【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微米尺度(micro-scale)图案化结构,更具体地涉及用于制造微米尺度图案化结构的系统。
技术介绍
越来越需要用于在工业相关量下制造具有在从若干微米到厘米尺度的三维图案化的薄聚合物膜的系统。这样图案化的聚合物薄膜例如可用于光学应用(抗反射涂层和过滤器)和受控润湿应用(疏水和亲水应用)。存在很多当前利用拓扑在从数百纳米到微米范围内制造图案化薄膜的技术,包括滚动掩模光刻(由美国加利福尼亚州Pleasanton的Rolith,Inc.研发)、纳米压印光刻(美国德克萨斯州Austin的Molecular Imprints和瑞典Lund的Obducat)、全息光刻(美国马萨诸塞州Burlington的TelAztec LLC)、和液相沉积(位于德国慕尼黑Fraunhofer Institute的“Sharkskin coater”)。所有这些方法使用基于母版的方法来产生光阻剂膜中的结构,该结构随后用于动态生成玻璃中或可以被浮凸并使用UV光进行固化的薄聚合物膜中的结构。这些技术都不能在大面积版式中或以动态数字方式生成任意变化的图案。电流体动力(EHD)图案化是最新研发的技术,其包括通过利用在液体上的施加力和液体的表面张力的平衡来使液体聚合物膜的表面成型,将在模板上形成的微米或纳米结构电转印到薄聚合物膜上。表面不稳定性受范德华力和热力驱动,但典型地受到外力主宰(如果这些力存在的话)。在界面上引 ...
【技术保护点】
一种用于制造微米尺度图案化结构的系统,所述系统包括:第一传送器,所述第一传送器具有被约束为沿第一路径移动的第一表面;第二传送器,所述第二传送器具有被约束为沿第二路径移动的第二表面,所述第一路径和所述第二路径布置成使得在所述第一表面和所述第二表面之间限定的最小距离发生在间隙区域中;用于使所述第一传送器和所述第二传送器以匹配速度移动的装置,以使得所述第一表面的第一表面区域与所述第二表面的相应第二表面区域基本同时地经过所述间隙区域;用于将可固化液体薄膜设置在所述第一表面区域上的装置,以使得当所述第一表面区域定位在所述间隙区域上游时所述可固化液体薄膜的第一部分设置在所述第一表面区域上;用于在所述第一传送器和所述第二传送器之间产生电场的装置,以使得在所述第一区域通过所述间隙区域过程中设置在所述第一表面区域上的液体薄膜的所述第一部分经历电流体动力(EHD)图案化变形,从而经变形的第一部分形成具有微米尺度图案化形状的图案化液体特征;和用于固化所述图案化液体特征以形成具有所述微米尺度图案化形状的所述固体微米尺度图案化结构的装置。
【技术特征摘要】
2013.07.17 US 13/9448431.一种用于制造微米尺度图案化结构的系统,所述系统包括:
第一传送器,所述第一传送器具有被约束为沿第一路径移动的第一表
面;
第二传送器,所述第二传送器具有被约束为沿第二路径移动的第二表
面,所述第一路径和所述第二路径布置成使得在所述第一表面和所述第二
表面之间限定的最小距离发生在间隙区域中;
用于使所述第一传送器和所述第二传送器以匹配速度移动的装置,以
使得所述第一表面的第一表面区域与所述第二表面的相应第二表面区域
基本同时地经过所述间隙区域;
用于将可固化液体薄膜设置在所述第一表面区域上的装置,以使得当
所述第一表面区域定位在所述间隙区域上游时所述可固化液体薄膜的第
一部分设置在所述第一表面区域上;
用于在所述第一传送器和所述第二传送器之间产生电场的装置,以使
得在所述第一区域通过所述间隙区域过程中设置在所述第一表面区域上
的液体薄膜的所述第一部分经历电流体动力(EHD)图案化变形,从而经
变形的第一部分形成具有微米尺度图案化形状的图案化液体特征;和
用于固化所述图案化液体特征以形成具有所述微米尺度图案化形状
的所述固体微米尺度图案化结构的装置。
2.一种用于制造多个微米尺度图案化结构的系统,所述系统包括:
第一传送器,所述第一传送器具有被约束为沿第一路径移动的第一表
面;
第二传送器,所述第二传送器具有被约束为沿第二路径移动的第二表
面,所述第一路径和所述第二路径布置成使得在所述第一表面和所述第二
表面之间限定的最小距离发生在细长间隙区域中;
用于在所述细长间隙区域上游的点处将熔化聚合物薄膜设置在所述
第...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·M·约翰逊,A·R·沃尔克尔,J·S·帕施科维茨,
申请(专利权)人:帕洛阿尔托研究中心公司,
类型:发明
国别省市:美国;US
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