一种高纯无水氢氟酸取样设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括壳体，壳体通过固定支架支撑，壳体顶部的进风口处设置有高效过滤器，壳体内底部设有层流板，层流板为均匀多孔结构，壳体内侧壁处设置有抽风盒，层流板的出风口与抽风盒进风口相连，抽风盒的出风口连接有抽风管，高效过滤器进入的风经层流板扰流后通过抽风盒和抽风管形成空气循环回路，壳体内置有冰水盒，取样瓶置于冰水盒内，取样瓶的取样口通过进液管道依次连接取样阀门、进液接头，取样阀门设置在壳体外部，高纯无水氢氟酸通过进液接头、取样阀门、进液管道进入取样瓶中；本实用新型专利技术大幅度提高了取样环境的洁净度，能够防止取样操作中污染样品，同时最大程度减少了废气对人员的伤害。

A kind of high purity anhydrous hydrofluoric acid sampling equipment

【技术实现步骤摘要】
一种高纯无水氢氟酸取样设备[
]本技术涉及化工设备
，具体地说是一种高纯无水氢氟酸取样设备。[
技术介绍
]芯片、液晶面板等行业制造流程越发要求精细化、高性能化。在上述行业生产中需要用到高纯氢氟酸，目前高纯氢氟酸制作工艺为将无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的无水氢氟酸经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下(CLASS100)进行灌装得到最终产品——高纯氢氟酸。其中，在工艺制程中要对无水氢氟酸进行多次取样，以便更好的调整工艺参数。无水氢氟酸取样设备需要满足取样环境保持在高洁净等级，取样废气需要处理，更加安全和易于操作。然而，目前高纯无水氢氟酸设备多数移植工业级氢氟酸取样样式，大多采用敞开式取样，没有对空间洁净做出考虑，对取样空间的环境不做控制，因为污染物对工业级氢氟酸来说没有高纯氢氟酸有着严格的要求。另外，现有取样是对安全性考虑不够，废气没有做处理，因为无水氢氟酸的温度高于5℃时候易于挥发，现有设备没有对挥发后的酸气进行处理，易于造成安全风险。同时，取样瓶取样时采用敞开式设计，污染物容易污染样品，且取样操作不规范，易于造成危险。[
技术实现思路
]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种高纯无水氢氟酸取样设备，大幅度提高了取样环境的洁净度，能够防止取样操作中污染样品，同时最大程度减少了废气对人员的伤害。为实现上述目的设计一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括高效过滤器1、壳体2、固定支架4、抽风管5、进液接头6、取样阀门7、进液管道8、层流板9、抽风盒10、冰水盒12、取样瓶17，所述壳体2为中空的密封壳体，所述壳体2下方设有固定支架4且通过固定支架4支撑，所述壳体2顶部开设有进风口，所述进风口处设置有高效过滤器1，所述壳体2内底部设有层流板9，所述层流板9为均匀多孔结构，所述壳体2内侧壁处设置有抽风盒10，所述层流板9的出风口与抽风盒10进风口相连，所述抽风盒10的出风口连接有抽风管5，所述高效过滤器1进入的风经层流板9扰流后通过抽风盒10和抽风管5形成空气循环回路，所述壳体2内置有冰水盒12，所述取样瓶17置于冰水盒12内，所述取样瓶17的取样口通过进液管道8依次连接取样阀门7、进液接头6，所述取样阀门7设置在壳体2外部，所述进液接头6设置在壳体2顶部，所述高纯无水氢氟酸通过进液接头6、取样阀门7、进液管道8进入取样瓶17中。进一步地，所述层流板9内设有层流通道，所述层流板9设置有两层，每层层流板9采用厚度为6毫米的聚丙烯板制成，所述层流板9的上下间隔距离为15毫米，每层层流板9上均布有间距为20毫米、直径为5毫米的通风孔。进一步地，所述壳体2正面装设有取样门3，所述取样门3采用透明聚氯乙烯制成，所述取样门3用于观察取样瓶17内液位。进一步地，所述取样瓶17的瓶口装有取样瓶接头16，所述取样瓶接头16上设有快速接头一18和快速接头二19，所述快速接头一18与进液管道8衔接，所述快速接头二19与取样排气管11衔接，所述取样排气管11另一端接入抽风盒10。进一步地，所述取样瓶17通过取样安装支架15安装在壳体2内，所述取样瓶接头16中部设有一圈凹槽20，所述取样安装支架15上开设有与取样瓶接头16凹槽20相配合的U型槽21，所述取样瓶17通过取样瓶接头16卡入取样安装支架15。进一步地，所述冰水盒12放置在冰块盒滑轨13上，所述冰块盒滑轨13高于取样门3下部门框，所述冰水盒12沿冰块盒滑轨13推入壳体2内。进一步地，所述壳体2底部开设有排液口，所述排液口处安装有排液阀门14。进一步地，所述冰水盒12中置有冰块，所述冰块的高度高于取样瓶17的2/3高度。本技术同现有技术相比，具有如下优点：(1)本技术通过合理的空气循环设计和设定，大幅度提高了内部的洁净环境，使得取样环境在一个可控的环境中操作，打开取样时取样瓶操作中隔绝了大部分污染，防止污染样品；(2)本技术密闭的取样瓶接头设定和取样安装支架设计使得取样时隔绝污染物，取样时的废气也会顺利排出，不会造成产品污染或者废气污染环境；(3)本技术合理的冰水盒设计拿取方便，取样时候易于观察，取样瓶的温度可以得到保证；(4)本技术壳体密闭，取样瓶密闭，双重控制可以最大程度的减少废气对人员的伤害，值得推广应用。[附图说明]图1是本技术的外部结构示意图；图2是本技术的内部结构示意图；图3是本技术取样瓶处的结构示意图；图中：1、高效过滤器2、壳体3、取样门4、固定支架5、抽风管6、进液接头7、取样阀门8、进液管道9、层流板10、抽风盒11、取样排气管12、冰水盒13、冰块盒滑轨14、排液阀门15、取样安装支架16、取样瓶接头17、取样瓶18、快速接头一19、快速接头二20、凹槽21、U型槽。[具体实施方式]下面结合附图对本技术作以下进一步说明：如附图所示，本技术提供了一种高纯无水氢氟酸取样设备，包括高效过滤器1、壳体2、固定支架4、抽风管5、进液接头6、取样阀门7、进液管道8、层流板9、抽风盒10、冰水盒12、取样瓶17，壳体2为中空的密封壳体，壳体2下方设有固定支架4且通过固定支架4支撑，壳体2顶部开设有进风口，进风口处设置有高效过滤器1，壳体2内底部设有层流板9，层流板9为均匀多孔结构，壳体2内侧壁处设置有抽风盒10，层流板9的出风口与抽风盒10进风口相连，抽风盒10的出风口连接有抽风管5，高效过滤器1进入的风经层流板9扰流后通过抽风盒10和抽风管5形成空气循环回路，壳体2内置有冰水盒12，取样瓶17置于冰水盒12内，取样瓶17的取样口通过进液管道8依次连接取样阀门7、进液接头6，取样阀门7设置在壳体2外部，进液接头6设置在壳体2顶部，高纯无水氢氟酸通过进液接头6、取样阀门7、进液管道8进入取样瓶17中；壳体2正面装设有取样门3，取样门3采用透明聚氯乙烯制成，取样门3用于观察取样瓶17内液位，壳体2底部开设有排液口，排液口处安装有排液阀门14。其中，层流板9内设有层流通道，层流板9设置有两层，每层层流板9采用厚度为6毫米的聚丙烯板制成，层流板9的上下间隔距离为15毫米，每层层流板9上均布有间距为20毫米、直径为5毫米的通风孔；取样瓶17的瓶口装有取样瓶接头16，取样瓶接头16上设有快速接头一18和快速接头二19，快速接头一18与进液管道8衔接，快速接头二19与取样排气管11衔接，取样排气管11另一端接入抽风盒10。取样瓶17通过取样安装支架15安装在壳体2内，取样瓶接头16中部设有一圈凹槽20，取样安装支架15上开设有与取样瓶接头16凹槽20相配合的U型槽21，取样瓶17通过取样瓶接头16卡入取样安装支架15。冰水盒12放置在冰块盒滑轨13上，冰块盒滑轨13高于取样门3下部门框，冰水盒12沿冰块盒滑轨13推入壳体2内；冰水本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：包括高效过滤器(1)、壳体(2)、固定支架(4)、抽风管(5)、进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)、层流板(9)、抽风盒(10)、冰水盒(12)、取样瓶(17)，所述壳体(2)为中空的密封壳体，所述壳体(2)下方设有固定支架(4)且通过固定支架(4)支撑，所述壳体(2)顶部开设有进风口，所述进风口处设置有高效过滤器(1)，所述壳体(2)内底部设有层流板(9)，所述层流板(9)为均匀多孔结构，所述壳体(2)内侧壁处设置有抽风盒(10)，所述层流板(9)的出风口与抽风盒(10)进风口相连，所述抽风盒(10)的出风口连接有抽风管(5)，所述高效过滤器(1)进入的风经层流板(9)扰流后通过抽风盒(10)和抽风管(5)形成空气循环回路，所述壳体(2)内置有冰水盒(12)，所述取样瓶(17)置于冰水盒(12)内，所述取样瓶(17)的取样口通过进液管道(8)依次连接取样阀门(7)、进液接头(6)，所述取样阀门(7)设置在壳体(2)外部，所述进液接头(6)设置在壳体(2)顶部，所述高纯无水氢氟酸通过进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)进入取样瓶(17)中。/n...

【技术特征摘要】
1.一种高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：包括高效过滤器(1)、壳体(2)、固定支架(4)、抽风管(5)、进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)、层流板(9)、抽风盒(10)、冰水盒(12)、取样瓶(17)，所述壳体(2)为中空的密封壳体，所述壳体(2)下方设有固定支架(4)且通过固定支架(4)支撑，所述壳体(2)顶部开设有进风口，所述进风口处设置有高效过滤器(1)，所述壳体(2)内底部设有层流板(9)，所述层流板(9)为均匀多孔结构，所述壳体(2)内侧壁处设置有抽风盒(10)，所述层流板(9)的出风口与抽风盒(10)进风口相连，所述抽风盒(10)的出风口连接有抽风管(5)，所述高效过滤器(1)进入的风经层流板(9)扰流后通过抽风盒(10)和抽风管(5)形成空气循环回路，所述壳体(2)内置有冰水盒(12)，所述取样瓶(17)置于冰水盒(12)内，所述取样瓶(17)的取样口通过进液管道(8)依次连接取样阀门(7)、进液接头(6)，所述取样阀门(7)设置在壳体(2)外部，所述进液接头(6)设置在壳体(2)顶部，所述高纯无水氢氟酸通过进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)进入取样瓶(17)中。


2.如权利要求1所述的高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：所述层流板(9)内设有层流通道，所述层流板(9)设置有两层，每层层流板(9)采用厚度为6毫米的聚丙烯板制成，所述层流板(9)的上下间隔距离为15毫米，每层层流板(9)上均布有间距为20毫米、直径为5毫米的通风孔。


3.如权利要求2所述的高纯无水氢氟酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛贝贝，胡厚福，简建至，郭家宏，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31