半导体晶片清洗槽制造技术

技术编号:13426271 阅读:79 留言:0更新日期:2016-07-29 14:24
一种半导体晶片清洗槽,包括清洗槽本体,其特殊之处是:所述清洗槽本体侧面下部固设有支撑块,在清洗槽本体内部位于支撑块上设有镂空隔板,所述镂空隔板上设有晶片花篮,所述清洗槽本体内部位于镂空隔板下面设有搅拌轴,所述清洗槽本体上对应支撑块位置设置定位块。该半导体晶片清洗槽结构简单、成本低、使用方便,将晶片花篮放在镂空隔板上,利用搅拌轴上的搅拌杆使液体流动,整个清洗过程中晶片花篮静止,防止清洗过程晶片损坏,从而提高晶片的成品率,避免晶片二次污染。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
半导体晶片清洗槽,包括清洗槽本体,其特征是:所述清洗槽本体侧面下部固设有支撑块,在清洗槽本体内部位于支撑块上设有镂空隔板,所述镂空隔板上设有晶片花篮,所述清洗槽本体内部位于镂空隔板下面设有搅拌轴,所述清洗槽本体上对应支撑块位置设置定位块。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:谭鑫华冠男张华陈鹏
申请(专利权)人:锦州华昌光伏科技有限公司
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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