磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置，该磷化镓位错腐蚀用容器组件包括半球形底座、容器和固定套件；所述半球形底座为实心，并且具有弧形面和与所述弧形面相对的平面；所述固定套件设置于所述半球形底座的平面上，并且将所述容器固定于所述半球形底座的所述平面一侧。该磷化镓位错腐蚀用容器组件通过设计实心不倒翁形底座避免了容器在传统操作中的上浮，也无需人工按压操作，避免对操作人员的身体健康造成危害。害。害。

【技术实现步骤摘要】
磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置


[0001]本技术涉及半导体材料测试设备
，具体涉及一种磷化镓位错腐蚀用容器组件及磷化镓位错水浴腐蚀装置。

技术介绍

[0002]位错(dislocation)指晶体材料的一种内部微观缺陷，即原子的局部不规则排列。晶体的位错对晶体材料有很多不利的影响，如可使能带发生变化；影响迁移率等。位错密度是衡量材料质量的重要指标之一。
[0003]位错密度定义为单位表面积内形成位错坑的个数(个/cm2)。晶体样片经过特定的腐蚀后，在表面上会形成由某些低指数面组成带棱角的具有特定形状的腐蚀坑或小丘。通常采用这种择优化学腐蚀技术显示位错腐蚀坑，实现位错密度测量。
[0004]在水浴腐蚀磷化镓单晶样品时，要将纯水、硝酸银溶液、硝酸及氢氟酸分别放入塑料烧杯中，轻轻晃匀并将塑料烧杯放入水浴锅中，再将磷化镓样品放入腐蚀液中腐蚀11分钟。在这个过程中，普通塑料烧杯会浮在水浴锅液面上，达不到水浴效果。由于塑料烧杯所受浮力大于烧杯加腐蚀液及样片的总重力，需要操作人员摁压烧杯而无法关上通风橱，不利于操作人本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磷化镓位错腐蚀用容器组件，其特征在于，包括半球形底座、容器和固定套件；所述半球形底座为实心，并且具有弧形面和与所述弧形面相对的平面；所述固定套件设置于所述半球形底座的平面上，并且将所述容器固定于所述半球形底座的所述平面一侧。2.根据权利要求1所述的磷化镓位错腐蚀用容器组件，其特征在于，所述固定套件包括至少三个支撑结构，所述三个支撑结构之间合围形成容纳空间；所述容器位于所述容纳空间内。3.根据权利要求2所述的磷化镓位错腐蚀用容器组件，其特征在于，所有所述支撑结构沿所述半球形底座的圆周方向等间距分布。4.根据权利要求2所述的磷化镓位错腐蚀用容器组件，其特征在于，所述容器可拆卸连接在所述支撑结构远离所述半球形底座的一端，并且通过所述支撑结构调节所述容器与所述半球形底座的相对高度。5.根据权利要求2或4所述的磷化镓位错腐蚀用容器组件，其特征在于，每个所述支撑结构包括支撑杆、调节板和限位件；所述支撑杆的一端连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵敬平，赵素晓，杜长岭，杨海涛，郭伟才，胡海琪，孟杰，
申请(专利权)人：有研光电新材料有限责任公司，
类型：新型
国别省市：