下载基于金刚线切割的硅片的制绒方法、硅片制绒品及硅片制绒预处理液的技术资料

文档序号:12166959

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本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于...
该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。

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