柔性电路板曝光装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种柔性电路板曝光装置，包括曝光平台和曝光光路，曝光平台为roll to roll平台，曝光光路设置在曝光平台的上方，曝光光路由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f‑theta镜，二维震镜、激光器和f‑theta镜均设置在支撑板上，两个二维震镜设置在支撑板的一侧，激光器设置在其中一个二维震镜的上方，f‑theta镜设置在支撑板的一侧，位置与另一个二维震镜对应。经过二维震镜的光最后由f‑theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上，曝光平台将柔性电路板展开并平整；曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台上，并以此循环。

Exposure device for flexible circuit board

The exposure device of the utility model discloses a flexible circuit board, including exposure platform and exposure light exposure platform for roll to roll platform, the light path is arranged above the exposure exposure platform, light exposure route row into sub optical column, sub light path includes a support plate, two dimensional seismic mirror f theta, laser and mirror, mirror, laser and f 2D seismic theta mirror are arranged on the support plate, two dimensional seismic mirror is arranged on one side of the supporting plate, the laser is arranged in the top of a two-dimensional seismic reflector, f theta mirror is arranged on one side of the supporting plate, and another position a two-dimensional mirror corresponding to earthquake. After two earthquake light finally by F theta mirror converged to the flexible circuit board exposure surface is exposed on the platform, the transmission device on both sides of the flexible circuit board is transmitted to the exposure platform, a platform for exposure of the flexible circuit board and flat; exposure after transmission device of flexible circuit board crimp finishing rolls. Part sent to the exposure platform will also not exposed, and this cycle.

【技术实现步骤摘要】
柔性电路板曝光装置
本技术涉及一种曝光装置，具体涉及一种柔性电路板曝光装置。
技术介绍
直写式曝光技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式曝光技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。利用该技术可以缩短工艺流程，并降低生产成本。目前市场上主流的直写式曝光机大多以单工件台方式进行扫描曝光，先将被曝光工件的A面曝光完成后，再进行翻版，然后对B面进行曝光。在单工件台系统中，用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。依据目前的结构系统，各操作流程均已经达到耗时的上限，很难再缩短某个操作步骤的操作时间，即单工件台的直写式曝光机由于各操作流程的串行性质，已很难再提高产能，柔性电路板受其特性限制，曝光效率低。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本技术提供一种柔性电路板曝光装置，曝光简便、高效，大大提高曝光速度和曝光质量。为了实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种柔性电路板曝光装置，包括曝光平台和曝光光路，曝光平台为rolltoroll平台，曝光光路设置在曝光平台的上方，曝光光路由沿着柔性电路板传动方向排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板、二维震镜、激光器和f-theta镜，二维震镜、激光器和f-theta镜均设置在支撑板上，两个二维震镜设置在支撑板的一侧，激光器设置在其中一个二维震镜的上方，f-theta镜设置在支撑板的一侧，位置与另一个二维震镜对应。所述曝光平台两侧设置传动装置。本技术的有益效果为：利用二维震镜将激光器发出的激光反射，反射光随着两个震镜相互配合震动，完成二维扫描；经过二维震镜的光最后由f-theta镜汇聚到曝光平台上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台上，曝光平台将柔性电路板展开并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平台上全部面板的曝光，曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台上，并以此循环。附图说明图1为本技术的结构示意图；图中：1、曝光光路，2、曝光平台，3、二维震镜，4、激光器，5、f-theta镜，6、支撑板。具体实施方式下面结合附图对本技术作进一步说明。如图1所示，本柔性电路板曝光装置，包括曝光平台2和曝光光路1，曝光平台2为rolltoroll平台，曝光光路1设置在曝光平台2的上方，曝光光路1由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板6、二维震镜3、激光器4和f-theta镜5，二维震镜3、激光器4和f-theta镜5均设置在支撑板6上，两个二维震镜3设置在支撑板6的一侧，激光器4设置在其中一个二维震镜3的上方，f-theta镜5设置在支撑板6的一侧，位置与另一个二维震镜3对应，曝光平台2两侧设置传动装置。利用二维震镜3将激光器4发出的激光反射，反射光随着两个二维震镜3相互配合震动，完成二维扫描；经过二维震镜的光最后由f-theta镜5汇聚到曝光平台2上的被曝光的柔性电路板表面，两侧的传动装置将柔性电路板传送到曝光平台2上，曝光平台2将柔性电路板展开并平整；只需一次曝光，就能完成曝光平台2上全部面板的曝光，曝光完后传动装置将柔性电路板卷曲整理成卷，同时将未曝光的部分传送至曝光平台2上，并以此循环。Roll-to-Roll技术是指挠性覆铜板通过成卷连续的方式进行FPC制作的工艺技术。采用Roll-to-Roll生产工艺，不仅能提高生产率，而更重要的是提高自动化程度。这种高自动化的生产明显地减少了人为操作和管理因素，受环境条件(温度、湿度洁净度等)影响变化小，因而具有更均匀一致而稳定的尺寸偏差，从而也易于进行修正和补偿，所以它具有更高的产品合格率、质量和可靠性。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性电路板曝光装置，其特征在于，包括曝光平台（2）和曝光光路（1），曝光平台（2）为roll to roll平台，曝光光路（1）设置在曝光平台（2）的上方，曝光光路（1）由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板（6）、二维震镜（3）、激光器（4）和f‑theta镜（5），二维震镜（3）、激光器（4）和f‑theta镜（5）均设置在支撑板（6）上，两个二维震镜（3）设置在支撑板（6）的一侧，激光器（4）设置在其中一个二维震镜（3）的上方，f‑theta镜（5）设置在支撑板（6）的一侧，位置与另一个二维震镜（3）对应。

【技术特征摘要】
1.一种柔性电路板曝光装置，其特征在于，包括曝光平台（2）和曝光光路（1），曝光平台（2）为rolltoroll平台，曝光光路（1）设置在曝光平台（2）的上方，曝光光路（1）由排成一列的子光路组成，子光路包括支撑板（6）、二维震镜（3）、激光器（4）和f-theta镜（5），二维震镜（3）、激光器（4）和f-...

【专利技术属性】
技术研发人员：茆晓华，
申请(专利权)人：江苏影速光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32