温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于...该专利属于中国科学院宁波材料技术与工程研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院宁波材料技术与工程研究所授权不得商用。
温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。
本发明提供一种基于金刚线切割的硅片的制绒方法,其包括如下步骤:a将氢氟酸溶液、过氧化氢溶液、金属盐和添加剂混合得到预处理液,所述添加剂为异丙醇、乙醇、正丁醇、异丁醇、乙二醇、正丙醇、乙二醇乙醚、二乙二醇中的至少一种;b将金刚线切割的硅片置于...