【技术实现步骤摘要】
单晶棒料截断切割设备
本技术属于硬脆材料切割
,尤其是一种金刚石线锯切割设备。
技术介绍
中国专利文献中,公开号CN201620055181.2名称是一种单晶硅截断机(参见该申请说明书具体实施方式部分),公开了一种使用一根高速往复运转的金刚线,通过设备的走丝机构对硅碇进行加工研磨,最终实现切割分段的一种单晶硅截断机。缺点:1、使用一根高速往复运转的金刚长线,通过设备的走丝机构对硅碇进行加工研磨;切割丝不仅需要线筒收放,还要按一定螺距进行排线,往返循环走丝时还要通过张力装置补偿切割丝延伸度以防止断线,走丝机构复杂,容易断线,任何一处断裂,整根长线都报废,造成浪费,且切割过程中出现断线对精度影响大,更换切割丝耗时长;2、所述张力控制装置包括张力轮、张力轴、分别连接张力轮和张力轴的张力臂、安装在张力轴上的角位移传感器、以及驱动张力轴转动的气缸驱动机构;张力控制装置结构复杂,需要独立提供气源等装备;3、这种单晶硅截断机的线网装置上分布有多个切割机头,所以设有多个晶托装置,晶托框架的两侧还安装有接料盒,用于盛装切割完成后下坠的晶棒边缘棒料,接料盒为插拔式安装,所述晶托框架的外侧还设有数个推拉把手和数个用于固定晶托装置的固定座,通过推拉把手将晶托装置推至所需位置,并通过固定座进行固定;自动化程度低;4、晶托装置与送料装置通过手轮实现托起、送夹,自动化程度低,晶棒定中心组件的定中心卡爪朝上放置,需手动将若干组单晶棒料定中心组件的定中心卡爪调节至足够的避让尺寸,才能保证上、下料时晶棒不会和定中心卡爪发生碰撞、干涉。
技术实现思路
针对现有技术的不足,本技术的目的在于提供 ...
【技术保护点】
一种单晶棒料截断切割设备,包括机架、可以在底架上滑动运行的单晶棒料送料装置、安装在底架上的切割机架、安装在切割机架上的线锯切割机构、可以在底架上滑动的单晶棒料托顶装置、取送料机器人和料车,其特征在于:所述底架包括底座(1)、若干个固定底座上的支撑滚轮组件(101),支撑滚轮组件位于切割机架的左侧,所述单晶棒料送料装置(2)由两个可移动的夹持单元构成,夹持单元的夹爪位于支撑滚轮的上方,夹持单元可穿过切割机架下方的空间,在切割机架两侧移动,线锯切割机构是单段切割,单晶棒料托顶装置(4),包括滑动运行机构、防护装置、棒料浮动托顶装置,所述滑动运行机构由直线导轨、齿条与底座联接,滑块通过内六角圆柱头螺钉与支撑滑台联接,减速机与支撑滑台相连,伺服电机驱动减速机带动齿轮与齿条啮合实现棒料浮动托顶装置运动,棒料浮动托顶装置的移动轨道在支撑滚轮组件右端,取料机器人位于棒料浮动托顶装置的侧面。
【技术特征摘要】
1.一种单晶棒料截断切割设备,包括机架、可以在底架上滑动运行的单晶棒料送料装置、安装在底架上的切割机架、安装在切割机架上的线锯切割机构、可以在底架上滑动的单晶棒料托顶装置、取送料机器人和料车,其特征在于:所述底架包括底座(1)、若干个固定底座上的支撑滚轮组件(101),支撑滚轮组件位于切割机架的左侧,所述单晶棒料送料装置(2)由两个可移动的夹持单元构成,夹持单元的夹爪位于支撑滚轮的上方,夹持单元可穿过切割机架下方的空间,在切割机架两侧移动,线锯切割机构是单段切割,单晶棒料托顶装置(4),包括滑动运行机构、防护装置、棒料浮动托顶装置,所述滑动运行机构由直线导轨、齿条与底座联接,滑块通过内六角圆柱头螺钉与支撑滑台联接,减速机与支撑滑台相连,伺服电机驱动减速机带动齿轮与齿条啮合实现棒料浮动托顶装置运动,棒料浮动托顶装置的移动轨道在支撑滚轮组件右端,取料机器人位于棒料浮动托顶装置的侧面。2.根据权利要求1所述的单晶棒料截断切割设备,其特征在于:底座(1)上固定有支撑滚轮组件(101),两侧固定有直线导轨A(212)、齿条A(214),齿条A与夹持单元中的齿轮相配合。3.根据权利要求1所述的单晶棒料截断切割设备,其特征在于:所述的可移动的夹持单元的移动机构的伺服电机A(217)和减速机A(216)连接,两个夹爪框架(201)上分别连接有减速机A(216)、滑块A(213),减速机A(216)输出端装有齿轮A(215)与固定在底座上的齿条A(214)啮合,直线导轨A(212)、齿条A(214)连接在底座(1)上,伺服电机A(217)驱动减速机A(216)带动齿轮A(215)旋转,夹爪框架(201)沿直线导轨A(212)移动,实现夹紧机构的平移;所述的夹持单元的夹紧机构的直线导轨B(234)与夹爪框架(201)连接,滑块B(233)与直线导轨B(234)相配合,滑块B(233)分别安装在右夹爪(223)和左夹爪(225)上,右夹爪(223)和左夹爪(225)的中间装有传动杆B(224),传动杆B(224)的两端螺纹方向相反,传动杆B(224)的两端都装有轴承(226),一端通过螺钉(221)锁紧轴承端盖(222)紧固,另一端装有平键(227)、减速机B(228)、伺服电机B(229),伺服电机B(229)驱动减速机B(228)通过平键(227)传递扭力给传动杆B(224),带动右夹爪(223)和左夹爪(225)沿夹爪导轨向内或向外移动...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱文志,黄其勋,李波,林冬,黄田玉,林孝狮,
申请(专利权)人:福州天瑞线锯科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建,35
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