负载锁定装置制造方法及图纸

负载锁定装置具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体。所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。所述泵与所述开口连接。所述泵与所述开口连接。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】负载锁定装置


[0001]本专利技术涉及一种负载锁定装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中公开了一种负载锁定装置，该负载锁定装置具有：真空容器、在真空容器中进行升降的基板台、以及通过真空容器的底面中的配置于基板台的下方的开口与真空容器连接的高真空泵。
[0003]在配置有通过真空容器的底面中的配置于基板台的下方的开口与真空容器连接的泵的结构中，由泵产生的颗粒或者被泵吸引并被泵弹回的颗粒会飞扬，到达基板的上方侧的空间，可能附着于基板。这样的颗粒会引起使用基板制造的物品的制造不良。若为了抑制颗粒向基板的上方空间飞扬而减小基板台的侧面与真空容器的内表面的间隙，则可能会降低泵的排气效率。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开平11
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217670号公报

技术实现思路

[0007]专利技术所要解决的课题
[0008]本专利技术提供一种有利于减少颗粒从泵向基板的上方空间的飞扬的技术。
[0009]本专利技术的一方面涉及负载锁定本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种负载锁定装置，其特征在于，具备：负载锁定室，所述负载锁定室具有与传递室连接的第一搬运口和与装载室连接的第二搬运口，所述传递室与减压处理装置连接；基板保持件，所述基板保持件在所述负载锁定室中保持基板；驱动机构，所述驱动机构以使所述基板保持件升降的方式配置于所述负载锁定室的下方，并经由连结构件与所述基板保持件连结；延长室，所述延长室从所述负载锁定室的下部向侧方延长；以及泵，所述泵配置于所述延长室的下方，并经由所述延长室排出所述负载锁定室的气体，所述延长室具有在从所述基板保持件的铅垂下方偏离的位置具有开口的底面，所述泵与所述开口连接。2.根据权利要求1所述的负载锁定装置，其特征在于，所述负载锁定装置还具备气体导入部，所述气体导入部配置于通过所述第一搬运口将所述基板搬运至所述传递室的状态下的所述基板保持件与所述传递室之间的路径的上方。3.根据权利要求2所述的负载锁定装置，其特征在于，所述第一搬运口的高度比所述第二搬运口的高度低。4.根据权利要求2或3所述的负载锁定装置，其特征在于，所述气体导入部包括使气体分散的气体分散部，所述气体分散部配置于与所述第二搬运口相向的位置。5.根据权利要求2～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述第二搬运口的截面积。6.根据权利要求2～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述第二搬运口的截面积的1/2。7.根据权利要求1～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述开口的截面积。8.根据权利要求1～4中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的面积小于所述负载锁定室与所述延长室之间的连接部分的截面积。9.根据权利要求1～8中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的高度方向的尺寸大于所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的尺寸。10.根据权利要求1～8中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述基板保持件的高度方向的尺寸为所述基板保持件的侧面与所述负载锁定室的内侧面的间隙的最大尺寸的3倍以上且115倍以下。11.根据权利要求1～10中任一项所述的负载锁定装置，其特征在于，所述延长室的高度方向的尺寸大于所述基板保持件的高度方向的尺寸。12.根据权利要求1～11中任一项所述的负载锁定装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：三浦顺，福田直哉，熊谷修二，高城信二，户田哲郎，下川英利，根岸智，野村聪志，添田纯也，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：