基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液技术

技术编号:12166959 阅读:150 留言:0更新日期:2015-10-08 01:48
本发明专利技术提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理;c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。本发明专利技术还提供一种基于金刚线切割的硅片制绒品以及硅片制绒预处理液。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及晶体硅太阳能电池制绒领域,尤其涉及一种基于金刚线切割的硅片制 绒

技术介绍
金刚线切割技术,又称为固结磨料金刚石线锯切割,通常是以电镀或树脂固定的 方法将金刚石颗粒固着在不锈钢丝表层的镍基合金层中制成的。在切割过程中,金刚石线 锯高速运转,以一定的压力对硅材料直接进行磨削切割。相对于传统的砂浆多线切割技术, 金刚线切割技术因具有切割效率高、切割加工成本低和环境清洁等优点,而有望成为光伏 领域切割晶体硅等硬脆材料切片技术的未来发展方向。 当硅片经过金刚线切割后,硅片的表面会存在大量由塑性磨削切割形成的切割 纹,而这些切割纹的存在会使得硅片表面的反射率较高,进而影响最终太阳能电池的转换 效率。 于是,为了使金刚石切割技术能够得以大规模推广应用,人们开始研宄寻找一种 可克服上述缺陷的金刚石切割硅片的制绒方法。比如申请号为201110112185. 1的中国专 利申请通过调节HF-HN03体系及添加H#04或H3P04来减缓反应速率在金刚线切割多晶硅片 表面制绒。但是由于HF浓度很高,制绒表面会形成深腐蚀坑,导致表面不均匀,而影响电池 的光电效率。【专利本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于所述预处理液中进行预处理;c将经过预处理的硅片置于氢氟酸硝酸制绒液中进行制绒处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:廖明墩叶继春高平奇应智琴韩灿
申请(专利权)人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
类型:发明
国别省市:浙江;33

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