The utility model discloses an eutectic machine, which comprises a machine table and a whole machine control system. The machine table is equipped with a charging and unloading system, an eutectic table, a double-wafer table, a chip pickup control system and a chip calibration system. The charging and unloading system comprises a tube seat tray, a suction nozzle, a cylinder, a sliding rail, a linear precision XY sliding table and a linear precision XY sliding table. The eutectic table comprises a conveying device, a finger suction nozzle, a eutectic seat, a pipe holder claw, a claw cylinder and a heating rod for conveying the pipe holder from the loading and unloading system to the eutectic table. The double-crystal table comprises a heat sink tray fixing ring, a chip tray fixing ring, an ejector system assembly and a linear precision XY module. The ejector system assembly comprises a jack. The chip pickup control system includes heat sink suction nozzle, chip suction nozzle, motion module and camera. The utility model cooperates with multi-axis motion control, visual positioning and other technologies, has high degree of automation, high yield of products, and fast batch production capacity.
【技术实现步骤摘要】
一种共晶机
本技术涉及共晶领域,具体涉及一种共晶机。
技术介绍
目前,光电通讯领域的TO(晶体管外形)型激光器件的全自动共晶贴片设备,均生产效率低,自动化程度不高,产品良率低。特别是管座共晶,其芯片所贴位置偏差大,热沉熔化不充分,共晶操作烦琐,需要大量人工劳动力,且生产效率低,不能快速批量生产。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是提供一种共晶机,配合多轴运动控制、视觉定位等技术,自动化程度高,产品良率高,且具有快速批量生产能力。本技术解决技术问题所采用的技术方案是:一种共晶机,包括机台和整机控制系统,所述机台上设有上下料系统、共晶台、双晶圆台、芯片拾取控制系统和芯片校准系统,所述上下料系统包括管座托盘、吸嘴、气缸、滑轨、线性精密XY滑台和控制线性精密XY滑台的电机,所述吸嘴通过气缸和滑轨实现上下运动,所述吸嘴上方设有光电感应件和光电开关;所述共晶台包括将管座从上下料系统输送至共晶台的输送装置、手指吸嘴、共晶座、管座夹爪、夹爪气缸和加热棒,所述加热棒处设有热敏传感器;所述双晶圆台包括热沉托盘固定环、芯片托盘固定环、顶针系统组件和线性精密XY模组,所述顶针系统组件包括顶针、顶针帽和顶针调节系统,所述顶针帽下设有抽真空管;所述芯片拾取控制系统包括热沉吸嘴、芯片吸嘴、运动组件和摄像头;所述芯片校准系统包括芯片校准台、下摄像头和芯片校准控制系统,所述芯片校准台上设有可吸住芯片的小孔,所述小孔与真空吸管连通。作为进一步的改进,所述共晶座前侧设有压缩弹簧,后侧设有氮气小孔和空气小孔。作为一种优选,所述输送装置包括气动滑台、水平气缸、转轴、连杆和调节螺丝。作为一种优选, ...
【技术保护点】
1.一种共晶机,包括机台和整机控制系统,其特征在于:所述机台上设有上下料系统(1)、共晶台(2)、双晶圆台(3)、芯片拾取控制系统(4)和芯片校准系统(5),所述上下料系统(1)包括管座托盘(6)、吸嘴(7)、气缸(8)、滑轨(9)、线性精密XY滑台(10)和控制线性精密XY滑台(10)的电机,所述吸嘴(7)通过气缸(8)和滑轨(9)实现上下运动,所述吸嘴(7)上方设有光电感应件(11)和光电开关(12);所述共晶台(2)包括将管座从上下料系统输送至共晶台的输送装置、手指吸嘴(13)、共晶座(14)、管座夹爪(15)、夹爪气缸(16)和加热棒(17),所述加热棒(17)处设有热敏传感器(21);所述双晶圆台包括热沉托盘固定环(27)、芯片托盘固定环(28)、顶针系统组件(29)和线性精密XY模组(30),所述顶针系统组件(29)包括顶针(31)、顶针帽(32)和顶针调节系统,所述顶针帽(32)下设有抽真空管(33);所述芯片拾取控制系统包括热沉吸嘴(36)、芯片吸嘴(37)、运动组件(38)和摄像头(39);所述芯片校准系统包括芯片校准台(40)、下摄像头(41)和芯片校准控制系统,所 ...
【技术特征摘要】
1.一种共晶机,包括机台和整机控制系统,其特征在于:所述机台上设有上下料系统(1)、共晶台(2)、双晶圆台(3)、芯片拾取控制系统(4)和芯片校准系统(5),所述上下料系统(1)包括管座托盘(6)、吸嘴(7)、气缸(8)、滑轨(9)、线性精密XY滑台(10)和控制线性精密XY滑台(10)的电机,所述吸嘴(7)通过气缸(8)和滑轨(9)实现上下运动,所述吸嘴(7)上方设有光电感应件(11)和光电开关(12);所述共晶台(2)包括将管座从上下料系统输送至共晶台的输送装置、手指吸嘴(13)、共晶座(14)、管座夹爪(15)、夹爪气缸(16)和加热棒(17),所述加热棒(17)处设有热敏传感器(21);所述双晶圆台包括热沉托盘固定环(27)、芯片托盘固定环(28)、顶针系统组件(29)和线性精密XY模组(30),所述顶针系统组件(29)包括顶针(31)、顶针帽(32)和顶针调节系统,所述顶针帽(32)下设有抽真空管(33);所述芯片拾取控制系统包括热沉吸嘴(36)、芯片吸嘴(37)、运动组件(38)和摄像头(39);所述芯片校准系统包括芯片校...
【专利技术属性】
技术研发人员:钟锐,徐欢,卡塔琳娜·费舍尔,
申请(专利权)人:浙江辛帝亚自动化科技有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。