【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及显示
,尤其涉及一种阵列基板及其制作方法、显示装置及其触摸位置检测方法。
技术介绍
随着液晶显示技术的逐渐发展,其轻薄一体化逐渐受到消费者的欢迎。传统的内置触控显示装置需要在阵列基板中增加按压感应层,存在使阵列基板的厚度增加,不利于显示装置的轻薄化,需要额外在阵列基板上制作专门结构来进行触摸检测,结构较为复杂等问题。因此,业内亟需一种占用面板面积小、像素开口率高、可以应用于大尺寸面板,并且不增加阵列基板厚度,无需制作额外结构来进行触摸检测的阵列基板和显示装置。
技术实现思路
(一)要解决的技术问题为了解决现有技术存在的问题,本专利技术提供了一种阵列基板及其制作方法、显示装置及其触摸位置检测方法。(二)技术方案根据本专利技术的一个方面,提供了一种阵列基板,包括:交叉设置的多条X感应线3和多条Y感应线4,其中,在X感应线和Y感应线的多个交叉位置中,对应于至少一个交叉位置分别设置感应薄膜晶体管200;其中,所述感应薄膜晶体管的控制端102连接相应的所述X感应线3,所述感应薄膜晶体管的输出端106连接相应的所述Y感应线4;在所述感应薄膜晶体管的控制端102和输入端105之间形成压电材料层108,所述感应薄膜晶体管200被按压后所述压电材料层108产生形变,使得感应薄膜晶体管的输入端105相对于所述感应薄膜晶体管的控制端102产生感应电压。根据本专利技术的另一个方面,提供了一种阵列基板的制备方法,所述阵列基板包括多个像素单元,每一所述像素单元还包括:开关薄膜晶体管100,
感应薄膜晶体管200和所述开关薄膜晶体管100同为底栅结构; ...
【技术保护点】
一种阵列基板,其特征在于,包括:交叉设置的多条X感应线(3)和多条Y感应线(4),其中,在X感应线和Y感应线的多个交叉位置中,对应于至少一个交叉位置分别设置感应薄膜晶体管(200);其中,所述感应薄膜晶体管的控制端(102)连接相应的所述X感应线(3),所述感应薄膜晶体管的输出端(106)连接相应的所述Y感应线(4);在所述感应薄膜晶体管的控制端(102)和输入端(105)之间形成压电材料层(108),所述感应薄膜晶体管(200)被按压后所述压电材料层(108)产生形变,使得感应薄膜晶体管的输入端(105)相对于所述感应薄膜晶体管的控制端(102)产生感应电压。
【技术特征摘要】
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:交叉设置的多条X感应线(3)和多条Y感应线(4),其中,在X感应线和Y感应线的多个交叉位置中,对应于至少一个交叉位置分别设置感应薄膜晶体管(200);其中,所述感应薄膜晶体管的控制端(102)连接相应的所述X感应线(3),所述感应薄膜晶体管的输出端(106)连接相应的所述Y感应线(4);在所述感应薄膜晶体管的控制端(102)和输入端(105)之间形成压电材料层(108),所述感应薄膜晶体管(200)被按压后所述压电材料层(108)产生形变,使得感应薄膜晶体管的输入端(105)相对于所述感应薄膜晶体管的控制端(102)产生感应电压。2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,还包括多个像素单元,所述多个像素单元中的每一像素单元包括像素电极,所述感应薄膜晶体管(200)在所述阵列基板所在平面的正投影与所述像素电极在所述阵列基板所在平面的正投影相互错开。3.如权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,每一像素单元还包括:开关薄膜晶体管(100);所述感应薄膜晶体管(200)与所述开关薄膜晶体管(100)均为底栅型薄膜晶体管;或者均为顶栅型薄膜晶体管;所述感应薄膜晶体管(200)中的各层与所述开关薄膜晶体管(100)的相应层的材料和厚度相同。4.如权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管(100)和所述感应薄膜晶体管(200)均为底栅型薄膜晶体管;所述感应薄膜晶体管(200)包括:形成于所述阵列基板的衬底上的所述控制端(102);形成于所述控制端上的栅极绝缘层(103),所述栅极绝缘层(103)具有第一过孔;形成于所述栅极绝缘层上的有源层(107);形成于所述第一过孔内的压电材料层(108);形成于所述栅极绝缘层(103)上并搭接在所述有源层(107)上的输出端(106),以及形成于所述栅极绝缘层(103)上并搭接在所述有源层和压电材料层上的输入端(105)。5.如权利要求3所述的阵列基板,其特征在于,所述开关薄膜晶体管(100)和感应薄膜晶体管(200)均为顶栅型薄膜晶体管;所述感应薄膜晶体管(200)包括:形成于所述阵列基板的衬底上的输入端(105)、输出端(106)和有源层(107);形成于所述有源层、输入端和输出端上的栅极绝缘层(103),所述栅极绝缘层在与所述输入端对应的位置处具有第二过孔;形成于所述第二过孔内的所述压电材料层(108);形成于所述栅极绝缘层和所述压电材料层上的控制端(102);形成于控制端和栅极绝缘层上的层间沉积层(110),所述栅极绝缘层和所述层间沉积层(110)具有连通的第三过孔,输入端电极(112)、输出端电极(113)由所述第三过孔引出。6.如权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,还包括:多条栅线(1)和多条数据线(2),所述X感应线(3)和Y感应线(4)分别与所述栅线(1)和所述数据线(2)平行;所述多个像素单元分别位于所述栅线(1)和所述数据线(2)围成的区域,其中,每一所述像素单元对应于一个所述感应薄膜晶体管或者相邻的多个所述像素单元对应于一个所述感应薄膜晶体管。7.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述压电材料层(108)选用压电晶体、压电陶瓷、压电聚合物或压电陶瓷和压电聚合物的复合材料。8.一种阵列基板的制备方法,其特征在于,所述阵列基板包括多个像素单元,每一所述像素单元还包括:开关薄膜晶体管(100),感应薄膜晶体管(200)和所述开关薄膜晶体管(100)同为底栅结构;所述制备方法包括:形成所述感应薄膜晶体管和开关薄膜晶体管的控制端;形成压电材料层(108);形成所述感应薄膜晶体管和开关薄膜晶体管的输入端和输出端,使得所述压电材料层的一端接触所述感应薄膜晶体管的控制端(102),另一端接触所述感应薄膜晶体管的输入端(105)。9.如权利要求8所述的阵列基板的制备方法,其特征在于,所述形成所述感应薄膜晶体管和开关薄膜晶体管的控制端的步骤与形成压电材
\t料层(108)的步骤之间还包括:形成栅极绝缘层(103),并在栅极绝缘层与感应薄膜晶体管的控制端对应的位置处开设第一过孔;所述形成压电材料层(108)包括:在所述第一过孔处形成压电材料薄膜,并通过构图工艺得到图形化的各个感应薄膜晶体管的压电材料层(108):所述形成压电材料层(108)的步骤与所述形成感应薄膜晶体管和开关薄膜晶体管的输入端和输出端的步骤之间还包括:形成感应薄膜晶体管的...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐利燕,王俊伟,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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