防脱落装置及晶圆清洗设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供防脱落装置及晶圆清洗设备，涉及清洗设备的技术领域，所述防脱落装置包括驱动机构和限位机构；所述限位机构用于安装在所述承载机构的上方，所述驱动机构用于驱动限位机构靠近或远离所述承载机构移动，以使限位机构靠近所述承载机构时，能够在待处理物的上方限制待处理物从承载机构上脱离，并使限位机构在远离所述承载机构时，能够取放待处理物。本发明专利技术提供的防脱落装置确保了晶圆在清洗之前，对晶圆进行清洗浸泡，避免了晶圆尺寸小且重量比较轻，在晶圆即将进入化学药液时，就会由于晶圆自身受到的浮力及化学液表面的张力而脱离晶圆承载盘，甚至还会出现晶圆掉出承载盘的情况，从而造成了晶圆的损坏。

Anti-dropping device and wafer cleaning equipment

【技术实现步骤摘要】
防脱落装置及晶圆清洗设备
本专利技术涉及清洗设备的
，尤其是涉及一种防脱落装置及晶圆清洗设备。
技术介绍
在半导体晶圆制造工艺中，为了提高生产效率，节约人工成本，通常采用全自动清洗设备对晶圆进行清洗。在晶圆全程清洗的过程中，由于晶圆尺寸小且易损伤通常采用定制的承载盘进行装载传输及清洗。现有技术中，晶圆在进行清洗之前，通常采用槽式设备对晶圆进行清洗浸泡，由于晶圆尺寸小且重量比较轻，在晶圆即将进入化学药液时，就会由于晶圆自身受到的浮力及化学液表面的张力而脱离晶圆承载盘，甚至还会出现晶圆掉出承载盘的情况，从而造成了晶圆的损坏，而晶圆的成本比较高，这样就会造成很大的损失。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供防脱落装置及晶圆清洗设备，以解决晶圆在浸泡的过程，由于晶圆尺寸小且重量比较轻，易脱离晶圆承载盘的技术问题。本专利技术提供的一种防脱落装置，用于与待处理物需要通过承载机构进行底部承托固定，且待处理物需要没入到液体内的装置配合使用，所述防脱落装置包括驱动机构和限位机构；所述限位机构用于安装在所述承载机构的上方，所述驱动机构用于驱动限位机构靠近或远离所述承载机构移动，以使限位机构靠近所述承载机构时，能够在待处理物的上方限制待处理物从承载机构上脱离，并使限位机构在远离所述承载机构时，能够取放待处理物。进一步地，所述限位机构为盘刷，所述固定盘包括固定盘和设置在所述固定盘下方用于限制待处理物的下凸起；所述固定盘上设置有用于液体流通的通孔。进一步地，所述驱动机构通过移动架与所述盘刷连接；所述移动架包括驱动横杆以及相对设置的两侧板，所述两所述侧板分别固定连接在所述驱动横杆的两端，所述盘刷固定在两所述侧板之间；所述驱动机构与所述驱动横杆连接，并通过所述驱动横杆带动所述移动架和盘刷上下移动。进一步地，两个所述侧板的相对的一侧分别设置有盘刷安装板，所述盘刷固定在所述侧板的盘刷安装板上。进一步地，所述盘刷安装板通过两根连接板安装在所述侧板上，两根所述连接板分别连接在所述盘刷安装板的两端，且两根连接板之间形成容置空间。进一步地，所述盘刷的数量为多个，多个所述盘刷依次上下间隔固定在两所述侧板之间。进一步地，所述驱动机构为气缸。本专利技术还提供一种晶圆清洗设备，包括晶圆清洗设备以及上述所述的防脱落装置；所述晶圆清洗设备包括承载机构，所述承载机构包括用于承载晶圆的承载盘，所述限位机构设置在所述承载盘的上方。进一步地，所述承载机构包括载盘固定架和设置在载盘固定架上的上支架。所述上支架包括上支撑板、下支撑板和设置在上支撑板和下支撑板之间的第一支柱；所述驱动横杆位于所述上支撑板和所述下支撑板之间，所述上支撑板上设置有所述驱动机构，且所述驱动机构的所述驱动杆穿过所述上支撑板与所述驱动横杆连接；所述下支撑板设置在所述载盘固定架上；所述载盘固定架包括上限位架、下限位架和两个设置在所述上限位架和所述下限位架之间的侧支架；且所述侧支架设位于所述容置空间；两个所述侧支架上相对设置有用于安装承载盘的安装槽，且所述盘刷下方均对应设置有一个承载盘。进一步地，还包括限位柱，所述限位柱设置在上限位架和所述下限位架之间，用于防止承载盘过度插入安装槽中；所述侧支架上设置有侧安装板，在所述侧安装板上设置有上固定座和下固定座；所述上固定座和所述下固定座之间设置有两个导向柱；在所述导向柱上设置有两个个能够沿着导向柱上下移动的滑块，且两个所述滑块同时设置在两个所述导向柱上并与侧板连接；两个所述滑块中一个滑块用于限制所述侧板向上运动的范围，另一个用于限制所述侧板向下运动的范围。本专利技术提供的防脱落装置通过驱动机构使限位机构上下移动，当使限位机构向下移动的时候，限位机构能够作用在待处理物上，例如待处理物为晶圆，确保晶圆在清洗浸泡的时候，晶圆不会脱离晶圆承载盘，当需要将晶圆承载盘移动的时候，通过驱动机构使限位机构向上移动，限位机构离开承载盘，此时能够移动承载盘。防脱落装置确保了晶圆在清洗之前，对晶圆进行清洗浸泡，避免了晶圆尺寸小且重量比较轻，在晶圆即将进入化学药液时，会由于晶圆自身受到的浮力及化学液表面的张力而脱离晶圆承载盘，甚至还会出现晶圆掉出承载盘，从而造成了晶圆的损坏的问题，相应的降低了晶圆的损坏率，降低了晶圆的生产成本。附图说明为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术实施例提供的防脱落装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的晶圆清洗设备的结构示意图；图3为图2所示晶圆清洗设备的另一角度的结构示意图；图4为本专利技术实施例提供的晶圆清洗设备的清洗架的结构示意图；图5为图4所示清洗架的局部放大图。图标：100-固定板；200-驱动机构；300-清洗支架；400-移动架；500-驱动杆；600-驱动横杆；700-侧板；800-连接板；900-盘刷安装板；110-盘刷；120-上支撑板；130-下支撑板；140-第一支柱；150-上限位架；160-侧支架；170-侧安装板；180-下限位架；190-导向柱；210-滑块；220-上固定座；230-下固定座；240-限位柱；250-承载盘；260-安装槽。具体实施方式下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。如图1所示，本专利技术提供的一种防脱落装置，用于与待处理物需要通过承载机构进行底部承托固定，且待处理物需要没入到液体内的装置配合使用，所述防脱落装置包括驱动机构200和限位机构；所述限位机构用于安装在所述承载机构的上方，所述驱动机构200用于驱动限位机构靠近或远离所述承载机构移动，以使限位机构靠近所述承载机构时，能够在待处理物的上方限制待处理物从承载机构上脱离，并使限位机构在远离所述承载机构时，能够取放待处理物。在一些实施例中，该驱动机构200可以为驱动气缸，驱动气缸的驱动杆500使限位机构上下移动，限位机构的上下移动，从而实现对待处理物的限位，待处理物可以为晶圆。通过限位机构对晶圆的限位，能够避免在对晶圆进行清洗浸泡过程中，由于晶圆尺寸小且重量比较轻，在晶圆即将进入化学药液时，就会由于晶圆自身受到的浮力及化学液表面的张力而脱离晶圆承载盘250，甚至还会出现晶圆掉出承载盘250的情况。基于上述实施例基础之上，进一步地，所述限位机构为盘刷110，所述盘刷110包括固定盘和设置在所述固定盘下方用于限制待处理物的下凸起；所述固定盘上设置有用于液体流通的通孔。在一些实施例中，限位机构为盘刷110，盘刷110的固定盘上设置有多个通孔，当盘刷110进入到液体内的时候，固定盘上的通孔使液体能够方便液体的流动，减少液体对晶圆的冲击。在固定盘下端设置的下凸起为毛刷，该毛刷一般为尼龙的材质或者其他不会划伤晶圆的材质；盘刷110不会晶圆表面直接接触，盘刷110的毛刷与晶圆表面有微小的间隙，实现盘刷110对晶圆竖直方向上的限位，从而能够避免本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种防脱落装置，用于与待处理物需要通过承载机构进行底部承托固定，且待处理物需要没入到液体内的装置配合使用，其特征在于，所述防脱落装置包括驱动机构和限位机构；所述限位机构用于安装在所述承载机构的上方，所述驱动机构用于驱动限位机构靠近或远离所述承载机构移动，以使限位机构靠近所述承载机构时，能够在待处理物的上方限制待处理物从承载机构上脱离，并使限位机构在远离所述承载机构时，能够取放待处理物。

【技术特征摘要】
1.一种防脱落装置，用于与待处理物需要通过承载机构进行底部承托固定，且待处理物需要没入到液体内的装置配合使用，其特征在于，所述防脱落装置包括驱动机构和限位机构；所述限位机构用于安装在所述承载机构的上方，所述驱动机构用于驱动限位机构靠近或远离所述承载机构移动，以使限位机构靠近所述承载机构时，能够在待处理物的上方限制待处理物从承载机构上脱离，并使限位机构在远离所述承载机构时，能够取放待处理物。2.根据权利要求1所述的防脱落装置，其特征在于，所述限位机构为盘刷，所述盘刷包括固定盘和设置在所述固定盘下方用于限制待处理物的下凸起；所述固定盘上设置有用于液体流通的通孔。3.根据权利要求2所述的防脱落装置，其特征在于，所述驱动机构通过移动架与所述盘刷连接；所述移动架包括驱动横杆以及相对设置的两侧板，两所述侧板分别固定连接在所述驱动横杆的两端，所述盘刷固定在两所述侧板之间；所述驱动机构与所述驱动横杆连接，并通过所述驱动横杆带动所述移动架和盘刷上下移动。4.根据权利要求3所述的防脱落装置，其特征在于，两个所述侧板的相对的一侧分别设置有盘刷安装板，所述盘刷固定在所述侧板的盘刷安装板上。5.根据权利要求4所述的防脱落装置，其特征在于，所述盘刷安装板通过两根连接板安装在所述侧板上，两根所述连接板分别连接在所述盘刷安装板的两端，且两根连接板之间形成容置空间。6.根据权利要求3-5任一项所述的防脱落装置，其特征在于，所述盘刷的数量为多个，多个所述盘刷依次上下间隔固定在两所述侧板之间。...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭立刚，祝福生，王文丽，秦亚奇，周福江，
申请(专利权)人：北京半导体专用设备研究所中国电子科技集团公司第四十五研究所，
类型：发明
国别省市：北京,11