The utility model relates to a vapor deposition apparatus, especially relates to a roll to roll flexible co evaporation equipment, including winding system and evaporation system, including evaporation winding system of base station and the base station is arranged in the evaporation ends of the unwinding roller and winding roller, evaporation system includes evaporation chamber, set the in the crucible, evaporation chamber placed in the crucible and the evaporation source is arranged in the heating source above the crucible, evaporation system also includes a controller, a temperature sensor, operating platform and horizontally arranged on the baffle component at the top of the crucible, the baffle assembly includes a baffle and a horizontal moving mechanism, the horizontal moving mechanism is connected with the baffle plate, horizontal movement mechanism and temperature sensor are respectively electrically connected with the controller, the controller is electrically connected with the operating platform. The utility model can avoid the arrival of powdery solid particles forming a matrix source among atoms, and the film source atoms can reach low adhesion formation, to flake off, to achieve clean production, reduce production cost etc..
【技术实现步骤摘要】
一种卷对卷柔性共蒸镀设备
本技术涉及一种蒸镀设备,尤其涉及一种卷对卷柔性共蒸镀设备。
技术介绍
CIGS薄膜通常通过卷对卷柔性共蒸镀技术制造,传统的制造过程会产生粉状和片状固体物,其主要产生于预热和冷却过程。因为该过程源物质温度相对较低,蒸镀空间各源原子能量小,不能到达基体的源原子间形成粉状固体颗粒,能到达的源原子化合形成过低附着力的薄膜,以片状脱落。这些粉状和片状固体物会给生产过程带来不必要的清理过程和其它损失。
技术实现思路
为了解决上述问题,本技术提供了一种设有挡板组件的卷对卷柔性共蒸镀设备,达到达到清洁生产,减小生产成本的目的。本技术技术方案是:一种卷对卷柔性共蒸镀设备,包括卷绕系统和蒸镀系统,所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊,在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体,所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源,所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构,所述水平移动机构水平连接挡板,水平移动机构、温度传感器分别电连接控制器,所述控制器电连接操作平台。进一步的,所述水平移动机构为伺服气缸,所述伺服气缸的输出端水平连接挡板一侧。进一步的,所述操作平台包括显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器,所述显示器、撤离、复位按键、指示灯以及报警器分别电连接控制器。指示灯显示挡板的位置,当撤离、复位操作失败或温度异常,则报警器报警。进一步的,所述蒸镀基台下表面呈向下的圆弧形。进一步的,所述蒸镀腔有多个,多个蒸镀腔呈与 ...
【技术保护点】
一种卷对卷柔性共蒸镀设备,包括卷绕系统和蒸镀系统,所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊,在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体,所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源,其特征在于:所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构,所述水平移动机构水平连接挡板,水平移动机构、温度传感器、加热源分别电连接控制器,所述控制器电连接操作平台。
【技术特征摘要】
1.一种卷对卷柔性共蒸镀设备,包括卷绕系统和蒸镀系统,所述卷绕系统包括蒸镀基台以及设置在蒸镀基台两端的放卷辊和收卷辊,在放卷辊和收卷辊之间安装待蒸镀的基体,所述蒸镀系统包括蒸镀腔、设置在蒸镀腔内的坩埚、放置在坩埚内的蒸镀源以及设置在坩埚上方的加热源,其特征在于:所述蒸镀系统还包括控制器、温度传感器、操作平台以及水平设置在坩埚上方的挡板组件,所述挡板组件包括挡板以及水平移动机构,所述水平移动机构水平连接挡板,水平移动机构、温度传感器、加热源分别电连接控制器,所述控制器电连接操作平台。2.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员:任宇航,詹华昭,陈辉,罗明新,
申请(专利权)人:浙江尚越新能源开发有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江,33
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