本实用新型涉及一种单晶圆搬运装置，包括CST进料单元，CST进料单元上置有用于放置晶圆的晶圆载体，晶圆载体由水平输送模组运送至提升工位，并经提升机构提升至晶圆夹爪转台单元的取货位置，晶圆夹爪转台单元包括转台和晶圆框边夹持气爪，晶圆框边夹...

本实用新型涉及一种研磨液回收再利用系统，包括废液收集处理装置组合体，废液收集处理装置组合体内部装设有PFA过滤膜组合体，废液收集处理装置组合体顶部的压力测试口处装设有压力传感器，废液收集处理装置组合体底端设有化学品进液口和化学品出液口，...

本实用新型涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与...

本实用新型涉及一种风囊定容器微量可调系统，包括风囊定容器，风囊定容器包括风囊定容器主体，风囊定容器主体顶端盖设有定容器本体盖，风囊定容器内设有螺杆本体，螺杆本体外围套设有风囊伸缩管主体，定容器本体盖上开设有化学品进液口、进气口以及泄漏检...

本实用新型涉及一种通用性测试平台，包括测试平台骨架以及外壳，测试平台骨架一侧设有电控区，电控区上方设有控制面板，测试平台骨架内前部设有管路区，管路区上方设有气路区，测试平台骨架前部顶面设置有操作平台，测试平台骨架内后部设有测试桶槽，测试...

本实用新型涉及一种新型研磨液供应系统，包括原液桶A、原液桶B、混合桶A、混合桶B、VMB阀箱，原液桶A、原液桶B通过管道一分别连接泵A、泵B，泵A、泵B通过管道二连接管道四，并通过管道四分别连接混合桶A、混合桶B，混合桶A、混合桶B的出...

本发明公开了一种晶圆旋转装置，所述晶圆设置在晶圆框架中构成待旋转清洗的组合结构，所述装置包括：驱动机构，提供一自转轴；支撑盘，所述支撑盘的底部中心固定连接在所述自转轴上，所述支撑盘的顶部支撑所述组合结构，所述顶部设置有高度低于中心环的外...

本发明公开了一种排液气缸，所述排液气缸包括：气缸主体，所述气缸主体包括有能够上下移动的轴，所述轴的一端用来连接晶圆清洗装置中的排液收集机构，所述轴中空，所述轴的顶端与所述排液收集机构的底部连通；以及承接主体，所述承接主体与所述轴的底端连...

本发明涉及一种反应槽内晶圆组分离装置，包括由下至上依次布置在立柱直线运动单元上的晶圆组运动平台、载具运动平台、晶圆组夹持单元、晶圆组导向单元，凸轮连杆组、平台联动锁定单元安装于立柱直线运动单元两侧，晶圆组运动平台、载具运动平台分别与凸轮...

本实用新型涉及一种二甲基乙酰胺回收系统，包括塔体，塔体下部设有DMAC废液入口，塔体中部设置有废气吸附单元，塔体上部设有DMAC废气出口，DMAC废气出口通过管道连接气液分离器，气液分离器的出液口通过管道连接过滤装置，过滤装置的出液口通...

本实用新型涉及一种200L桶自动充填设备，包括间隔布置的开桶盖区域、充填区域、锁盖区域，三个区域内前部穿设有桶输送台，桶输送台将200L桶分别输送至三个区域，每个区域内前侧设有从动轮限位机构，后侧设有主动轮限位机构和桶盖输送带，桶盖输送...

本实用新型涉及一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括壳体，壳体通过固定支架支撑，壳体顶部的进风口处设置有高效过滤器，壳体内底部设有层流板，层流板为均匀多孔结构，壳体内侧壁处设置有抽风盒，层流板的出风口与抽风盒进风口相连，抽风盒的出风口连接有抽...

本实用新型涉及一种铜酸溶液混合系统，包括单酸桶槽、单酸泵浦、混合桶槽、循环泵浦，混合桶槽顶部设有单酸吸入口和纯水输入口，单酸吸入口通过管道连接单酸泵浦，单酸泵浦通过管道连接单酸桶槽，纯水输入口通过管道连接循环泵浦，循环泵浦通过管道连接储...

本实用新型涉及一种三步夹持晶圆定位机构，包括安装地板，安装地板上安装有单边夹持驱动器、升降驱动器，单边夹持驱动器设置有两组，两组单边夹持驱动器分别设置在升降驱动器的左右两侧，单边夹持驱动器的驱动端安装有竖直连接板，竖直连接板顶端连接有多...

本实用新型涉及一种双动力自动化晶圆搬运机构，包括骨架固定座、皮带驱动机构、丝杆驱动机构、升降机构、回转机构和伸缩取片机构，皮带驱动机构、丝杆驱动机构均安装在骨架固定座上，升降机构通过升降机构固定底座安装在皮带驱动机构和丝杆驱动机构上，并...

本发明涉及一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括壳体，壳体通过固定支架支撑，壳体顶部的进风口处设置有高效过滤器，壳体内底部设有层流板，层流板为均匀多孔结构，壳体内侧壁处设置有抽风盒，层流板的出风口与抽风盒进风口相连，抽风盒的出风口连接有抽风管...

本实用新型涉及一种电子级化学药液槽罐车充填设备，氮气管出口端通过管道依次连接氮气管路压力传感器、氮气管路传感器、氮气加压阀门、单向阀门、氮气过滤器、氮气调压阀门及氮气源，出液管出口端管道连接接液公头，接液公头通过接液公头固定卡配合连接接...

本实用新型涉及一种防呆型化学桶快速连接接头，包括出液管、出液接头、氮气补气接头、固定旋转轴、固定密封盖、桶上接头及汲取管，所述出液管密封连接出液接头，所述出液接头上设有氮气补气接头，所述出液接头密封连接固定旋转轴，所述固定旋转轴密封连接...

本实用新型涉及一种电子级化学品桶清洗设备，包括桶本体，桶本体顶部安装有高效空气过滤器，桶本体内部设有桶清洗腔体一、桶清洗腔体二，桶清洗腔体一、桶清洗腔体二后方均设有抽风管道，抽风管道与抽风口连通，桶清洗腔体一内上部安装有桶外清洗喷管一，...

本实用新型涉及一种用于湿制程设备的花篮及晶圆全自动转运传输机构，包括单花篮直立式旋干机、防腐骨架、电缸承载机构、转向定位机构、花篮夹持机构、花篮承载机构，单花篮直立式旋干机通过旋干机角度调整脚安装在防腐骨架上，单花篮直立式旋干机前侧设置...