一种激光输出耦合装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及激光技术领域，特别涉及一种激光输出耦合装置。激光输出耦合装置，包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；调节组件的底板固定安装于安装板的一侧，输出耦合镜组件固定安装于安装板的另一侧；调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；底板设有第一光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，耦合镜组件的定位块可转动地压紧在底板上的凹槽内；本实用新型专利技术提供的激光输出耦合装置缓解了现有技术中存在的输出耦合装置调节难度高，且具有危险性的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种激光输出耦合装置
本申请涉及激光
，特别涉及一种激光输出耦合装置。
技术介绍
在高端光刻领域，高重频准分子激光因其高重频、窄线宽和大能量的特点，是目前半导体光刻领域应用的占绝对主导地位的光源。在高重频准分子激光器系统中，光学输出会遇到诸多问题，首先遇到的便是从放电腔发出的激光不能满足窄线宽和大能量需求。对此，一般采用增加具有一定反射率和透过率的输出耦合镜对输出激光进行折返振荡，使其增大能量并进行线宽压窄后输出。在输出耦合装置的调谐过程中，往往需要在谐振腔状态下花费较长时间调试才能够得到能量较高的输出光，而且输出光与调节位置方向相同的传统结构不仅增加了调谐难度也提高了调节过程中的人员危险，传统输出耦合装置两端的连接方式为悬臂式法兰连接，其安装后不够稳定，连接完整光路后，调谐结果会再次产生偏差。另外，对于高重频准分子激光来说，输出光位置需开机启动才能确定具体位置，对激光器系统对接造成了不便。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种激光输出耦合装置，以解决现有输出耦合装置调节难度高，且调节过程中存在人员危险的问题。为实现上述目的，本技术提供一种激光输出耦合装置，激光输出耦合装置包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；所述安装板设有第一光路通道，所述调节组件的底板固定安装于所述第一光路通道的一侧，所述输出耦合镜组件固定安装于所述第一光路通道的另一侧；所述调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；所述底板设有第二光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；所述输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；所述输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，所述耦合镜组件的定位块可转动地压紧在所述底板上的凹槽内；所述第一调节球位于所述第一导轨和所述斜面形调节销之间，所述第一调节杆组件的一端与第一调节球接触，第一调节球在第一调节杆组件的推动下可延第一导轨滑动；所述第二调节球位于所述第二导轨和所述凹面形调节销之间，所述第二调节杆组件的一端与第二调节球接触，第二调节球在第二调节杆组件的推动下可延第二导轨滑动；所述安装板设有与所述第一光路通道贯通的安装孔，所述第一调节杆组件和第二调节杆组件均安装于所述安装孔内。所述第一调节杆组件和第二调节杆组件均安装在所述安装孔内。优选地，所述斜面形调节销，凹面形调节销和定位块呈三角形分布。优选地，所述凹槽为球面凹槽、锥面凹槽或截头锥面凹槽。优选地，导轨可为V型槽导轨，梯形槽导轨或球面凹槽导轨。优选地，所述斜面形调节销的斜面为楔面或斜凹面。优选地，所述凹面形调节销的凹面为V形、梯形、凹球面形或矩形。优选地，所述凹面形调节销为斜面V形调节销、斜面梯形、斜面凹球面形或斜面矩形调节销。优选地，所述定位块为球形定位块或截头锥形定位块。优选地，所述激光输出耦合装置还包括狭缝，所述狭缝位于所述输出耦合镜组件与所述调节组件的底板之间。优选地，所述安装孔为两个，两个所述安装孔分别用于安装所述第一调节杆和所述第二调节杆。优选地，所述第一调节杆组件和第二调节杆组件的长度不同。本技术技术方案的有益效果：本技术提供的激光输出耦合装置，第一调节球在第一调节杆组件的推动下可沿第一导轨滑动，第二调节球在第二调节杆组件的推动下可沿第二导轨滑动，并且第一调节杆组件和第二调节杆组件的另一端延伸至安装板的外侧，这样可在安装板的外侧通过调节机构使设在光路通道中的输出耦合镜组件的位置变动，从而实现调节的目的，以缓解现有技术中存在的输出耦合装置调节难度高，且具有危险性的技术问题。附图说明图1：本技术实施例提供的激光输出耦合装置的外形结构示意图；图2：本技术实施例提供的激光输出耦合装置的主体轴侧图；图3：本技术实施例提供的调节组件和输出耦合镜组件的连接示意图；图4：本技术实施例提供的输出耦合镜组件的结构示意图；图5：本技术实施例提供的第一调节杆组件的结构示意图；图6：本技术实施例提供的狭缝结构的安装示意图；图7：本技术实施例提供的连接座组件的结构示意图；图8：本技术实施例提供的输出光指向机构的结构示意图；图9：本技术实施例提供的光路转置镜组件的结构示意图；图10：本技术实施例提供的激光输出耦合装置断开状态图；图11：本技术实施例提供的激光输出耦合装置指向状态图；图12：本技术实施例提供的激光输出耦合装置连接状态图；图13：本技术实施例提供的激光输出耦合装置整体安装爆炸图。具体实施方式为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本申请，而不构成对本申请的限制。本技术设计了一种如图1所示的激光输出耦合装置。其中安装板1是承载整个输出耦合装置各机构的载体；布窗法兰2是用于连接左端模块光路的密封法兰，是光路的输入端；输出法兰3是用于连接右端模块光路的密封法兰，是光路的输出端。安装板1上安装输出耦合镜组件4，调节组件5，输出光指向机构6，进气嘴7及连接座组件8，如图2所示。安装板1上设置有输出耦合装置固定接口101，采用的是三点定位式，可以有效减少与左端模块的装配偏差，整体为硬铝合金材质，也可以由其他刚性高，易于散热的材质构成。安装板1顶部安装进气嘴7，进气嘴7进气方向可垂直于输出耦合镜光路两侧，不可直切光路中心。安装板1设有第一光路通道，侧面设置有与第一光路通道贯通的安装孔。输出耦合镜组件4通过3根带弹簧的轴肩紧定螺钉压紧在安装板1上，当然也可通过其他的带弹性结构的装置将输出耦合镜组件4固定在安装板1上。输出耦合镜组件4结构如图3和图4所示，输出耦合镜片401放置到镜架底板402的环形槽内，输出耦合镜片401上表面压环状弹性元件403以柔性力压紧，安装镜架顶板404固定，镜架底板401分别安装呈三角形分布凹面形调节销406，斜面形调节销407，定位块405，斜面形调节销407，定位块405，斜面形调节销，凹面形调节销和定位块呈三角形分布，安装位置需采用定位结构以保证其安装的角度精度。本实例中的定位块405为过盈配合安装，采用定位槽结构限制凹面形调节销406，斜面形调节销407的角度方向自由度，凹面形调节销406的凹型面限制了输出耦合镜组件4俯仰时的运动轨迹，可以有效防止输出耦合镜组件4在进行两维调整时发生其它方向上的抖动。斜面形调节销407的斜面为楔面或斜凹面。凹面形调节销406的凹面为V形、梯形、凹球面形或矩形。凹面形调节销406本身也可以是斜面的，凹面形调节销可以为斜面V形调节销、斜面梯形、斜面凹球面形或斜面矩形调节销。定位块405为球形定位块或截头锥形定位块。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种激光输出耦合装置，其特征在于，/n所述激光输出耦合装置，包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；/n所述安装板设有第一光路通道；/n所述调节组件的底板固定安装于所述第一光路通道的一侧，所述输出耦合镜组件固定安装于所述第一光路通道的另一侧；/n所述调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；/n所述底板设有第二光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；/n所述输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；/n所述输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，所述耦合镜组件的定位块可转动地压紧在所述底板上的凹槽内；/n所述第一调节球位于所述第一导轨和所述斜面形调节销之间，所述第一调节杆组件的一端与第一调节球接触，第一调节球在第一调节杆组件的推动下可延第一导轨滑动；/n所述第二调节球位于所述第二导轨和所述凹面形调节销之间，所述第二调节杆组件的一端与第二调节球接触，第二调节球在第二调节杆组件的推动下可延第二导轨滑动；/n所述调节组件安装在所述安装板上。/n

【技术特征摘要】
1.一种激光输出耦合装置，其特征在于，
所述激光输出耦合装置，包括输出耦合镜组件，调节组件和安装板；
所述安装板设有第一光路通道；
所述调节组件的底板固定安装于所述第一光路通道的一侧，所述输出耦合镜组件固定安装于所述第一光路通道的另一侧；
所述调节组件还包括第一调节杆组件和第一调节球，第二调节杆组件和第二调节球；
所述底板设有第二光路通道，第一导轨，第二导轨和凹槽；
所述输出耦合镜组件的一侧设有斜面形调节销，凹面形调节销和定位块；
所述输出耦合镜组件的另一侧通过带有弹性部件的固定装置压紧在激光输出耦合装置上，所述耦合镜组件的定位块可转动地压紧在所述底板上的凹槽内；
所述第一调节球位于所述第一导轨和所述斜面形调节销之间，所述第一调节杆组件的一端与第一调节球接触，第一调节球在第一调节杆组件的推动下可延第一导轨滑动；
所述第二调节球位于所述第二导轨和所述凹面形调节销之间，所述第二调节杆组件的一端与第二调节球接触，第二调节球在第二调节杆组件的推动下可延第二导轨滑动；
所述调节组件安装在所述安装板上。


2.如权利要求1所述的激光输出耦合装置，其特征在于，所述斜面形调节销，凹面形调节销和定位块呈三角形分布。

【专利技术属性】
技术研发人员：詹绍通，丁金滨，刘稚萍，刘斌，江锐，
申请(专利权)人：北京科益虹源光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11