冠礼控制科技上海有限公司专利技术

冠礼控制科技上海有限公司共有51项专利

  • 本实用新型涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备,所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1),所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2),所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动...
  • 本发明涉及单批次四花篮同步运行的全自动湿制程设备,所述机械臂安装调整机构(2)固定连接防腐骨架及外壳(1),所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)、全自动机械臂模组Ⅱ(4)配合连接机械臂安装调整机构(2),所述全自动机械臂模组Ⅰ(3)左右运动覆盖...
  • 一种高精度管道防电磁波干扰装置
    本实用新型涉及一种高精度管道防电磁波干扰装置,包括多个电磁屏蔽套件构成,所述每个电磁屏蔽套件包括电磁屏蔽套(1)、锁紧卡箍(2)、快接套口(4)及铜网扁平线(6),所述电磁屏蔽套(1)采用不锈钢与铜编织网袋结构,所述电磁屏蔽套(1)的两...
  • 一种抽气式溶液桶开盖器
    本实用新型涉及一种抽气式溶液桶开盖器,包括保护壳体(2)、旋转把手(4)、传动杆(5)、开盖锁孔(8)及抽风机,所述保护壳体(2)为下端敞口的密封腔体结构,所述保护壳体的下端面设有底部密封圈(9),所述保护壳体(2)上端面中心部位密封连...
  • 一种三轴全自动机械手臂机构
    本实用新型涉及一种三轴全自动机械手臂机构,包括左右运动机构、上下运动机构、夹持机构、花篮及载具、Cassette侦测部件,花篮及载具连接在夹持机构上,夹持机构连接在上下运动机构上,上下运动机构连接在左右运动机构上,左右运动机构顶部安装有...
  • 一种研磨液混合供应设备
    本实用新型涉及一种研磨液混合供应设备,包括箱体,箱体顶部安装有抽风装置、洁净送风装置,箱体内设有溶液桶一、溶液桶二、混合桶槽、水气混合罐体,混合桶槽底部设有底部电子称,底部电子称通过线路连接工业电脑,混合桶槽中设有搅拌桨、搅拌管,搅拌桨...
  • 一种有机溶剂清洗槽
    本实用新型涉及一种有机溶剂清洗槽,包括零件放置架、上下运动机构、内部清洗槽以及外部加热槽,零件放置架顶端连接上下运动机构,并在上下运动机构的带动下做上下直线运动,零件放置架底端伸入内部清洗槽,内部清洗槽上开设有内部清洗槽排出孔、内部清洗...
  • 一种湿式尾气处理装置
    本实用新型涉及一种湿式尾气处理装置,包括箱体,箱体顶端左右两侧分别设有工艺废气进口、气体排放口,箱体内工艺废气进口下方依次设置有喷淋口、集尘分水隔板、汇流分水板,箱体内气体排放口下方依次设置有气液分离装置、隔板一、喷淋头二、PP填料球、...
  • 一种NMP废气回收系统
    本实用新型涉及一种NMP废气回收系统,包括塔,塔下部设有NMP废气进口,塔上部设有NMP废气出口,塔内中部装设有废气吸附单元,NMP废气出口通过管道连接气液分离器进气口,气液分离器底部NMP液体出口连接过滤装置,过滤装置出口连接不锈钢循...
  • 本实用新型涉及半导体硅片研磨技术领域,具体地说是一种硅片研磨液小型氮气加湿装置,包括设备柜体,设备柜体内设置有抽风装置、超纯水缓冲罐、氮气加湿器灌、热水器传感器、氮气冷凝器、湿度传感器、氮气过滤器,抽风装置通过管道连接超纯水缓冲罐,超纯...
  • 本实用新型涉及一种改进型硅片自旋转及振荡机构,包括上下振荡机构和硅片自旋转机构,上下振荡机构包括上下振荡电机减速机、凸轮机构、偏摆轴承传动机构、线性滑轨,上下振荡电机减速机输出端连接凸轮机构,凸轮机构连接偏摆轴承传动机构,偏摆轴承传动机...
  • 研磨液混酸稀释系统
    本实用新型涉及研磨浆料供应设备技术领域,具体地说是研磨液混酸稀释系统,包括混酸桶槽(1),混酸桶槽(1)设置有两个,混酸桶槽(1)内设置有搅拌桨(2),搅拌桨(2)连接在马达(3)的输出端,混酸桶槽(1)上装设有电子称(4),混酸桶槽(...
  • 本实用新型涉及一种电子级化学品分装设备,属于化学品充填设备技术领域,包括设备主体(1),设备主体(1)底部设有滚轮输送线(7)、电子称平台(9),滚轮输送线(7)与变频电机(15)的输出端相连,电子称平台(9)设于滚轮输送线(7)下方,...
  • 本实用新型涉及化学品供应设备技术领域,具体地说是一种改进型电子级化学品供应桶放置平台,包括滚轮平台主体(3)、滚轮(5)、顶升滚轮(6)及电子称主体(1),滚轮平台主体(3)上端连接有端盖(4),端盖(4)之间安装有滚轮轴(10),滚轮...
  • 本实用新型涉及酮酸供应设备技术领域,具体地说是一种酮酸供应温度控制系统,包括酮酸桶槽(1),酮酸桶槽(1)外部设计有盘管(2),盘管(2)一端通过冰水控制比例调节阀(3)连接冰水供水管(4),盘管(2)另一端连接冰水回水管(5),酮酸桶...
  • 本实用新型涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种改进型HF升降温系统,包括安装有化学品通道的热交换箱体(1),热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2),半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3),半导体制冷片(2...
  • 一种电子式HF升降温系统
    本发明涉及半导体制造技术领域,具体地说是一种电子式HF升降温系统,包括安装有化学品通道的热交换箱体(1),热交换箱体(1)左右两侧分别设有半导体制冷片(2),半导体制冷片(2)与热交换箱体(1)之间设有导热板(3),半导体制冷片(2)另...
  • 本实用新型涉及一种剥离液废液再生剥离液装置,包括一段精馏塔(1)、二段精馏塔(2)、三段精馏塔(3)和薄膜蒸发器(4),一段精馏塔(1)出液口通过管道连接泵浦一(5),泵浦一(5)出液口通过管道连接薄膜蒸发器(4),薄膜蒸发器(4)出气...
  • 本实用新型涉及一种ITO草酸粉末稀释系统,包括稀释桶槽(1)以及盛有ITO草酸粉末(6)的储存容器(7),稀释桶槽(1)上设有ITO草酸粉末吸入口和纯水输入口,稀释桶槽(1)上ITO草酸粉末吸入口处装有真空泵(4),真空泵(4)通过管道...
  • 通过硅片自旋转及振荡机构改善蚀刻率的测试方法
    本发明涉及一种通过硅片自旋转及振荡机构改善蚀刻率的测试方法,包括以下步骤:1)将蚀刻制程槽补液到规定液位,进行制程槽化学液加热,加热时保证化学液在循环管路上利用石英在线式加热器进行加热;2)从25片硅片中随机抽取6片,在每一片上标记13...