The invention relates to a shoulder method in the process of drawing gallium arsenide single crystal in a horizontal method, including: loading a quartz tube with GaAs polycrystalline material into a horizontal single crystal furnace heating body and inoculating the seed crystal. When the crystal is grown from the high temperature area to the first fixed distance from the interface zone, the temperature of the interface zone is reduced at the cooling rate of 0.5 and 3 C /h, and the temperature of the interface zone is reduced. A specific rate moving horizontal single crystal furnace heating body; when the crystal growth interface is second fixed distance from the interface zone, the moving horizontal single crystal furnace heating body is stopped; the temperature of the interface area continues to be cooled at the cooling rate of 1 /h at 8 C, and the crystal growth interface is adjusted to the first fixed distance in the distance interface area; the above steps are repeated. Until the length of the crystal growth is reached to the standard length. The present invention can effectively reduce the probability of twinning, pinch and crystal, increase the success rate of the single crystal growth, thus greatly improve the yield and production efficiency of the single crystal growth.
【技术实现步骤摘要】
水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法
本专利技术涉及一种水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法。
技术介绍
砷化镓是一种重要的半导体材料。属Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体。用砷化镓制成的半导体器件具有高频、高温、低温性能好、噪声小、抗辐射能力强等优点。主流的工业化砷化镓生长工艺包括:直拉法(Cz法)、水平布里其曼法(HB)、垂直布里其曼法(VB法)以及垂直梯度凝固法(VGF法)等。水平布里其曼法(简称水平法)生长砷化稼单晶拉制过程放肩时如果条件不合适,如生长区温度降的过快导致出现剧烈波动或温度降的过慢结晶潜热不能充分释放、加热体移动速度过快或过慢导致晶体生长界面相对于加热体相对位置变动巨大等情况产生,导致晶体生长长出孪晶、夹晶和花晶等问题产生,需要倒车重新放肩,造成大量的时间、人力和物力浪费,甚至导致本炉次晶体生长失败,给生产带来巨大损失。
技术实现思路
本专利技术的目的是为解决以上问题的至少一个,本专利技术提供水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法。水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法,该放肩方法在水平单晶炉加热体中实现,水平单晶炉加热体包括沿水平方向设置的十二个加热区段,十二个加热区段依次编号为Ι~XII,其中Ι~VI区为各区温度依次升高的高温区,VII区为界面区,VIII~XII区为温度各区温度依次降低的低温区,放肩方法包括以下步骤:S1:将封装好砷化镓多晶料的石英管装入水平单晶炉加热体,降温进行接籽晶。S2:当晶体由高温区生长至挨近VII区,且生长界面距VII区第一固定距离时,以第一降温速率降低VII区温度,并以特定速率移动水平单晶炉加热体。S3:直至晶体的生长界面 ...
【技术保护点】
水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法,其特征在于,所述放肩方法在水平单晶炉加热体中实现,所述水平单晶炉加热体包括沿水平方向设置的十二个加热区段,所述十二个加热区段依次编号为Ι~XII,其中Ι~VI区为各区温度依次升高的高温区,VII区为界面区,VIII~XII区为温度各区温度依次降低的低温区,所述放肩方法包括以下步骤:S1:将封装好砷化镓多晶料的石英管装入水平单晶炉加热体,降温进行接籽晶;S2:当晶体由高温区生长至挨近VII区,且生长界面距VII区第一固定距离时,以第一降温速率降低VII区温度,并以特定速率移动水平单晶炉加热体;S3:直至晶体的生长界面进一步挨近VII区,并距VII区第二固定距离时,停止移动水平单晶炉加热体;S4:继续以第二降温速率对VII区继续降温,将晶体生长界面回调至挨近VII区的第一固定距离;S5:循环重复步骤S2~S4,直至晶体生长长度达到标准长度;其中,第一降温速率为0.5‑3.0℃/h,所述第二降温速率为1‑8℃/h。
【技术特征摘要】
1.水平法砷化镓单晶拉制过程中的放肩方法,其特征在于,所述放肩方法在水平单晶炉加热体中实现,所述水平单晶炉加热体包括沿水平方向设置的十二个加热区段,所述十二个加热区段依次编号为Ι~XII,其中Ι~VI区为各区温度依次升高的高温区,VII区为界面区,VIII~XII区为温度各区温度依次降低的低温区,所述放肩方法包括以下步骤:S1:将封装好砷化镓多晶料的石英管装入水平单晶炉加热体,降温进行接籽晶;S2:当晶体由高温区生长至挨近VII区,且生长界面距VII区第一固定距离时,以第一降温速率降低VII区温度,并以特定速率移动水平单晶炉加热体;S3:直至晶体的生长界面进一步挨近VII区,并距VII区第二固定距离时,停止移动水平单晶炉加热体;S4:继续以第二降温速率对VII区继续降温,将晶体生...
【专利技术属性】
技术研发人员:马英俊,郑安生,马远飞,林泉,易见伟,龙彪,张洁,邢爱君,
申请(专利权)人:有研光电新材料有限责任公司,
类型:发明
国别省市:河北,13
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。