一种单晶生产过程中的吊肩除杂方法技术

技术编号:6616098 阅读:225 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术涉及一种单晶生产过程中的吊肩除杂方法,该方法在单晶拉制过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,把已经脱棱的肩放大,且自动等径4~9厘米;然后退出自动等径状态,改为手动状态,将功率值升高至60~90千瓦,晶转放在1~3转/分,埚转在1~3转/分,将等径的4~9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50~70%的晶体后,把功率值降至40~60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”即可。采用本发明专利技术,晶体会从表面及下部开始熔化,慢慢地熔化成“桃形”状,容易吸附大量杂质,起到了净化硅熔体的作用,且可减少吊肩次数,达到既能提高单晶成品率,又能提高生产效率的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
在单晶生产过程中,原料的纯净度会导致在单晶拉制的过程中需要频繁取肩。传统的工艺是放肩脱棱后,把肩放大后直接吊取,往往是需要吊取4 5个肩,甚至更多才能将熔体中的杂质除去,这样,不仅生产效率低,而且会影响单晶成品率。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供既能提高单晶成品率,又能提高生产效率的。本专利技术采取的技术方案是,其特征在于在单晶拉制过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,把已经脱棱的肩放大,且自动等径4 9厘米;然后退出自动等径状态,改为手动状态,将功率值升高至 60 90千瓦,晶转放在1 3转/分,埚转在1 3转/分,将等径的4 9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50 70%的晶体后,把功率值降至40 60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”即可。采用本专利技术,由于在高温状态下,熔体中温度分布是径向外围高,中间低,纵向上部低,中部高,晶体会从表面及下部开始熔化,慢慢地熔化成“桃形”状,再者晶体是固体,相对于熔体来说温度较低,杂质会向晶体方向移动,并粘附在晶体上,而且“桃形肩”的表面积大,容易吸附大量杂质,在此原理作用下,熔体中的杂质会尽可能地粘在“桃形”肩上,顺势吊起“桃形”肩,起到了净化硅熔体的作用,且可减少吊肩次数,达到既能提高单晶成品率, 又能提高生产效率的目的。具体实施例方式下面结合具体的实施例对本专利技术作进一步说明。在单晶直拉过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,接着把已脱棱的肩放大,且自动等径4 9厘米;然后退出自动等径状态,改手动状态,将功率值升高至60 90千瓦,晶转放在1 3转/分,埚转在1 3转/分,将等径的4 9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50 70%的晶体后,把功率值降至40 60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”并吊取即可。权利要求1. ,其特征在于在单晶拉制过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,把已经脱棱的肩放大,且自动等径4 9厘米 ’然后退出自动等径状态,改为手动状态,将功率值升高至60 90千瓦,晶转放在1 3转/ 分,埚转在1 3转/分,将等径的4 9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50 70%的晶体后,把功率值降至40 60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”即可。全文摘要本专利技术涉及,该方法在单晶拉制过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,把已经脱棱的肩放大,且自动等径4~9厘米;然后退出自动等径状态,改为手动状态,将功率值升高至60~90千瓦,晶转放在1~3转/分,埚转在1~3转/分,将等径的4~9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50~70%的晶体后,把功率值降至40~60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”即可。采用本专利技术,晶体会从表面及下部开始熔化,慢慢地熔化成“桃形”状,容易吸附大量杂质,起到了净化硅熔体的作用,且可减少吊肩次数,达到既能提高单晶成品率,又能提高生产效率的目的。文档编号C30B15/00GK102212872SQ20111013429公开日2011年10月12日 申请日期2011年5月20日 优先权日2011年5月20日专利技术者江土军 申请人:浙江星宇能源科技有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶生产过程中的吊肩除杂方法,其特征在于在单晶拉制过程中吊取了一或二个肩后,保持单晶炉的功率值在放肩功率,把已经脱棱的肩放大,且自动等径4~9厘米;然后退出自动等径状态,改为手动状态,将功率值升高至60~90千瓦,晶转放在1~3转/分,埚转在1~3转/分,将等径的4~9厘米长的多晶进行回熔,待熔去50~70%的晶体后,把功率值降至40~60千瓦,使晶体缓慢的熔成“桃形”即可。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:江土军
申请(专利权)人:浙江星宇能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:33

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