本实用新型提供了一种FP标准具温漂参数校准装置，包括：检测模块，用于测量激光器产生的激光光束的中心波长并获取FP波长计测量所述激光光束过程中产生的温漂校准数据；以及控制器，用于根据温漂校准数据，计算得到温漂校准参数，根据温漂校准参数调整...

本发明提供了一种双探测器波长测量装置和方法，其中，所述波长测量装置包括：Fabry‑Perot标准具，用于接收光源输出的光束并产生干涉条纹；第一探测器，用于探测所述Fabry‑Perot标准具产生的干涉条纹；第二探测器，与所述第一探测器...

本实用新型涉及一种镜片调整装置，包括：调整架，用于支撑镜片，所述调整架包括镜片安装面和连接在镜片安装面底部的支撑腿；固定座，用于支撑固定所述调整架，所述支撑腿设置在所述固定座开设的凹槽中，所述固定座和所述调整架通过伸缩拉紧件连接；平移机...

本申请涉及激光技术领域，公开了一种气体激光器电极和使用该电极的气体激光器。其中，气体激光器电极包括相对设置的阳极和阴极；阳极和/或阴极的表面设置有放电表面和设置于放电表面一侧或两侧的冲击波抑制表面，冲击波抑制表面上设置有多个凹槽，凹槽用...

本实用新型涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置的调谐机构。调谐机构包括输出耦合镜组件和调节组件；调节组件包括底板，第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合...

本实用新型涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置。激光输出耦合装置，包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；调节组件的底板固定安装于安装板的一侧，输出耦合镜组件固定安装于安装板的另一侧；调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第...

本发明公开了一种激光器脉冲能量测量装置、系统和方法，该激光器脉冲能量测量装置包括：第一光路组件、第二光路组件和第三光路组件，第二光路组件与第一光路组件构成第一测量光路，第三光路组件与第一光路组件构成第二测量光路。其中，第一光路组件包括：...

本发明公开了一种激光器波长测量装置及方法，该激光器波长测量装置包括：第一光路组件和第二光路组件；以及第二光路组件与第一光路组件构成激光器波长测量光路，其中，第二光路组件包括：FP标准具组件和光学分级器，经过匀化处理后的所述激光光束经过F...

本发明公开了一种激光器光谱在线测量装置及方法，其中，该激光器光谱测量装置包括：第一光路组件和第二光路组件，第二光路组件与第一光路组件构成测量光路。其中，第二光路组件包括：FP标准具和光栅，匀化处理后的激光光束经过FP标准具以产生干涉条纹...

本申请涉及光学元件的技术领域，具体公开一种可自动伸缩的挠性联轴器结构，包括联轴器主体、圆柱压缩弹簧和调整杆；联轴器主体具有贯通第一端面和第二端面的通孔，靠近第二端面的圆周面上设置有螺旋形凹槽；圆柱压缩弹簧设置在通孔内；调整杆从联轴器主体...

本发明提供了一种和频方法，其包括如下步骤：将基频光倍频，以分别形成二倍频光和三倍频光；先旋转二倍频光偏振方向，再使二倍频光穿过偏振片；将二倍频光同与自身光程相等的三倍频光进行合束，以形成第一合束光；使第一合束光穿过五倍频晶体，以将二倍频...

本发明提供了一种和频装置，其包括主光路、五倍频晶体和合束装置，主光路上依次布置有二倍频晶体、三倍频晶体和第一分束装置；通过第一分束装置能够形成二倍频光支路和三倍频光支路两个光支路；二倍频光支路上依次布置有波片和偏振片，二倍频光支路与三倍...

本发明属于激光技术领域，具体涉及一种355nm激光器，首先使用倍频晶体对1064nm基频光进行倍频产生532nm二次谐波，然后将1064nm基频光分离并进行放大，再将产生的二次谐波532nm激光与放大后的基频光1064nm激光在和频晶体...

本发明属于激光技术领域，提供了一种355nm紫外光的输出方法及系统，包括：控制第一激光器产生的激光脉冲经倍频晶体产生532nm倍频光和基频光；控制第二激光器产生泵浦光，以泵浦Nd:YVO

本发明涉及激光器波长检测领域，具体涉及一种基于法珀标准具的测试波长温漂的补偿方法及装置。该方法及装置将可调谐激光器发射出的激光分离出一部分；对该一部分激光进行绝对校准，计算出校准波长的λ

本发明提供了一种基于原子吸收的FP波长计温漂校准装置，包括：检测模块，用于测量激光器产生的激光光束的中心波长并获取FP波长计测量所述激光光束过程中产生的温漂校准数据；以及控制器，用于根据温漂校准数据，计算得到温漂校准参数，根据温漂校准参...

本实用新型提供了准分子激光器的窗片更换装置，窗片更换装置包括结构相同的第一窗片更换装置和第二窗片更换装置，第一窗片更换装置包括第一固定装置、第二固定装置、隔离装置，第一固定装置一端与放电腔固定连接，另一端与第二固定装置连接，第一固定装置...

本实用新型涉及激光器领域，具体涉及一种基于准分子激光器的多参数互锁终端装置。准分子激光器内多个气体单元、水路单元上对应的气体流量传感器、水流量传感器的NPN信号分别连接到对应的光电耦合器，且多个光电耦合器连在一起并接到另外一个光电耦合器...

本实用新型涉及棱镜固定装置技术领域，具体公开一种无转动摩擦的带防护结构的棱镜压紧固定装置，包括支撑组件和压紧组件；支撑组件包括位于棱镜上方的悬臂，所述悬臂上设置有横向限位孔及纵向限位孔；压紧组件包括压杆和转轮，所述压杆位于横向限位孔中，...

本实用新型涉及能量探测领域，具体涉及一种用于193nm光刻机中准分子激光器的能量探测电路。该能量探测电路首先光电二极管对193nm光刻机中准分子激光器的光信号进行探测得到电流信号，并通过有源滤波电路得到单个脉冲的电压信号，消除光电二极管...