【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种LDMOS晶体管制作方法,其特征在于,该方法包括:在完成场氧化层FOX制作之后,在所述FOX所在的表面淀积一层多晶硅;对所述多晶硅进行刻蚀形成多晶硅栅极,并将所述多晶硅栅极与LDMOS晶体管漏极对应位置之间的多晶硅刻蚀形成N段多晶硅,其中,N为大于0的正整数;在制作隔离介质层后进行金属层淀积,并在刻蚀所述金属层形成栅极电极以及漏极电极的同时,在所述栅极电极与所述漏极电极之间形成M段金属,其中,M为大于0的正整数。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:杜蕾,
申请(专利权)人:北大方正集团有限公司,深圳方正微电子有限公司,
类型:发明
国别省市:北京;11
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