石墨舟冷却机制造技术

本实用新型专利技术提供了一种石墨舟冷却机，用于冷却石墨舟，包括冷却机房体，房体内固定有冷却平台，待冷却石墨舟由小车推入房体并置于冷却平台上方冷却，冷却平台下方具有气室，气室上具有总进风口且总进风口管路连通有冷却风机，冷却平台上方则固定有出风板，出风板上间隔均布有节流管路，冷却风机出风通过节流管路吹向待冷却石墨舟底部，节流管路进风口管路断面面积大于出风口管路断面面积。本实用新型专利技术结构简单，改造方便且改造成本较低，通过更改出风口形状，无需更改冷却风机，可在同等进风量条件下，提升出风风速，有效提高石墨舟冷却机的冷却效率。

【技术实现步骤摘要】
石墨舟冷却机
本技术涉及光伏
，尤其涉及一种石墨舟冷却机。
技术介绍
石墨舟是在等离子增强型化学气相沉积(PECVD)管式炉内对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行氮化硅薄膜镀层的承载工具。在镀膜工艺结束后，石墨舟温度过高，需要对石墨舟进行冷却处理。目前使用石墨舟冷却机，一般将出风口设计为简单的栅栏状，石墨舟则由小车推入石墨舟冷却机内并置于格珊状出风口上，由风机吹走热量，冷却效率并不理想，如需提高冷却效率，则需更换更大功率的风机。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：为了克服现有技术之不足，本技术提供一种无需更改风机功率，即可有效提升风速，提高石墨舟冷却效率的石墨舟冷却机。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石墨舟冷却机，用于冷却石墨舟，包括冷却机房体，所述的房体内固定有冷却平台，所述待冷却石墨舟由小车推入房体并置于冷却平台上方冷却，所述冷却平台下方具有气室，所述气室上具有总进风口且总进风口管路连通有冷却风机，冷却平台上方则固定有出风板，所述出风板上间隔均布有节流管路，所述冷却风机出风通过节流管路吹向待冷却石墨舟底部，所述节流管路进风口管路断面面积大于出风口管路断面面积。进一步的，节流管路可优选为由柱形管和固定在柱形管底部的锥形管组成，所述锥形管的管路断面面积大于柱形管的管路断面面积。更进一步的，为了方便加工节流管路，柱形管和锥形管为一体成型结构。本技术的有益效果是，本技术提供的石墨舟冷却机，无需更改风机功率，结构简单，改造方便且改造成本较低，通过更改出风口形状，将出风口设计为进风口断面面积大于出风口断面面积的节流管路，可在同等进风量条件下，提升出风风速，有效提高石墨舟冷却机的冷却效率。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术最优实施例的结构示意图。图2是节流管路的风向流动示意图。图中1、房体2、冷却平台3、气室4、出风板5、节流管路5-1、柱形管5-2、锥形管。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。如图1和图2所示的石墨舟冷却机，是本技术最优实施例，用于冷却石墨舟，包括冷却机房体1。所述的房体1内焊接固定有冷却平台2，所述待冷却石墨舟由小车推入房体1并置于冷却平台2上方冷却，所述冷却平台2下方具有气室3，所述气室3上具有总进风口且总进风口管路连通有冷却风机。在实际设计中，也可将冷却风机安装在气室3内直接向上出风。冷却平台2上方则焊接固定有出风板4，所述出风板4上间隔均布有节流管路5，所述冷却风机出风通过节流管路5吹向待冷却石墨舟底部，所述节流管路5进风口管路断面面积大于出风口管路断面面积。节流管路5可优选为由柱形管5-1和固定在柱形管5-1底部的锥形管5-2组成，所述锥形管5-2的管路断面面积大于柱形管5-1的管路断面面积。为了方便加工节流管路5，柱形管5-1和锥形管5-2为一体成型结构。节流管路5与出风板4之间可添加密封垫圈，加强密闭性，提高对冷却风机出风的利用率，减少损耗。设节流管路5断面面积为A，出风流量为Q，根据v＝Q/A，当出风流量Q不变时，管路断面面积A越小，流速越快。即当节流管管路进风口管路断面面积大于出风口管路断面面积时，气流从粗管路流向细管路，气流流速变快。因此采用节流管路5的石墨舟冷却机可在无需改变冷却风机功率的前提下，将原有的栅栏状的出风口改为固定在出风板4上的节流管路5，可达到有效提升风速、提高石墨舟冷却效率的效果。对此，可随机选取5个石墨舟，分别采用原有栅栏状出风口的石墨舟冷却机(改善前)和采用节流管路5的石墨舟冷却机(改善后)将刚退出炉管的石墨舟冷却至40℃，并统计冷却所需时间(如表1)。表1从表1统计数据可得知，采用节流管路5改善后的石墨舟冷却机的降温效率提升了约26％(＝(536-396)/536)，每个石墨舟冷却时间则平均节省140s。如此设计的石墨舟冷却机，无需更改风机功率，结构简单，改造方便且改造成本较低，通过更改出风口形状，将出风口设计为进风口断面面积大于出风口断面面积的节流管路5，可在同等进风量条件下，提升出风风速，有效提高石墨舟冷却机的冷却效率。以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨舟冷却机，用于冷却石墨舟，包括冷却机房体(1)，其特征在于：所述的房体(1)内固定有冷却平台(2)，所述待冷却石墨舟由小车推入房体(1)并置于冷却平台(2)上方冷却，所述冷却平台(2)下方具有气室(3)，所述气室(3)上具有总进风口且总进风口管路连通有冷却风机，冷却平台(2)上方则固定有出风板(4)，所述出风板(4)上间隔均布有节流管路(5)，所述冷却风机出风通过节流管路(5)吹向待冷却石墨舟底部，所述节流管路(5)进风口管路断面面积大于出风口管路断面面积。

【技术特征摘要】
1.一种石墨舟冷却机，用于冷却石墨舟，包括冷却机房体(1)，其特征在于：所述的房体(1)内固定有冷却平台(2)，所述待冷却石墨舟由小车推入房体(1)并置于冷却平台(2)上方冷却，所述冷却平台(2)下方具有气室(3)，所述气室(3)上具有总进风口且总进风口管路连通有冷却风机，冷却平台(2)上方则固定有出风板(4)，所述出风板(4)上间隔均布有节流管路(5)，所述冷却风机出风通过节流管路(5)...

【专利技术属性】
技术研发人员：高鑫，
申请(专利权)人：常州亿晶光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32