驱动向下运动，压住晶片后气缸与整个抛头脱开，抛头外圈通过配重块的形式给晶片一个恒定的压力，抛头内圈通过气压驱动中心加压活塞杆向下运动，中心加压活塞杆与抛头加压内圈板直连，从而导致抛头加压内圈板向下运动，给晶片内圈进行加压，从而分散整个抛头的压力。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术可完全替代传统的研抛工艺，可以通过抛头内外圈的压力调整，使得晶片形貌一致性高，晶片质量更好。避免了传统的压力由气缸直接控制导致压力不稳定对晶片造成的不良影响。附图说明图1为本技术的剖视图。图2为本技术的轴侧图。图中的附图标记为：1-抛头加压外圈板；2-抛头加压内圈板；3-中心加压活塞杆；4-抛头内垫圈；5-抛头内垫圈压盖；6-压板；7-回转接头；8-气管接头；9-旋转轴承座；10-旋转轴承；11-旋转轴承压盖；12-转接轴；13-锁紧螺母；14-外轴；15-抛头配重块；16-配重块导向固定杆；17-外部防水护罩。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：如图1、图2所示的一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置，包括抛头加压外圈板1、抛头加压内圈板2、外轴14和抛头配重块15。抛头加压外圈板1为内部沿轴向设有贯穿开口的柱状结构。抛头加压内圈板2设于抛头加压外圈板1开口底部，抛头加压内圈板2上设有压板6，压板6中心设有竖向通孔，通孔内装设有回转接头7，回转接头7与气管接头8相连。外轴14固设于抛头加压外圈板1上端面中心，外轴为空心轴，14内部装设有转接轴12，抛头配重块15套设于外轴14外部。旋转轴底端通过锁紧螺母13与压板6相连，旋转轴底部与抛头加压外圈板1间设有外部为楔形的旋转轴承座9，旋转轴承座9与抛头加压外圈板1连接，连接部为斜面。可以控制抛头抬升和下降。旋转轴承座9内装设有旋转轴承10。旋转轴承10底部设有旋转轴承压盖11。压板6下端面中心设有一个筒状突出部，突出部底端通过抛头内垫圈压盖5与抛头加压内圈板2相连。突出部内通过螺钉固设有中心加压活塞杆3，突出部内侧壁上设有抛头内垫圈4。抛头加压外圈板1上端面设有配重块导向固定杆16，用于定位固定抛头配重块15。抛头配重块15为可拆卸式，可以根据工艺需求调整配重块重量。抛头加压外圈板1与抛头加压内圈板2表面设有特氟龙涂层。抛头配重块15外部罩设有外部防水护罩17，外部防水护罩17，安装在抛头加压外圈板上1，包住抛头配重块15，防止研抛液进入抛头内部。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本技术公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置，其特征在于，包括抛头加压外圈板、抛头加压内圈板、外轴和抛头配重块；/n所述抛头加压外圈板为内部沿轴向设有贯穿开口的柱状结构；/n所述抛头加压内圈板设于抛头加压外圈板开口底部，抛头加压内圈板上设有压板，压板中心设有竖向通孔，通孔内装设有回转接头，回转接头与气管接头相连；/n所述外轴固设于抛头加压外圈板上端面中心，外轴为空心轴，内部装设有转接轴，抛头配重块套设于外轴外部；旋转轴底端通过锁紧螺母与压板相连，旋转轴底部与抛头加压外圈板间设有外部为楔形的旋转轴承座，旋转轴承座内装设有旋转轴承。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于研抛机抛头内外圈加压的装置，其特征在于，包括抛头加压外圈板、抛头加压内圈板、外轴和抛头配重块；
所述抛头加压外圈板为内部沿轴向设有贯穿开口的柱状结构；
所述抛头加压内圈板设于抛头加压外圈板开口底部，抛头加压内圈板上设有压板，压板中心设有竖向通孔，通孔内装设有回转接头，回转接头与气管接头相连；
所述外轴固设于抛头加压外圈板上端面中心，外轴为空心轴，内部装设有转接轴，抛头配重块套设于外轴外部；旋转轴底端通过锁紧螺母与压板相连，旋转轴底部与抛头加压外圈板间设有外部为楔形的旋转轴承座，旋转轴承座内装设有旋转轴承。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述抛头...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，郑丽霞，赵志鹏，周锋，刘文涛，王宁银，陈志聪，谢永旭，曹建伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33