一种精密双面研磨机的外齿抬升装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连。丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上。链轮组件设于支撑地板上，并与丝杆底端相连，抬升板与螺母相连，齿圈套设于抬升板上。齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。本实用新型专利技术可以实现先将齿圈下降，然后方便的将游星片取出或安装。提高了效率，同时节省人力。

A lifting device for outer teeth of precision double faced grinder

【技术实现步骤摘要】
一种精密双面研磨机的外齿抬升装置
本技术关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。
技术介绍
硅片是制作晶体管和集成电路的原料。硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。在加工硅片的机器中，精密研磨机作为研磨硅片的机器之一，必不可少。研磨机原理为被磨材料放于研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，游星片带动工件自转，重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨目的。而游星片就被放置在齿圈与太阳轮之间，所以齿圈的抬升动作是必不可少的。以往的研磨机设备不具有这一外齿抬升装置，所以没办法对齿圈进行位置的调整，在游星片的安装和取下的时候非常的不方便，对于修正轮的安装和取下也是不方便。所以开发一种能有效调整外齿的装置，方便游星片与修正轮换取的结构非常有必要。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。为解决上述技术问题，本技术采用的解决方案是：提供一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，包括减速电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，其特征在于，包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板；/n所述减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连；/n所述丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上；链轮组件设于支撑底板上，并与丝杆底端相连，抬升板与所述螺母相连，齿圈套设于抬升板上；齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。/n

【技术特征摘要】
1.一种精密双面研磨机的外齿抬升装置，其特征在于，包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板；
所述减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连；
所述丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母套设于丝杆上；链轮组件设于支撑底板上，并与丝杆底端相连，抬升板与所述螺母相连，齿圈套设于抬升板上；齿圈通过齿圈支架固设于齿圈套内。


2.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱亮，卢嘉彬，严浩，杨依凡，周锋，刘文涛，曹建伟，傅林坚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33