一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，包括箱体以及穿过箱体内前部的电动滚筒线，箱体前侧设置有触摸屏操作面板和充填工位，箱体内后部设置有仪电控制室，仪电控制室侧面设有相机定位显示屏，仪电控制室与相机定位显示屏电连接，箱体内顶部设置有自动锁盖工位，电动滚筒线将桶输送至充填工位对应的桶区域，充填工位处装设有抱桶转桶机构，充填工位上方布置有六轴机械手臂，自动锁盖工位处安装有自动锁盖机构，自动锁盖机构上安装有精定位相机和粗定位相机；本实用新型专利技术同现有技术相比，解决了传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合由人工完成操作，所存在的效率低以及具有一定安全隐患的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统
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][0001]本技术涉及化学品罐充设备
，具体地说是一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统。
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技术介绍
][0002]目前市场上的新型全自动电子级化学品罐充设备应用广泛，随着国内中国芯行业的不断发展，芯片生产线在我国也已开始越来越规模化及精细化，其目的是实现对芯片上加工出更好的工序，使其制程良率提升，加工过程中必须使用化学品来做为加工媒介，对芯片进行蚀刻、显影、研磨等等制程。而作为半导体制程使用之前端的化学品纯化分装系统，在分装化学品输送过程中，如发生任何的污染都可能会造成无法估量的损失，因此为了不断提高化学品分装供应系统的稳定性和可靠性，化学品原料供应厂商已越来越重视该化学品纯化制程中的每一环节。
[0003]化学品纯化后的分装包材一般分5大类，分别是槽车(LORRY)，吨桶，(Tote)，200L桶(200L Drum)，4L/20L桶，由于半导体体制造工艺中需要使用到较多种类的化学品。大部分半导体厂在有限的场地条件下绝大部分厂商对于使用量相对不大的化学品都选用双标准桶(DualDrum)或者双IBC(Intermediate Bulk Containers)复合型中型(散装容器)供应系统方式。多数传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合都是人工完成操作，效率低，也有一定的安全隐患。
[0004]此外，传统生产线还存在以下问题和缺点：(1)视觉判断对光源要求严格，若光源出现光照强弱影响视觉判断精度不高导致视觉判断失败。(2)自动锁盖机构有极小的概率，开盖时不能完全进入桶盖，出现卡盖现象，导致拧盖失败。
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技术实现思路
][0005]本技术的目的就是要解决上述的不足而提供一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，解决了传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合由人工完成操作，所存在的效率低以及具有一定安全隐患的问题。
[0006]为实现上述目的设计一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，包括箱体22以及穿过箱体22内前部的电动滚筒线4，所述箱体22前侧设置有触摸屏操作面板3、充填工位一1和充填工位二2，所述充填工位一1和充填工位二2沿电动滚筒线4流水线方向布置，所述箱体22内后部设置有仪电控制室5，所述仪电控制室5侧面设有相机定位显示屏6，所述仪电控制室5与相机定位显示屏6电连接，所述箱体22内顶部设置有自动锁盖工位一7和自动锁盖工位二8，所述自动锁盖工位一7、自动锁盖工位二8分别与充填工位一1、充填工位二2对应布置，所述电动滚筒线4将200L桶输送至充填工位一1和充填工位二2对应的桶一23和桶二24区域，所述充填工位一1、充填工位二2处分别装设有将桶夹紧并驱动转桶的抱桶转桶机构一11、抱桶转桶机构二12，所述充填工位一1、充填工位二2上方分别布置有六轴机械手臂一20、六轴机械手臂二21，所述自动锁盖工位一7、自动锁盖工位二8处分别安装有自动
锁盖机构一13、自动锁盖机构二14，所述自动锁盖机构一13上安装有精定位相机一15和粗定位相机一17，所述自动锁盖机构二14上安装有精定位相机二16和粗定位相机二18。
[0007]进一步地，所述抱桶转桶机构一11和抱桶转桶机构二12均包括支架一25、伺服电机26、扭力电机27、支架二29和活塞气缸28，所述伺服电机26、扭力电机27安装在支架一25上，所述活塞气缸28安装在支架二29上，所述支架一25与支架二29安装在箱体22内且前后对称布置，所述抱桶转桶机构一11和抱桶转桶机构二12分别将桶一23和桶二24夹紧，并由伺服电机26驱动转桶。
[0008]进一步地，所述充填工位一1、充填工位二2下方分别设置有电子秤一9和电子秤二10，所述电子秤一9、电子秤二10分别对桶一23和桶二24称重。
[0009]进一步地，所述六轴机械手臂一20、六轴机械手臂二21均包括机械手臂本体30、气缸31和确认传感器32，所述气缸31带动夹爪33进行抓取，所述确认传感器32设于夹爪33之间，所述六轴机械手臂一20、六轴机械手臂二21用于抓取充填枪放置工位19上的充填枪。
[0010]进一步地，所述自动锁盖机构一13、自动锁盖机构二14均包括X轴伺服电机34、Y轴伺服电机35、Z轴伺服电机36和连接架37，所述X轴伺服电机34、Y轴伺服电机35、Z轴伺服电机36带动连接架37实现XYZ轴调整，所述连接架37底部安装有旋转伺服电机38，所述旋转伺服电机38输出端的安装架39上安装有精定位相机一15/精定位相机二16、相机光源40、自动锁盖扳手41和桶口限位装置42。
[0011]进一步地，所述相机光源40、自动锁盖扳手41均朝下布置，所述桶口限位装置42为开设有半圆形凹槽的板状结构，所述桶口限位装置42连接在安装架39底端外侧。
[0012]进一步地，所述粗定位相机一17和粗定位相机二18用于粗略定位桶口位置坐标，所述精定位相机一15和精定位相机二16用于精确定位桶口坐标，并由传感器感应桶口定位装置。
[0013]本技术同现有技术相比，该全自动化学品罐充流水线系统实现了市场需求，该设备从清洗、灌装、旋盖三合一功能合为一体，全程实现自动化，采用先进的可编程变频器(PLC)控制器自动运行，滚轮线输送采用变频调速，传感器感应输送桶的位置，自动智能相机识别桶口定位，旋盖机构拧盖，灌枪伺服精准定位桶口，能够根据设定值自动灌装，光电检测各部件的运行状况，并设有自动保护装置，如出现卡盖现象，机器将自动停止，各阀闭合保护人机安全，解决了传统生产线采用人工开盖，手动操作桶口定位，阀门的闭合由人工完成操作，效率低，也有一定的安全隐患的问题。
[附图说明][0014]图1是本技术的立体结构示意图；
[0015]图2是本技术电动滚筒线处的结构示意图；
[0016]图3是图2的结构示意图二；
[0017]图4是图2的正面结构示意图；
[0018]图5是图2的俯视结构示意图；
[0019]图6是本技术六轴机械手臂的立体结构示意图一；
[0020]图7是本技术六轴机械手臂的立体结构示意图二；
[0021]图8是图7中Ⅰ处的局部放大图；
[0022]图9是本技术自动锁盖机构的立体结构示意图一；
[0023]图10是本技术自动锁盖机构的立体结构示意图二；
[0024]图11是图10的正面结构示意图；
[0025]图12是图10的俯视图；
[0026]图13是图10的左视图；
[0027]图14是图10的右视图；
[0028]图15是图10中Ⅱ处的局部放大图；
[0029]图16是本技术抱桶转桶机构的立体结构示意图；
[0030]图17是图16的正面结构示意图；
[0031]图18是图16的俯视结构示意图；
[0032]图19是图16的左视图；
[0033]图20是图16的右视图；
[0034]图21是本实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，其特征在于：包括箱体(22)以及穿过箱体(22)内前部的电动滚筒线(4)，所述箱体(22)前侧设置有触摸屏操作面板(3)、充填工位一(1)和充填工位二(2)，所述充填工位一(1)和充填工位二(2)沿电动滚筒线(4)流水线方向布置，所述箱体(22)内后部设置有仪电控制室(5)，所述仪电控制室(5)侧面设有相机定位显示屏(6)，所述仪电控制室(5)与相机定位显示屏(6)电连接，所述箱体(22)内顶部设置有自动锁盖工位一(7)和自动锁盖工位二(8)，所述自动锁盖工位一(7)、自动锁盖工位二(8)分别与充填工位一(1)、充填工位二(2)对应布置，所述电动滚筒线(4)将200L桶输送至充填工位一(1)和充填工位二(2)对应的桶一(23)和桶二(24)区域，所述充填工位一(1)、充填工位二(2)处分别装设有将桶夹紧并驱动转桶的抱桶转桶机构一(11)、抱桶转桶机构二(12)，所述充填工位一(1)、充填工位二(2)上方分别布置有六轴机械手臂一(20)、六轴机械手臂二(21)，所述自动锁盖工位一(7)、自动锁盖工位二(8)处分别安装有自动锁盖机构一(13)、自动锁盖机构二(14)，所述自动锁盖机构一(13)上安装有精定位相机一(15)和粗定位相机一(17)，所述自动锁盖机构二(14)上安装有精定位相机二(16)和粗定位相机二(18)。2.如权利要求1所述的新型全自动电子级化学品罐充流水线系统，其特征在于：所述抱桶转桶机构一(11)和抱桶转桶机构二(12)均包括支架一(25)、伺服电机(26)、扭力电机(27)、支架二(29)和活塞气缸(28)，所述伺服电机(26)、扭力电机(27)安装在支架一(25)上，所述活塞气缸(28)安装在支架二(29)上，所述支架一(25)与支架二(29)安装在箱体(22)内且前后对称布置，所述抱桶转桶机构一(11)和抱桶转桶机构二(12)分别将桶一(23)和桶二...

【专利技术属性】
技术研发人员：简水村，李桂江，张平，余为超，
申请(专利权)人：冠礼控制科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：