扩散源涂覆装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种扩散源涂覆装置。扩散源涂覆装置用于涂覆样品，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，旋转机构与固定架连接，支架与旋转机构连接，喷嘴阵列与支架连接，喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个喷嘴均设置于支架上，扩散源涂覆装置对样品进行涂覆时，旋转机构带动支架旋转，使设置在支架上的喷嘴旋转对样品进行扩散源涂覆。上述扩散源涂覆装置能提高涂覆效果和加工效率，节约扩散源材料、降低工艺成本。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及涂覆设备领域，特别是涉及一种扩散源涂覆装置。
技术介绍
扩散工艺和扩散源的涂源技术在微电子和光伏等领域有着广泛的应用。扩散源可以分为气态源、固态源和液态源，其中，液态扩散源具有工艺简单、设备操作方便和操作危险系数低等优势。此外，将液态扩散源的涂源技术应用于高效太阳电池上，在满足工艺技术要求的同时，可以明显降低设备硬件要求，进而降低设备成本与后期维护成本。一般的，普遍采用的液态扩散源的涂源技术为旋涂或喷涂工艺，其主要采用单点滴源后旋转或单点往复式喷源的涂覆方法在样品表面涂覆扩散源。采用单点滴源后旋转的涂覆方式在样品中心位置滴加扩散源后，样品进行旋转将扩散源在样品表面甩开进行涂覆，采用上述方法不能保证扩散源涂覆的均匀性，并且加工工艺时间长，产能效率低，此外，单点滴源后旋转的方式使用的扩散源的利用率很低，扩散源材料浪费严重；采用单点往复喷涂方式需要在样品表面往复滴加扩散源，加工时间长且需要的扩散源材料多。因此，液态扩散源的涂覆方法存在涂覆效果差、加工效率低、源材料浪费严重以及由此带来的工艺成本高的问题。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述液态扩散源涂覆方法的涂覆效果差、加工效率低、源材料浪费和工艺成本高的问题，提供一种扩散源涂覆装置。一种扩散源涂覆装置，用于涂覆样品，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，旋转机构与固定架连接，支架与旋转机构连接，喷嘴阵列与支架连接，喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个喷嘴均设置于支架上，扩散源涂覆装置对样品进行涂覆时，旋转机构带动支架旋转，使设置在支架上的喷嘴旋转对样品进行扩散源涂覆。上述扩散源涂覆装置，将包含多个喷嘴的喷嘴阵列设置在支架上，支架与旋转机构连接，在对样品进行涂覆时，旋转机构带动支架旋转，从而带动支架上的喷嘴阵列在样品上方旋转，喷嘴阵列通过旋转能够覆盖整个样品，将扩散源均匀滴加在样品表面，使扩散源在样品表面均匀扩散开来，能够改善样品表面的涂覆效果，同时扩散源通过多个喷嘴进行旋转滴加，能够提高扩散源的利用率，降低扩散源材料的用量进而降低生产成本。在其中一个实施例中，多个喷嘴中的部分喷嘴组成第一喷嘴组，另一部分喷嘴组成第二喷嘴组，第一喷嘴组中的多个喷嘴呈线性排列，第二喷嘴组中的多个喷嘴呈线性排列，第一喷嘴组与第二喷嘴组相互平行，第一喷嘴组中喷嘴与第二喷嘴组中的喷嘴的位置交错。在其中一个实施例中，第一喷嘴组中喷嘴的数量与第二喷嘴组中喷嘴的数量相等。在其中一个实施例中，包括供液泵和多个供液管路，各供液管路的一端均与供液泵连接，各供液管路的另一端分别与对应的喷嘴连接。在其中一个实施例中，供液泵包括第一供液泵和第二供液泵，与第一喷嘴组中的喷嘴连接的供液管路连接至第一供液泵，与第二喷嘴组中的喷嘴连接的供液管路连接至第二供液泵。在其中一个实施例中，供液管路上设置有调节阀，调节阀用于控制对应的喷嘴的滴液速率。在其中一个实施例中，喷嘴包括喷嘴管和喷嘴滴头，喷嘴管的一端与支架连接，喷嘴管的另一端与喷嘴滴头可拆卸连接。在其中一个实施例中，旋转机构包括旋转轴、轴承、驱动机构和传动件，轴承与固定架连接，旋转轴穿过轴承并与轴承套接，旋转轴的一端与支架连接，旋转轴的另一端通过传动件与驱动机构连接。在其中一个实施例中，固定架包括滑动座、固定座、升降架和伺服电机，滑动座套接于固定座的外侧，升降架的一端与滑动座连接，升降架的另一端与旋转机构连接，伺服电机与滑动座连接。在其中一个实施例中，支架与旋转机构可拆卸连接。附图说明图1为一个实施例中扩散源涂覆装置的结构示意图；图2为图1所示的扩散源涂覆装置的单个喷嘴供液管路的结构示意图；图3为图1所示的一个实施例中喷嘴阵列的横截面图；图4为另一个实施例中喷嘴阵列的横截面图。附图标号：10、旋转机构；11、旋转轴；12、轴承；13、驱动机构；14、传动件；20、固定架；21、固定座；22、升降架；23、滑动座；24、伺服电机；30、支架；40、喷嘴阵列；41、第一喷嘴组；42、第二喷嘴组；50、供液泵；60、供液管路；61、调节阀；70、样品；400、喷嘴；401、喷嘴管；402、喷嘴滴头。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。如图1所示，一实施方式的扩散源涂覆装置，用于涂覆样品，扩散源涂覆装置包括旋转机构10、固定架20、支架30和喷嘴阵列40，旋转机构10与固定架20连接，支架30与旋转机构10连接，喷嘴阵列40与支架30连接，喷嘴阵列40包括多个喷嘴400，多个喷嘴400设置于支架30上，扩散源涂覆装置对样品进行涂覆时，旋转机构10带动支架30旋转，使设置于支架30上的喷嘴400旋转对样品进行扩散源涂覆。在一个实施例中，旋转机构10包括旋转轴11、轴承12、驱动机构13和传动件14，轴承12与固定架20连接，旋转轴11穿过轴承12并与轴承12套接，旋转轴11的一端与支架30连接，旋转轴11的另一端通过传动件14与驱动机构13连接。具体的，固定架20上开设有安装孔，轴承12安装在固定架20的安装孔中，旋转轴11从轴承12内部穿过并套接于轴承12的内侧，旋转轴11的内部中空。旋转轴11的一端与支架30连接，旋转轴11通过紧固件与支架30连接，紧固件可以是螺栓、螺母和螺钉等。旋转轴11的另一端与传动件14连接，传动件14与驱动机构13连接。在本实施例中，传动件14为传动杆，驱动机构13是驱动电机，但需要说明的是，传动机构可以是传动皮带等传动部件，驱动机构13可以是气缸等驱动装置，可以根据需要具体设置，并不限于本实施例。工作时，驱动电机运行驱动传动杆转动，传动杆带动旋转轴11进行旋转，旋转轴11带动与其连接的支架30及支架30上的喷嘴阵列40进行旋转。在一个实施例中，固定架20包括滑动座23、固定座21、升降架22和伺服电机24，滑动座23套接于固定座21的外侧，升降架22的一端与滑动座23连接，升降架22的另一端与旋转机构10连接，伺服电机24与滑动座23连接。具体的，升降架22的一端开设有用于安装轴承12的安装孔，将轴承12安装在安装孔内后使得升降架22与旋转机构10连接，升降架22的另一端与滑动座23连接，滑动座23套设在固定座21的外侧，滑动座23可以在固定座21上进行上下滑动，滑动座23与伺服电机24连接，伺服电机24用于驱动滑动座23在固定座21上进行滑动，滑动座23带动升降架22进行上下运动，升降架22带动支架30上下运动，从而可以调节支架30及设置在支架30上的喷嘴阵列40距离样品表面的高度。在另一个实施例中，固定架20包括固定座21、升降架22和伺服电机24，固定座21上设置有滑轨，滑轨上设置有滑动块，升降架22的一端与旋转机构10连接，升降架22的另一端与滑轨连接，伺服电机24与滑动块连接。具体的，升降架22的一端开设有用于安装轴承12的安装孔，将轴承12安装在安装孔内后使得升降架22与旋转机构10连接，升降架22的另一端与滑轨上的滑动块连接，伺服电机24用于驱动滑动块在滑轨上进行滑动，滑动块带动升降架22进行上下运动，升降架22带动支架30上下运动，从而可以调节本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种扩散源涂覆装置，用于涂覆样品，其特征在于，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，所述旋转机构与所述固定架连接，所述支架与所述旋转机构连接，所述喷嘴阵列与所述支架连接，所述喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个所述喷嘴均设置于所述支架上，所述扩散源涂覆装置对所述样品进行涂覆时，所述旋转机构带动所述支架旋转，使设置在所述支架上的所述喷嘴旋转对所述样品进行扩散源涂覆。

【技术特征摘要】
1.一种扩散源涂覆装置，用于涂覆样品，其特征在于，包括旋转机构、固定架、支架和喷嘴阵列，所述旋转机构与所述固定架连接，所述支架与所述旋转机构连接，所述喷嘴阵列与所述支架连接，所述喷嘴阵列包括多个喷嘴，多个所述喷嘴均设置于所述支架上，所述扩散源涂覆装置对所述样品进行涂覆时，所述旋转机构带动所述支架旋转，使设置在所述支架上的所述喷嘴旋转对所述样品进行扩散源涂覆。2.根据权利要求1所述的扩散源涂覆装置，其特征在于，多个所述喷嘴中的部分所述喷嘴组成第一喷嘴组，另一部分所述喷嘴组成第二喷嘴组，所述第一喷嘴组中的多个所述喷嘴呈线性排列，所述第二喷嘴组中的多个所述喷嘴呈线性排列，所述第一喷嘴组与所述第二喷嘴组相互平行，所述第一喷嘴组中的所述喷嘴与所述第二喷嘴组中的所述喷嘴的位置交错。3.根据权利要求2所述的扩散源涂覆装置，其特征在于，所述第一喷嘴组中所述喷嘴的数量与所述第二喷嘴组中所述喷嘴的数量相等。4.根据权利要求2所述的扩散源涂覆装置，其特征在于，还包括供液泵和多个供液管路，各所述供液管路的一端均与所述供液泵连接，各所述供液管路的另一端分别与对应的所述喷嘴连接。5.根据权利要求4所述的扩散源涂覆装置，其特征在于，所述供...

【专利技术属性】
技术研发人员：张松，刘成法，张为国，刘超，陈寒，
申请(专利权)人：上海大族新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31