石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构制造技术

本实用新型专利技术涉及半导体加工技术领域，具体公开了一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在开口上；支撑凸起，设置在桶体的底面，用于支撑石英坩埚。通过在桶体内设置支撑凸起，一方面可以支撑悬空倒扣的石英坩埚，使得石英坩埚充分腐蚀，另一方面支撑凸起可以占用桶体的部分空间，达到节省腐蚀液、降低成本的目的。降低成本的目的。降低成本的目的。

【技术实现步骤摘要】
石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构


[0001]本技术涉及半导体加工
，具体公开了一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构。

技术介绍

[0002]用于超纯锗熔体生长的最佳容器是石英坩埚，为了保证高纯锗纯度，需要对盛放高纯锗的石英坩埚进行化学腐蚀，以达到去除坩埚杂质的目的，因此，石英坩埚的化学腐蚀对于高纯锗单晶的纯度至关重要。一般进行直拉单晶时，采用的石英坩埚体积较大，因此所需要的化学腐蚀液的量更多，同时还需要在腐蚀液中完全浸泡长达24小时，才能达到完全去除杂质的目的。目前常见的腐蚀装备为类圆柱体的聚四氟材质的塑料桶，这种装备虽能够达到腐蚀坩埚的目的，但是存在浪费腐蚀液，增加经济成本等缺点。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本技术提出一种石英坩埚腐蚀桶及腐蚀结构，解决上述至少一个技术问题。
[0004]为了实现上述目的，本技术第一方面提供了一种石英坩埚腐蚀桶，包括：
[0005]桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；
[0006]桶盖，盖设在所述开口上；
[0007]支撑凸起，设置在所述桶体的底面，用于支撑倒扣的石英坩埚。
[0008]此外，本技术第二方面提供了一种腐蚀结构，包括石英坩埚以及如上所述的石英坩埚腐蚀桶，其中，所述桶体内盛放有腐蚀液，所述支撑凸起的外径小于所述石英坩埚的内径以使得所述石英坩埚悬空倒扣在所述支撑凸起上。
[0009]另外，根据本技术上述石英坩埚腐蚀桶还可以具有如下附加的技术特征：
[0010]根据本技术的一个实施例，所述支撑凸起为中空柱状结构。
[0011]根据本技术的一个实施例，所述支撑凸起位于所述桶体底面的中间位置。
[0012]根据本技术的一个实施例，所述支撑凸起粘接在所述桶体的底面。
[0013]根据本技术的一个实施例，所述支撑凸起的顶面与所述支撑凸起的侧面通过倒角状过渡面连接，所述过渡面用于与所述石英坩埚的内底面抵接。
[0014]根据本技术的一个实施例，所述过渡面的倒角呈45
°
。
[0015]根据本技术的一个实施例，所述桶体底部的相对两侧分别设置有排液阀。
[0016]根据本技术的一个实施例，沿所述桶体周壁设置一圈裙边，所述裙边与所述桶体的侧壁构成液封凹槽，所述桶盖的底边位于所述液封凹槽内。
[0017]根据本技术的一个实施例，所述石英坩埚具有向下凹陷的弧形内底面以及向外倾斜的内侧面。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0019]通过在桶体内设置支撑凸起，一方面可以支撑倒扣的石英坩埚，使得石英坩埚充
分腐蚀，另一方面支撑凸起可以占用桶体的部分空间，达到节省腐蚀液、降低成本的目的。
附图说明
[0020]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本技术的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：
[0021]图1为本技术实施例中腐蚀结构的截面图；
[0022]图2为本技术实施例中腐蚀桶的截面图；
[0023]图3为本技术实施例中腐蚀桶的俯视图。
具体实施方式
[0024]下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0025]应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及
“”
也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、元件、部件、和/或它们的组合。
[0026]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0027]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“底”、“前”、“上”、“倾斜”、“下”、“顶”、“内”、“水平”、“外”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中机构的不同方位。例如，如果在图中的机构翻转，那么描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在
……
下方”可以包括在上和在下的方位。
[0029]参照图1
‑
3所示，本技术的一些实施例提供了一种腐蚀结构，该腐蚀结构包括石英坩埚腐蚀桶100以及石英坩埚200，其中，该石英坩埚腐蚀桶100包括：桶体10、桶盖以及支撑凸起11，其中，该桶体10用于盛放腐蚀液，比如王水，且该桶体10的顶部具有开口101，桶盖盖设在开口101上，支撑凸起11设置在桶体10的底面，以用于支撑悬空倒扣的石英坩埚
200。
[0030]进一步地，继续参照图1，本实施例中的石英坩埚200的顶部具有开口，且石英坩埚200包括向下凹陷的弧形内底面201以及向外倾斜设置的内侧面202，也就是说自石英坩埚200的顶部到底部，石英坩埚200的内径呈逐渐减小的趋势。
[0031]需要说明的是，继续参照图2，支撑凸起11呈中空柱状结构，具体地，支撑凸起11为外表面封闭的圆柱体。
[0032]在本实施例中，桶体10以及支撑凸起11材质的主要成分为聚四氟乙烯，支撑凸起11通过粘接的方式固定在桶体10的底面的中间位置。具体地，支撑凸起11在桶体10的位置影响着石英坩埚200的位置，当支撑凸起11位于桶体10底面的中间位置，也就是说石英坩埚200位于桶体10的中部，位于桶体10中部的石英坩埚200可以与桶体10内的腐蚀液完全接触，从而使得石英坩埚200的腐蚀效果更好。
[0033]需要说明的是，支撑凸起11还可以通过其他本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，包括：桶体，顶部具有开口，用于盛放腐蚀液；桶盖，盖设在所述开口上；支撑凸起，设置在所述桶体的底面，用于支撑倒扣的石英坩埚。2.根据权利要求1所述的石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，所述支撑凸起为中空柱状结构。3.根据权利要求1所述的石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，所述支撑凸起位于所述桶体底面的中间位置。4.根据权利要求1所述的石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，所述支撑凸起粘接在所述桶体的底面。5.根据权利要求1所述的石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，所述支撑凸起的顶面与所述支撑凸起的侧面通过倒角状过渡面连接，所述过渡面用于与所述石英坩埚的内底面抵接。6.根据权利要求5所述的石英坩埚腐蚀桶，其特征在于，所述过渡面的...

【专利技术属性】
技术研发人员：柴晨，闵振东，王博，魏炜，林泉，马英俊，许兴，李万朋，张路，刘向前，
申请(专利权)人：有研光电新材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：