The utility model provides a wafer lifting device, which comprises a plurality of lifting rods arranged in the reaction chamber of the wafer for carrying and lifting the wafer, a plurality of weight sensors corresponding to the lifting rods for detecting the wafers on the lifting rod for each lifting rod. The weight produced by the rod. The utility model can load and lift the wafer through the wafer lifting device, and can confirm whether there is a wafer above the lifting rod, so as to solve the problem of breaking the lifting rod, breaking the electrostatic suction disc, causing the pollution of the whole reaction chamber and the machine caused by breaking the wafer when the fragment occurs in the reaction chamber. The problem of the down machine reduces the production cost and improves the work efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆升降装置
本技术属于半导体加工设备领域,涉及一种晶圆升降装置。
技术介绍
半导体刻蚀包括干法刻蚀和湿法刻蚀两种方法。其中,干法刻蚀是把晶圆周围的气体激发成为等离子体,等离子体在偏压引导下轰击晶圆表面,与晶圆发生物理化学反应,从而在晶圆表面刻蚀出所需形貌。当晶圆在反应腔室内完成刻蚀,经过等离子放电后,反应腔室内的升降杆会顶起晶圆。当升降杆的感应器感应到升降杆升起时,位于传送腔体内的真空传送手臂就会抓取晶圆进行下一步骤的工艺。但目前,由于反应腔室内的所述升降杆的感应器只能感应升降杆的升起与下降,不具备检测升降杆上表面有没有晶圆的功能,因而,当晶圆在反应腔室内发生破片时,反应腔室内的升降杆依然会正常升起,当升降杆的感应器感应到升降杆升起时,位于传送腔体内的真空传送手臂还会继续去取片,有可能会引起:撞断升降杆、静电吸盘破损、撞碎晶圆造成整个反应腔室的污染以及机器down机的现象,造成生产成本增加及工作效率降低。基于以上所述,提供一种即可以用于承载及升降晶圆又可以确认升降杆上方是否具有晶圆的晶圆升降装置,以解决目前由于反应腔室内发生破片时,由真空传送手臂所引起的撞断升降杆、静电吸盘破损、撞碎晶圆,造成整个反应腔室的污染以及机器down机的问题实属必要。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点,本技术的目的在于提供一种晶圆升降装置,用于解决现有技术中由于反应腔室内发生破片时,由真空传送手臂所引起的撞断升降杆、静电吸盘破损、撞碎晶圆,造成整个反应腔室的污染以及机器down机的问题。为实现上述目的及其他相关目的,本技术提供一种晶圆升降装置,包括:若干个升降杆,设置于所述 ...
【技术保护点】
1.一种晶圆升降装置,其特征在于,所述晶圆升降装置包括:若干个升降杆,设置于所述晶圆的反应腔室内,用于承载及升降所述晶圆;若干个重量感应器,与各所述升降杆相对应设置,分别用于检测位于所述升降杆上的所述晶圆对各所述升降杆所产生的重量。
【技术特征摘要】
1.一种晶圆升降装置,其特征在于,所述晶圆升降装置包括:若干个升降杆,设置于所述晶圆的反应腔室内,用于承载及升降所述晶圆;若干个重量感应器,与各所述升降杆相对应设置,分别用于检测位于所述升降杆上的所述晶圆对各所述升降杆所产生的重量。2.根据权利要求1所述的晶圆升降装置,其特征在于:所述升降杆的个数范围介于2~10。3.根据权利要求1所述的晶圆升降装置,其特征在于:所述若干个升降杆的顶端处于同一水平面上。4.根据权利要求1所述的晶圆升降装置,其特征在于:所述若干个升降杆的顶端围成一正三角形,且所述正三角形的中心与所述晶圆的中心重合。5.根据权利要求1所述的晶圆升降装置,其特征在于:所述晶圆升降装置还包括升降感应器,所述升降感应器用于测试所述升降杆的高度位置。6.根据权利要求5所述的晶圆升降装置,其特征在于:所述晶圆升降装置还包括显示器,所述显示器与所述重量...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛荣华,阚保国,刘家桦,叶日铨,
申请(专利权)人:德淮半导体有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。