【技术实现步骤摘要】
一种高纯无水氢氟酸取样设备[
]本技术涉及化工设备
，具体地说是一种高纯无水氢氟酸取样设备。[
技术介绍
]芯片、液晶面板等行业制造流程越发要求精细化、高性能化。在上述行业生产中需要用到高纯氢氟酸，目前高纯氢氟酸制作工艺为将无水氢氟酸经化学预处理后，进入精馏塔通过精馏操作，得到的无水氢氟酸经冷却后，在吸收塔中用超纯水吸收，并采用控制喷淋密度、气液比等方法使高纯氢氟酸进一步纯化，随后经0.2μm以下超滤工序，最后在密闭洁净环境条件下(CLASS100)进行灌装得到最终产品——高纯氢氟酸。其中，在工艺制程中要对无水氢氟酸进行多次取样，以便更好的调整工艺参数。无水氢氟酸取样设备需要满足取样环境保持在高洁净等级，取样废气需要处理，更加安全和易于操作。然而，目前高纯无水氢氟酸设备多数移植工业级氢氟酸取样样式，大多采用敞开式取样，没有对空间洁净做出考虑，对取样空间的环境不做控制，因为污染物对工业级氢氟酸来说没有高纯氢氟酸有着严格的要求。另外，现有取样是对安全性考虑不够，废气没有做处理，因为无水氢氟酸的温度高于5℃时候易于挥...
【技术保护点】
1.一种高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：包括高效过滤器(1)、壳体(2)、固定支架(4)、抽风管(5)、进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)、层流板(9)、抽风盒(10)、冰水盒(12)、取样瓶(17)，所述壳体(2)为中空的密封壳体，所述壳体(2)下方设有固定支架(4)且通过固定支架(4)支撑，所述壳体(2)顶部开设有进风口，所述进风口处设置有高效过滤器(1)，所述壳体(2)内底部设有层流板(9)，所述层流板(9)为均匀多孔结构，所述壳体(2)内侧壁处设置有抽风盒(10)，所述层流板(9)的出风口与抽风盒(10)进风口相连，所述抽风盒(10)的出风口连接有抽...
【技术特征摘要】
1.一种高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：包括高效过滤器(1)、壳体(2)、固定支架(4)、抽风管(5)、进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)、层流板(9)、抽风盒(10)、冰水盒(12)、取样瓶(17)，所述壳体(2)为中空的密封壳体，所述壳体(2)下方设有固定支架(4)且通过固定支架(4)支撑，所述壳体(2)顶部开设有进风口，所述进风口处设置有高效过滤器(1)，所述壳体(2)内底部设有层流板(9)，所述层流板(9)为均匀多孔结构，所述壳体(2)内侧壁处设置有抽风盒(10)，所述层流板(9)的出风口与抽风盒(10)进风口相连，所述抽风盒(10)的出风口连接有抽风管(5)，所述高效过滤器(1)进入的风经层流板(9)扰流后通过抽风盒(10)和抽风管(5)形成空气循环回路，所述壳体(2)内置有冰水盒(12)，所述取样瓶(17)置于冰水盒(12)内，所述取样瓶(17)的取样口通过进液管道(8)依次连接取样阀门(7)、进液接头(6)，所述取样阀门(7)设置在壳体(2)外部，所述进液接头(6)设置在壳体(2)顶部，所述高纯无水氢氟酸通过进液接头(6)、取样阀门(7)、进液管道(8)进入取样瓶(17)中。
2.如权利要求1所述的高纯无水氢氟酸取样设备，其特征在于：所述层流板(9)内设有层流通道，所述层流板(9)设置有两层，每层层流板(9)采用厚度为6毫米的聚丙烯板制成，所述层流板(9)的上下间隔距离为15毫米，每层层流板(9)上均布有间距为20毫米、直径为5毫米的通风孔。
3.如权利要求2所述的高纯无水氢氟酸...
【专利技术属性】
技术研发人员：薛贝贝，胡厚福，简建至，郭家宏，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。