【技术实现步骤摘要】
直写式曝光机中用于激光一分N的系统
本技术涉及一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,属于直写式光刻机曝光
技术介绍
直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术,在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位;利用该技术可以缩短工艺流程,并降低生产成本。目前,曝光机内部常规采用多组光路来实现大板曝光,如果每组光路均采用一个激光器,那么在曝光控制中难以精准的控制各组光路的能量一致性,且曝光机中使用激光器越多,成本越高。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本技术提供一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,通过一束光源实现多组均匀出射光,进而降低生产成本、保证生产质量。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,包括:单个激光器以及n个分光单元;其中,分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜;所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上,一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元,进而实现一束光源一分N束。所述的单个激光器与初始分光单元之间设有可旋转玻片,通过旋转玻片实现光束的均匀性。所述的每两个分光单元的分光镜之间均设有玻片。所述的激光器为高功率可调激光器。与现有的多个激光器方式相比,本技术大大降低了生产成本,使用单个激光器发出光束经过N个分光单元实现N个光束进行曝光,即单个光源实现多组均匀出射光,并且使用一个高功率激光器,通过光学系统对其进行精准分光,通过电子控制激光器的脉冲频率可以精准改变激光器的出射能量,满足不同需求的曝光能量;通过微 ...
【技术保护点】
一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,包括:单个激光器以及n个分光单元;其中,分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜;所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上,一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元,进而实现一束光源一分N束。
【技术特征摘要】
1.一种直写式曝光机中用于激光一分N的系统,其特征在于,包括:单个激光器以及n个分光单元;其中,分光单元包括处于同一平行线的分光镜和呈45°角的反射镜;所述单个激光器发出光束照射到分光单元的分光镜上,一束光经过反射镜反射、另一束穿过分光镜照射到下一个分光单元,进而实现一束光源一分N束。2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机中用于激...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨文,
申请(专利权)人:江苏影速光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。