溅镀装置具备：处理室；基板保持器，其在前述处理室之中的处理空间以基板保持面保持基板；第1靶保持器，其将第1靶保持为前述第1靶的第1表面面向前述处理空间；以及第2靶保持器，其将第2靶保持为前述第2靶的第2表面面向前述处理空间；前述第1靶保...

本发明涉及成膜设备、控制设备以及成膜方法。根据本发明的成膜设备具有工艺腔室和设置在工艺腔室中并且形成粘合膜的处理单元。工艺腔室的内壁表面由对残留在工艺腔室中的气体或水(H<subgt;2</subgt;O)具有大的吸气效应的...

一种离子枪，具有：阳极；面对阳极的具有第一部分和第二部分的阴极；在第一部分和第二部分之间形成空间磁场的磁体。在阴极的第一部分和第二部分之间设置包括曲线部的环状间隙。在曲线部的第一部分和第二部分之间，磁体形成磁力线，该磁力线具有比间隙的截...

一种离子枪，具有：阳极；面对阳极的具有第一部分和第二部分的阴极；在第一部分和第二部分之间形成空间磁场的磁体。在阴极的第一部分和第二部分之间设置包括直线部和曲线部的环状间隙。在曲线部的第一部分和第二部分之间，磁体形成磁力线，该磁力线具有比...

本发明提出：可以改善树脂层和籽晶层之间的粘合性的层叠体；以及用于制造该层叠体的方法。层叠体依次具有基板、第一布线层、树脂层和第二布线层。第二布线层依次具有至少粘合层和籽晶层。籽晶层。籽晶层。

本发明涉及原子扩散接合法及接合结构体。利用形成于接合面的由氮化物构成的接合膜进行原子扩散接合。在真空容器内，在具有平滑面的2个基体各自的所述平滑面上形成由氮化物构成的接合膜，并且以形成于所述2个基体的所述接合膜彼此接触的方式使所述2个基...

本发明公开了电子生成装置和电离真空计。电子生成装置包括：灯丝；电源，被配置成向灯丝供应电力以便使灯丝发射电子；以及控制器，被配置成重复地检测与从电源供应到灯丝的电力具有相关性的值、通过使用检测到的多个值来确定灯丝的状态是否满足通知条件，...

本公开涉及堆叠结构、存储器装置和制造堆叠结构的方法。该堆叠结构包括铁电层和连接到铁电层的隧道势垒层。铁电层的主成分是氮化铝，隧道势垒层的主成分是氧化镁。隧道势垒层的主成分是氧化镁。隧道势垒层的主成分是氧化镁。

根据本发明的成膜设备具有工艺腔室和设置在工艺腔室中并且形成粘合膜的处理单元。工艺腔室的内壁表面由对残留在工艺腔室中的气体或水(H2O)具有大的吸气效应的物质形成。O)具有大的吸气效应的物质形成。O)具有大的吸气效应的物质形成。

等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；被电连接至第一平衡端子的第一电极；被电连接至第二平衡端子的第二电极；阻抗匹配电路；第一电源，经由阻抗匹配电路连接至巴伦，并被配...

本发明涉及等离子体处理装置。等离子体处理装置包括：巴伦，具有第一不平衡端子、第二不平衡端子、第一平衡端子和第二平衡端子；被接地的真空容器；第一电极，被电连接至第一平衡端子；第二电极，被电连接至第二平衡端子；以及接地电极，被布置在真空容器...

该电离真空计包括阳极、阴极和电磁波源。阴极包括第一阴极板，该第一阴极板包括：阳极通过的贯通孔；和储存电磁波源的储存部。第一阴极板在储存部和贯通孔之间包括允许由电磁波源产生的电磁波通过的通路。波源产生的电磁波通过的通路。波源产生的电磁波通...

X射线产生装置具备X射线产生部、收纳所述X射线产生部的收纳容器、以及配置于所述收纳容器的内表面与所述X射线产生部的至少一部分之间的绝缘部件。所述绝缘部件包括第一绝缘构件和第二绝缘构件。所述第一绝缘构件包括具有第一面的第一部分和具有第二面...

X射线产生装置具备X射线产生管、电压供给部、收纳容器和绝缘构件，所述X射线产生管具有阴极以及阳极，所述阴极包含沿第1方向发射电子的电子发射部，所述阳极包含通过与自所述电子发射部放射的电子碰撞而产生X射线的靶，所述电压供给部借助导电线向所...

电离真空计包括棒状的阳极和包括具有所述阳极通过的贯通孔的阴极板的阴极。在沿着所述阳极的轴向的剖面中的所述贯通孔的形状包括夹在2个凸部之间的凹部。括夹在2个凸部之间的凹部。括夹在2个凸部之间的凹部。

本发明涉及通过由形成于接合面的氧化物构成的接合膜进行化学键合。在真空容器内，在具有平滑面的2个基体各自的所述平滑面上形成非晶氧化物薄膜，并且以形成于所述2个基体上的所述非晶氧化物薄膜彼此接触的方式重叠所述2个基体，由此在所述非晶氧化物薄...

负载锁定装置具备负载锁定室和在所述负载锁定室中保持基板的基板保持构造。所述基板保持构造具有与所述基板相向的相向面，并构成为能够使气体在所述基板与所述相向面之间的空间流动。在由所述基板保持构造保持所述基板的状态下，位于比所述相向面的外缘靠...

负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配...

X射线产生装置设置有：电子枪；以及阳极，所述阳极具有靶材，所述靶材当与来自所述电子枪的电子碰撞时产生X射线。所述电子枪包括具有电子发射部的阴极、引出从所述电子发射部发射的电子的引出电极、和对由所述引出电极引出的电子进行聚焦的聚焦电极。所...

X射线产生装置包括：X射线产生管，包括阴极和阳极，该阴极具有在第一方向上发射电子的电子发射部，该阳极具有由于从电子发射部发射的电子与靶材碰撞而产生X射线的靶材；电压供应部，经由导电线向X射线产生管供应电压；储存容器，包括第一部分、第二部...