The invention relates to the technical field of micro-nano fabrication, in particular to a synchronous wet etching method for differentiated microstructures, which comprises the following steps: step a: photolithographic development of the processing surface of the workpiece; step b: pasting a mask on the back of the workpiece to be processed; step c: continuous cooling of the mask plate Step d: Put the workpiece to be processed into the wet etching device, and add the etching fluid to start the etching. Step e: Take out the workpiece to be processed, separate the mask plate from the workpiece to be processed, and finally obtain the workpiece with the target etching structure. The temperature difference between the region to be machined and the region to be retained is formed by the above-mentioned processing method, and the region to be machined has a higher temperature, so the etching speed is faster; while the region to be retained has a lower temperature, so the etching speed is slower, so the micro-hole with a higher depth-width ratio can be machined. Or grooves.
【技术实现步骤摘要】
一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法
本专利技术涉及微纳制造
,特别是一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法。
技术介绍
湿法刻蚀是微纳加工领域常用的一种加工手段。湿法刻蚀的方法采用化学试剂,使需要加工的材料腐蚀溶解,达到去除材料的目的。湿法刻蚀的速度与反应的类型有关,同时也极易受到反应温度的影响。由于采用化学试剂腐蚀溶解材料的原理,意味着只要找到能够腐蚀溶解中待加工材料的试剂,就可以使用湿法刻蚀的方法对其进行加工。因此,该方法微纳结构的加工、印制电路板的制作、显现器件的制作、集成电路的制成等领域得到了广泛的应用。但是,湿法刻蚀存在一定的限制。例如,使用经典的TMAH溶液或者KOH溶液刻蚀单晶硅时,刻蚀方向<100>方向,将于工件表面呈54.7°,难以得到光滑垂直的孔或槽,也更加不能在同一个工件上加工出不同尺寸的微孔和槽。因此,亟需提出一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法,扩大湿法刻蚀加工的适用范围。
技术实现思路
针对上述缺陷,本专利技术的目的在于提出一种通过掩膜版选择性控制加工工件、待加工工件不同区域温度,在湿法刻蚀工艺中实现湿法刻蚀加工不同尺寸的微孔和槽的方法。为达此目的,本专利技术采用以下技术方案:一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法,其包括如下步骤:步骤a:对待加工工件的加工面进行光刻加工,使其显影后,所述待加工工件的加工面需要加工的图形区域材料露出,不需要加工的图形区域表面覆盖光刻胶层;步骤b:在待加工工件的背面,即与所述加工面相对的一侧的表面,粘贴掩膜板,所述掩膜板上的加工目标图形与所述加工面上需要加工的图 ...
【技术保护点】
1.一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤a:对待加工工件的加工面进行光刻加工,使其显影后,所述待加工工件的加工面需要加工的图形区域材料露出,不需要加工的图形区域表面覆盖光刻胶层;步骤b:在待加工工件的背面,即与所述加工面相对的一侧的表面,粘贴掩膜板,所述掩膜板上的加工目标图形与所述加工面上需要加工的图形区域形状相同且对齐;步骤c:对所述加工工件背面粘贴的掩膜板进行持续冷却降温;步骤d:将持续降温冷却的掩膜板和待加工工件放入湿法刻蚀装置中,并在待加工工件的加工面加入刻蚀液,开始进行刻蚀;步骤e:设置刻蚀时间,经过设定时间后取出掩膜板和待加工工件,中止刻蚀反应,并将所述掩膜板和所述待加工工件分离,最终获得具有目标刻蚀结构工件。
【技术特征摘要】
1.一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法,其特征在于,包括如下步骤:步骤a:对待加工工件的加工面进行光刻加工,使其显影后,所述待加工工件的加工面需要加工的图形区域材料露出,不需要加工的图形区域表面覆盖光刻胶层;步骤b:在待加工工件的背面,即与所述加工面相对的一侧的表面,粘贴掩膜板,所述掩膜板上的加工目标图形与所述加工面上需要加工的图形区域形状相同且对齐;步骤c:对所述加工工件背面粘贴的掩膜板进行持续冷却降温;步骤d:将持续降温冷却的掩膜板和待加工工件放入湿法刻蚀装置中,并在待加工工件的加工面加入刻蚀液,开始进行刻蚀;步骤e:设置刻蚀时间,经过设定时间后取出掩膜板和待加工工件,中止刻蚀反应,并将所述掩膜板和所述待加工工件分离,最终获得具有目标刻蚀结构工件。2.根据权利要求1所述的一种差异化微结构的同步湿法刻蚀加工方法,其特征在于,所述步骤a中所述待加工工件为晶圆,由硅制成。3.根据权利要求1所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈新,陈云,施达创,陈桪,刘强,高健,崔成强,
申请(专利权)人:广东工业大学,
类型:发明
国别省市:广东,44
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