【技术实现步骤摘要】
本技术属于一种单晶硅生产过程中使用的线切割 机硅片收集槽。
技术介绍
在单晶硅生产过程中需要通过线切割机将硅棒切成硅 片，切割后的硅片落入硅片收集槽中。在硅片下落至收集槽 时会产生相互挤压、重叠，拾取时极易导致硅片破损。
技术实现思路
本技术的目的是要解决现有技术存在的上述问题， 提供一种可防止硅片下落后挤压、重叠，确保捡取时硅片完 好无损的线切割机硅片收集槽。本技术是这样实现的它有一个槽体，在槽体两个 端面设有扶手，其特殊之处是在槽体内放置有支架，在支 架上部设置有横向隔筋，在支架下部设置有纵向支撑筋。本技术的优点是通过设置在收集槽中的支架，可 使被切割的硅片沿二个相邻的横向隔筋之间落入支架中并 通过纵向支撑筋支撑，降低硅片下落高度，防止硅片挤压、 重叠、平落，确保硅片完好无损，并且方便捡取。附图说明图1是本技术的结构示意图。具体实施方式如图所示，本技术有一个槽体l，槽体l一端为活 动门结构，在槽体1两个端面上设有扶手2，以便于取出单 晶硅片。在槽体1内放置有支架3，在支架3上部沿水平方向设置有横向隔筋4，在支架3下部沿水平方向设置有纵向 支撑筋5。权利要求1...
【技术保护点】
一种线切割机硅片收集槽，包括一个槽体，在槽体两个端面设有扶手，其特征是：在槽体内放置有支架，在支架上部设置有横向隔筋，在支架下部设置有纵向支撑筋。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马军正，
申请(专利权)人：锦州日鑫硅材料有限公司，
类型：实用新型
国别省市：21[中国|辽宁]
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