掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术的实施例提供一种掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法，涉及蒸镀技术领域，可实现显示面板在显示区开孔的设计。一种掩模板，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。

【技术实现步骤摘要】
掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法
本专利技术涉及蒸镀
，尤其涉及一种掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法。
技术介绍
有机发光二极管(OrganticLightEmittingDiode，简称OLED)显示装置由于具有构造简单、高响应、高对比度、易形成柔性和视角宽等优点，因而被广泛关注。
技术实现思路
本专利技术的实施例提供一种掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法，可实现显示面板在显示区开孔的设计。为达到上述目的，本专利技术的实施例采用如下技术方案：一方面，提供一种掩模板，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。可选的，所述遮挡部位于所述开口区内；所述多个支撑杆中与所述遮挡部连接的支撑杆由所述遮挡部延伸出，位于所述掩模板本体的一侧；与所述掩模板本体连接的支撑杆和与所述遮挡部连接的支撑杆位于所述掩模板本体的同一侧。进一步可选的，所述支撑架包括至少三个支撑子部；每个所述支撑子部均包括三个支撑杆，且该三个支撑杆依次首尾连接成U型形状。进一步可选的，所述支撑子部为四个；四个所述支撑子部中，其中两个所述支撑子部位于第一平面内，另外两个所述支撑子部位于第二平面内，且所述第一平面和所述第二平面垂直。可选的，所述遮挡部位于所述开口区的一侧；所述支撑架包括至少三个支撑子部，每个所述支撑子部均包括两个支撑杆，且该两个支撑杆依次首尾连接成L型形状。进一步可选的，所述支撑子部为四个；四个所述支撑子部中，其中两个所述支撑子部位于第一平面内，另外两个所述支撑子部位于第二平面内，且所述第一平面和所述第二平面垂直。可选的，所述遮挡部位于所述开口区的一侧；与掩模板本体连接的支撑杆，其另一端与所述遮挡部连接。支撑杆呈直线型。可选的，所述遮挡部包括遮挡部本体以及贯穿所述遮挡部本体的通孔，所述通孔位于所述遮挡部本体的中间位置；或者；所述遮挡部包括遮挡部本体，所述遮挡部本体中无贯穿所述遮挡部本体的通孔。再一方面，提供一种蒸镀装置，包括上述的掩模板。可选的，所述蒸镀装置还包括蒸镀源；所述蒸镀源为线蒸镀源或点蒸镀源。另一方面，提供一种基板的制备方法，包括：利用上述的蒸镀装置，在衬底的显示区蒸镀上蒸镀材料，形成蒸镀材料层；其中，所述蒸镀装置中掩模板的一个开口区对应一个所述基板的显示区。本专利技术提供一种掩模板及蒸镀装置、基板的制备方法，对于该掩模板，通过支撑架使遮挡部与掩模板本体固定连接，可解决遮挡部与掩模板本体的固定问题，从而可实现显示面板在显示区开孔的设计。其中，遮挡部的设置，可在采用该掩模板进行蒸镀材料蒸镀时，避免在基板的玻璃胶覆盖区域蒸镀上蒸镀材料。将支撑架设置为由多个支撑杆连接构成，且使多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由掩模板本体延伸出，而位于掩模板本体的一侧，可使构成支撑架的支撑杆与掩模板本体的开口区不在同一平面内。从而利用蒸镀材料分子透过阻碍物路径会发生衍射的特性，使蒸镀材料蒸镀在基板的被支撑杆覆盖的区域，提高蒸镀均一性。附图说明为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本专利技术的实施例提供的一种在显示面板的显示区进行打孔后的结构示意图；图2a为本专利技术的实施例提供的在待形成的孔周围的封装区形成玻璃胶的结构示意图；图2b为图2a中AA′向剖视示意图；图2c为在图2b基础上进行激光烧结的示意图；图2d为在图2c基础上激光烧结后的示意图；图3为本专利技术的实施例提供的一种掩模板的结构示意图；图4为本专利技术的实施例提供的再一种掩模板的结构示意图；图5为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图6为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图7为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图8为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图9为支撑杆与遮挡部位于同一个平面的掩模板的结构示意图；图10为显示面板出现局部亮线的结构示意图；图11为衍射原理示意图；图12为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图13为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图14为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图15为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图16为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图17为本专利技术的实施例提供的又一种掩模板的结构示意图；图18为本专利技术的实施例提供的一种蒸镀装置的结构示意图；图19为本专利技术的实施例提供的再一种蒸镀装置的结构示意图。附图说明：01-孔；02-玻璃胶；03-有机材料层；10-掩模板本体；20-开口区；30-遮挡部；31-遮挡部本体；32-通孔；40-支撑架；41-支撑杆；411-第一支撑杆；412-第二支撑杆；413-第三支撑杆；414-第四支撑杆；415-第五支撑杆；42-支撑子部；51-线蒸镀源；52-点蒸镀源。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。为设计出真正意义的全面屏产品，可通过在显示面板的显示区进行打孔，从而将听筒、摄像头等集成于该产品中。此外，根据客户的不同需求，也会在显示面板的显示区进行打孔。例如，设置一种手表，其包括显示面板，且在显示面板上还设置有机械指针。为放置机械指针，需要在显示面板的中心位置进行打孔。以OLED显示面板为例，在OLED显示面板的显示区进行打孔，如图1所示，首先需在待形成的孔01的周围进行封装(例如形成玻璃胶02)，以防止形成孔01后，水氧通过孔而进入OLED显示面板内。在此基础上，待封装后，将封装区以内的部分全部挖空，从而形成孔01。其中，在待形成的孔01的周围进行封装时，如图2a和图2b所示，先在封装区形成玻璃胶(Frit)02，之后，如图2c所示，通过激光(Laser)烧结玻璃胶02，从而连接阵列基板和封装基板，实现隔绝水氧的功能。然而，当激光烧结玻璃胶02时，如图2d所示，高温会导致阵列基板上玻璃胶重叠区域的有机材料层03中的有机物分解成水和氧。分解的水和氧会对显示区域像素的寿命和亮度造成影响。此外，有机物受热分解也会造成玻璃胶02无法达到粘结比例，影响阵列基板和封装基板的连接，从而影响OLED显示面板的封装性能。基于上述激光烧结过程中产生的问题，即使通过调节激光能量(LaserPower)也无法得到改善。而由上述分析可知，导致有机物分解的根本原因在于，基板上玻璃胶02重叠区域蒸镀材料的存在，若在玻璃胶02重叠区域将蒸镀材料去除，则可避免上述问题。其中，通过对掩模板本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种掩模板，其特征在于，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。

【技术特征摘要】
1.一种掩模板，其特征在于，包括掩模板本体，所述掩模板本体包括至少一个开口区；所述掩模板还包括至少一个遮挡部；每个所述开口区对应至少一个所述遮挡部，且沿垂直所述开口区所处的平面的方向，所述遮挡部的投影被所述开口区的投影完全覆盖；所述遮挡部通过支撑架与所述掩模板本体固定连接；所述支撑架由多个支撑杆连接构成；所述多个支撑杆中与掩模板本体连接的支撑杆由所述掩模板本体延伸出，位于所述掩模板本体的一侧。2.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述遮挡部位于所述开口区内；所述多个支撑杆中与所述遮挡部连接的支撑杆由所述遮挡部延伸出，位于所述掩模板本体的一侧；与所述掩模板本体连接的支撑杆和与所述遮挡部连接的支撑杆位于所述掩模板本体的同一侧。3.根据权利要求2所述的掩模板，其特征在于，所述支撑架包括至少三个支撑子部；每个所述支撑子部均包括三个支撑杆，且该三个支撑杆依次首尾连接成U型形状。4.根据权利要求1所述的掩模板，其特征在于，所述遮挡部位于所述开口区的一侧；所述支撑架包括至少三个支撑子部；每个所述支撑子部均包括两个支撑杆，且该两个支...

【专利技术属性】
技术研发人员：李旭伟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京,11