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本实用新型关于硅片精密研磨领域，特别涉及一种精密研磨机的外齿圈抬升装置。包括减速电机、链轮组件、丝杆螺母组件和抬升板。减速电机固设于支撑底板上，减速电机输出轴与链轮组件相连。丝杆螺母组件有多组，均包括丝杆与螺母，丝杆垂直设于支撑底板上，螺母...
该专利属于浙江晶盛机电股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛机电股份有限公司授权不得商用。

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